Принцип работы тензорезистора: Тензорезисторы определение и принципы работы

Тензорезисторы определение и принципы работы

Обычно тензорезисторы используются в трех целях:
• Определение степени изменения формы под действием деформации.
• Определение механического напряжения, вызванного деформацией, и запаса прочности материала или конструктивного элемента, в котором используется этот материал.
• Косвенное определение различных физических параметров путем их пересчета в деформацию.
Существует несколько способов механического и электрического измерения деформации, однако, чаще всего, механическое напряжение измеряют с помощью тензорезисторов из-за их превосходных измерительных характеристик.

Описание Документация

Что такое деформация?

Внешнее усилие, прикладываемое к упругому материалу, создает механическое напряжение, которое, в свою очередь, вызывает деформацию материала. В случае, если приложено усилие растяжения, длина материала L увеличивается и становится равной L + ΔL. Отношение ΔL к L, т.е. ΔL/L, называется деформацией. С другой стороны, если приложено усилие сжатия, длина L уменьшается до значения L-ΔL. В этом случае деформация равна (-ΔL/L).

Что такое тензорезистор?

Электрическое сопротивление металла изменяется пропорционально механической деформации, вызванной приложенным к металлу внешним усилием. При креплении тонкого слоя металла к объекту измерения поверх тонкого слоя диэлектрика, металл деформируется в зависимости от деформации объекта измерения и изменения его электрического сопротивления. Таким образом, тензорезистор — это чувствительный элемент, преобразующий собственную деформацию в изменение электрического сопротивления.

Конструкция тензорезистора

Тензорезистор состоит из решетки, выполненной из тонкой проволоки или металлической фольги, уложенной на изоляционную подложку, и подсоединенных выводов тензорезистора.

Принцип работы тензорезистора

При деформации объекта измерения эта деформация передается резистивной проволоке или резистивной фольге тензорезистора через его основание (подложку).

В результате сопротивление проволоки или фольги изменяется. Это изменение точно пропорционально деформации,что отражает следующее уравнение:

Если R=R1=R2=R3=R4, сопротивление тензорезистора, из-за деформации, меняется и становится равным R+ΔR. Таким образом, изменение выходного напряжения Δe из-за деформации задается следующим выражением:

При измерении деформации с помощью тензорезистора, он подключается к измерительному прибору, называемому тензометром. Тензометр содержит мост Уитстона и подает напряжение возбуждения. Измеренное значение деформации отображается на цифровом дисплее и/или выводится в виде аналоговых сигналов.

На нашем сайте Вы можете купить (заказать) качественные японские тензорезисторы от производителя, аксессуары и химию (клеи и защитные покрытия) для тензорезисторов с отличным соотношением цена-качество. Для этого отставьте заявку на обратный звонок и наши специалисты свяжутся с вами в ближайшее время или напишите нам сообщение.

В комментарии можно указать, какие модели тензорезисторов вы бы хотели заказать.

» >

Тензорезисторы TML (общее описание)

pdf, 494.72 КБ

---

Сопутствующая продукция

• FLA/FLG общего назначенияТензорезисторы

• QFLG/QFLA/QFLK до +200°CТензорезисторы

• ZFLA/ZFLK/EFL до +300°CТензорезисторы

• AWCH привариваемыеТензорезисторы

• WFLA/WFCA/WFRA влагозащищенныеТензорезисторы

• BF для композитов до +200°Тензорезисторы

Датчики на основе тензорезисторов и принципы их применения в измерениях

Тензорезисторы [1–3] используются для измерения деформации в твёрдых телах. На их основе строят датчики веса, давления, силы, перемещения, момента, ускорения, вибрации, натяжения, крутящего момента, остаточных напряжений в механических конструкциях и деталях машин после их обработки и т. д. Принцип действия тензорезистора основан на изменении электрического сопротивления твёрдого тела при его деформации приложенной силой.

Сопротивление твёрдого тела длиной L с площадью поперечного сечения определяется формулой R = ρL/S , где ρ – удельное сопротивление. При приложении к телу растягивающей силы F (рис. 1) происходит деформация: увеличивается длина тела на ∆L и уменьшается площадь поперечного сечения на ∆

S. У большинства тел изменяется также удельное сопротивление на величину ∆ρ. В случае когда эти приращения малы, путём логарифмирования и последующего дифференцирования обеих частей формулы для R получим:

 

Поскольку площадь поперечного сечения проводника пропорциональна его характерному поперечному размеру (в случае круглого сечения S = πd²/4, для прямоугольного сечения c×d площадь S = kd², если c = kd), то при ∆d << d в обоих случаях можно получить соотношение ∆S/S = 2∆d/d.

Поэтому

где ν = ∆d/d / ∆d/d ^{– коэффициент Пуассона, для металлов равный ν = 0,25…0,4; ε = ∆L/L – относительное удлинение (относительная деформация) тела. Величина ε является безразмерной, но поскольку она измеряется тысячными и миллионными долями, для удобства оперирования числами используют безразмерные единицы измерения, такие как мм/м, мкм/м, а в зарубежной литературе чаще всего применяется единица микрострейн, равная 10}

–6.

У металлов удельное сопротивление меняется слабо, поэтому

 

то есть относительное изменение сопротивления линейно зависит от относительного изменения длины.

Чувствительность тензорезистора к изменению его длины характеризуется коэффициентом относительной тензочувствительности GF (Gauge Factor):

 

или, используя (2), получим:

 

Коэффициент тензочувствительности GF для большинства металлических тензодатчиков примерно равен 2, для платины GF = 6,1, для некоторых специальных сплавов он может доходить до 10.

Для измерения силы с помощью тензорезисторов используют закон Гука, согласно которому при упругой деформации механическое напряжение σ пропорционально относительной деформации ε:

σ = K • ε,

где K – модуль упругости.

Напряжением σ называется физическая величина, численно равная упругой силе F, приходящейся на единицу площади поперечного сечения тела S (рис. 1): σ = F/S.

Используя приведённые соотношения, можно выразить величину силы через относительное изменение сопротивления тензорезистора в виде:

F = S • σ = S • K • ε. (6)

Подставляя вместо ε его значение из (4), получим:

Таким образом, измерение силы с помощью тензорезистора сводится к измерению его сопротивления или напряжения на выходе измерительного моста, которое зависит от сопротивления – см. (9).

Датчики на основе тензорезисторов

Конструктивно металлический датчик на основе тензорезистора (тензодатчик) состоит из очень тонкого провода или чаще из металлической фольги, сформированной в виде змейки (рис. 2) и нанесённой на подложку (носитель), которая непосредственно приклеивается к испытываемому телу. Типовая длина тензодатчиков колеблется от 0,2 мм до 10 см.

Змеевидная структура датчика обеспечивает большое относительное изменение длины фольги в направлении вдоль датчика и очень малое изменение при растяжении датчика в поперечном направлении. Поэтому коэффициент Пуассона в такой структуре минимален.

Серийные тензодатчики имеют сопротивление от 30 Ом до 3 кОм при типовых значениях 120 Ом, 350 Ом и 1 кОм. Материалами для них служат константан (45% Ni, 55% Cu), платина и её сплавы, нихром (80% Ni, 20% Cr), манганин (84% Cu, 12% Mn, 4% Ni), никель и др.

Для точной передачи растяжения образца через подложку на металлический проводник очень важно правильно прикрепить датчик к испытываемому образцу. Для этого лучше всего пользоваться информацией, предоставляемой изготовителем тензодатчика.

Длина чувствительного элемента тензодатчика и длина его подложки изменяются в зависимости от температуры. Поэтому несмотря на специальные меры, принимаемые при изготовлении тензодатчиков их производителями, существует проблема снижения температурной чувствительности. Температурная чувствительность определяется двумя физическими явлениями: зависимостью омического сопротивления материала тензорезистора от температуры и паразитным тензорезистивным эффектом, который возникает вследствие несогласованности температурных коэффициентов расширения тензорезистора и материала объекта, на который наклеен тензорезистор.

Измерения с помощью тензодатчиков

Измерения с помощью тензодатчиков требуют регистрации очень малых изменений сопротивления. Например, относительное изменение сопротивления, вызываемое относительным растяжением 0,0005 при тензорезистивном коэффициенте, равном 2, составит 0,1%, что для тензодатчика сопротивлением 120 Ом эквивалентно сопротивлению всего лишь 0,12 Ом. Чтобы измерять столь малое изменение сопротивления и скомпенсировать температурную погрешность, тензодатчики практически всегда используют в мостовой схеме (мост Уитстона, рис.

3), подключённой к источнику напряжения или тока (источнику питания моста).

Общепринятого стандарта для питания моста не существует. Типовыми являются напряжения 3 В и 10 В. Ток через тензодатчик обычно составляет от 2 до 30 мА для датчиков с сопротивлением от 1 кОм до 120 Ом. Напряжение питания моста должно быть по возможности большим, чтобы увеличить отношение сигнала к шуму, и в то же время достаточно малым, чтобы минимизировать погрешность, вызванную саморазогревом датчика. Особые требования предъявляются к точности и стабильности напряжения питания моста, если не используется шестипроводная схема подключения датчика (см. раздел «Влияние сопротивления соединительных проводов»).

Для проверки правильности калибровки измерительной схемы используют резистор с известным (калиброванным) значением сопротивления, которым шунтируют тензодатчик. Показания измерительной системы должны соответствовать расчётному значению для этого сопротивления.

В связи с малой величиной сигнала от тензодатчика во многих случаях целесообразно применять фильтр, ослабляющий помехи с частотой 50 Гц. Например, в модуле ввода сигналов тензодатчика NL-2SG фирмы НИЛ АП использован sinc-фильтр 3-го порядка, подавляющий помеху с частотой 50 Гц на 120 дБ.

Выходное напряжение измерительного моста (рис. 3) равно:

При условии баланса моста (R₁/R₂ = R_G/R₃) его выходное напряжение V₀ = 0. Малейшая разбалансировка вследствие изменения сопротивления тензодатчика приводит к появлению напряжения на выходе.

Обозначим абсолютное изменение сопротивления тензодатчика через ∆R. Тогда, как следует из (4),

∆R = R_G • GF • ε,

где R_G – сопротивление тензорезистора в ненапряженном состоянии.

Если сбалансировать мост таким образом, чтобы при отсутствии растяжения тензодатчика R_{1 = R2 и R3 = RG, то из (8) получим:}

 

или окончательно:

 

Таким образом, зная напряжение на выходе моста, из формулы (9) мы можем найти относительное удлинение тензодатчика ε и из (6) – силу F.

Поскольку относительное удлинение зависит также от температуры, для компенсации температурной составляющей используют два тензочувствительных элемента, расположенных на общей подложке перпендикулярно друг другу (рис. 4). 

При этом температурные удлинения обоих элементов одинаковы, а удлинения вследствие воздействия деформирующей силы будут разные. Используя эти элементы в разных плечах измерительного моста (рис. 5), можно частично скомпенсировать температурную погрешность.

Компенсация температурной погрешности, выполняемая изготовителем тензодатчиков, обычно не позволяет получить ошибку менее 10 микрострейн на градус. Однако, используя полиномиальную аппроксимацию температурной зависимости сопротивления для её программной компенсации, можно снизить температурную погрешность до 1 микрострейна на градус.

В полумостовой схеме (рис. 5) можно использовать два тензодатчика с нескомпенсированной температурной погрешностью, если один из них работает на растяжение, а второй – на сжатие, например в случае измерения механического напряжения изгибаемой балки. Таким образом можно повысить чувствительность схемы измерения в 2 раза и одновременно скомпенсировать температурную погрешность (рис. 6).

Дальнейшего повышения чувствительности схемы измерений можно достичь, если использовать четыре тензодатчика, два из которых работают на растяжение, а два других – на сжатие (рис. 7).

В схеме на рис. 6 относительное выходное напряжение моста равно:

а с учётом начального смещения напряжения вследствие дисбаланса моста V_см получим:

Если ввести обозначение

то для измерительной цепи, показанной на рис. 6, относительное растяжение тензодатчика в зависимости от относительного приращения напряжения на выходе моста V_r будет равно

Зная ε и пользуясь законом Гука в форме (6), можно найти искомую силу F.

Для других схем включения тензодатчиков, показанных на рис. 7–9, аналогичные формулы приведены в соответствующих подрисуночных подписях.

Начальная балансировка моста может быть выполнена как аппаратно (с помощью резисторов), так и программно. Эти методы имеют принципиальные различия.

Если мост не сбалансирован с помощью резисторов, то на его выходе присутствует напряжение дисбаланса V_см, которое складывается с полезным сигналом V_с, то есть V₀ = V_см + V_с. Если верхняя граница диапазона измерения напряжения (напряжение насыщения усилителя) равна V_max, то коэффициент усиления не может быть больше, чем V_max / (V_см + V_c), то есть максимально возможный коэффициент уси­ления сигнала K_с на выходе несбалансированного моста ограничивается напряжением дисбаланса: K_c ≤ V_max / V_см. Например, при типовом значении V_max = 2,5 В и V_см = 25 мВ коэффициент усиления сигнала не может быть больше 100. Однако практически необходимое усиление достигает 2000 (см. описание прибора SCXI-1121 фирмы National Instruments).

Таким образом, несмотря на возможность компенсации смещения программным способом, этот метод ограничивает возможность увеличения чувствительности измерительной системы. Им можно пользоваться для компенсации только небольших напряжений дисбаланса моста.

Влияние сопротивления соединительных проводов

В предыдущих измерительных цепях не были учтены сопротивления подводящих проводов. Однако при использовании низкоомных датчиков они могут достигать единиц и десятков ом, что вносит значительную погрешность в результат измерения.

Для решения этой проблемы весь измерительный мост обычно располагают рядом с датчиком, а сигналы с выхода моста измеряют модулями с высокоомным (потенциальным) входом. Для исключения погрешности, вызванной падением напряжения на проводах, передающих к мосту напряжение питания V_ex, используют шестипроводное подключение моста (рис. 10). 

В этой цепи напряжение питания моста не задаётся, а измеряется. Поэтому падение напряжения на проводах питания не вносит погрешность в величину V_ex, которая используется в расчётных формулах.

Если сопротивления проводов невозможно сделать достаточно малыми, их измеряют и учитывают в дальнейших расчётах с целью исключения вносимой ими погрешности.

В подрисуночных подписях к рис. 11–13 приведены соответствующие формулы, которые могут быть реализованы программно в микропроцессоре модуля ввода сигналов тензодатчиков или в компьютере.

Составляющие погрешности измерения

При использовании тензорезисторов большинство источников погрешностей аналогичны тем, что возникают при использовании терморезисторов. Основными компонентами погрешностей являются следующие:

• случайная погрешность, вызванная технологическим разбросом сопротивлений тензорезисторов;
• систематическая погрешность, вызванная термоэлектрическим эффектом;
• тепловой и фликкер-шум измеряемого сопротивления;
• температурная погрешность, вызванная разогревом датчика протекающим током;
• погрешность, связанная с разностью температурных коэффициентов расширения тензорезистора и материала объекта, на который наклеен тензорезистор;
• погрешность метода (схемы измерения) сопротивления, зависящая от длины проводов и точности измерения их сопротивления;
• внешние наводки;
• сопротивление контактов;
• «ползучесть» сопротивления длительно нагруженного тензорезистора;
• погрешность измерительного модуля ввода.

Вследствие очень малой чувствительности тензорезисторов особую роль играют наведённые помехи. Для их уменьшения используют не витые пары, а четыре плетёных провода, в которых попарно параллельно соединяют провода, проходящие во взаимно перпендикулярных плоскостях. Это устраняет индуктивность обычной витой пары, которая представляет собой катушку индуктивности, если смотреть на витую пару с торца [4]. ●

Литература

1. Денисенко В.В. Компьютерное управление технологическим про­цессом, экспериментом, оборудованием. – М. : Горячая линия – Телеком, 2009. – 608 с.
2. ГОСТ 20420-75. Тензорезисторы. Термины и определения.
3. ГОСТ 21616-91. Тензорезисторы. Общие технические условия.
4. Noise Control in Strain Gage Measurements. Tech. Note TN-501-2. – Vishay Micro-Measurements, 2007. – 8 p.

Как они работают, области применения и типы

Знаете ли вы, что тензометрический датчик мог предотвратить обрушение моста в Миннеаполисе в 2007 году?

Это правда, с его способностью изменять сопротивление сжатию и расширению, он может измерять деформацию мостов, вызванную нагрузкой. Читайте дальше, чтобы узнать, как можно использовать тензодатчик для предотвращения обрушения моста. Но перед этим вы должны понять, что такое тензодатчик, как он работает, его типы и варианты использования.

 

Что такое тензодатчик?

Как следует из названия, тензорезистор — это устройство, которое может измерять даже небольшую деформацию объекта. Сопротивление этого устройства изменяется в зависимости от возникающей в нем деформации. Эдвард Э. Саймонс и Артур К. Руге изобрели тензодатчик в 1938 году. 

С помощью тензодатчика можно рассчитать деформацию объекта или тела. Вы можете использовать этот высокоточный электрический прибор для измерения силы, давления или любого фактора, вызывающего напряжение в объекте. В тензодатчике вы можете найти металлические полоски, расположенные зигзагообразно на непроводящем материале. Тонкие металлические полоски называются измерительными сетками и имеют толщину 3-5 микрометров. Это эквивалентно толщине одной нити паутины, что составляет около 3-8 микрометров.

        

 

Принцип работы тензодатчика

Принцип работы тензометра заключается в определении удельного электрического сопротивления и проводимости объекта. Все мы знаем, что удельное электрическое сопротивление и проводимость являются врожденными свойствами любого объекта. Однако она варьируется от материала к материалу, а также зависит от таких факторов, как длина, температура и площадь поперечного сечения. Соотношение между сопротивлением, длиной и площадью поперечного сечения указано ниже.

 

R ∝ L/A

R→Сопротивление

L→Длина

A→Площадь поперечного сечения

Отсюда можно сказать, что при увеличении длины тензодатчика и поперечного сечения, площадь уменьшается; таким образом, его сопротивление увеличится. При его сжатии длина уменьшается, а площадь поперечного сечения увеличивается; таким образом, его сопротивление уменьшается. Так работает тензодатчик.

Для практического использования необходимо соединить тензорезистор с мостом из пшеничного камня. Это связано с тем, что изменение сопротивления очень мало, и определить его можно только с помощью моста из пшеничного камня.

 

 

 

Тензодатчик для мостов

Теперь пришло время понять, как тензодатчик предотвращает обрушение моста. Когда мост подвергается деформации, деформацию можно легко измерить с помощью тензодатчика. Напряжение есть не что иное, как отношение изменения размера к первоначальному размеру. Поймите взаимосвязь между изменением сопротивления и деформации из приведенного ниже уравнения:

ΔR/R = G𝜀

ΔR→Изменение сопротивления

𝜀→Деформация

G→Коэффициент тензорезистора

Коэффициент тензорезистора представляет собой отношение изменения электрического сопротивления к механической деформации. Это прямой показатель чувствительности тензодатчика. Благодаря этому инженеры могли определить напряжение, вызванное мостом, и предотвратить его обрушение.

 

Другие варианты использования тензодатчиков

Тензодатчики используются во многих областях, особенно в геотехнических областях. Они используются для постоянного наблюдения за плотинами, туннелями, электростанциями и т. д. Вы можете найти их применение в рельсах, испытаниях транспортных средств, неразрушающем контроле балок и ферм, туннелей и т. д. Во всех этих областях тензометрические датчики остаются важным компонентом для предотвращения отказов и предупреждают о необходимости технического обслуживания. Тензодатчик также можно использовать для измерения силы, необходимой для вращения таких объектов, как колеса, двигатели и пропеллеры. В самолетах они прикрепляются к несущим компонентам вдоль траекторий нагрузки для обнаружения прогиба. Вы также можете найти их применение в рельсах, испытаниях транспортных средств, неразрушающем контроле балок и ферм, тензодатчиках и так далее. Вот несколько примеров применения тензодатчиков.

Типы тензодатчиков

У нас есть различные типы тензодатчиков, используемых для различных целей. Знание этого поможет вам выбрать правильный для правильного применения.

• Линейные тензодатчики
• Датчик деформации сдвига
• Розеточный тензодатчик
• Датчик натяжения цепи
• Полномостовой тензодатчик
• Полумостовой тензодатчик

 

 

Преимущества тензодатчика

• Они очень маленькие по размеру и очень просты в установке. Вы можете приклеить его к предмету с помощью клея, для чего нужно провести эксперимент.
• Они очень точные.
• Кроме того, у них нет движущихся частей. Это означает, что нет никаких шансов на износ, и это может быть долговечным.

 

Недостатки тензодатчиков

Вы должны быть осторожны при выборе тензорезисторов, так как они имеют свои ограничения.

• Тензорезисторы нелинейны. Это означает, что они могут функционировать только в пределах своего предела эластичности. Если деформация превышает предел упругости, материал тензорезистора может разрушиться. Предел упругости — это точка, до которой объект может деформироваться и вернуться к своей первоначальной форме.
• Чувствителен к температуре. Температура, которую он может выдержать, зависит от материала, используемого в тензодатчике.
• Кроме того, их необходимо регулярно калибровать.

 

Принцип тензодатчика может быть простым, но вариантов его использования много. После прочтения вы получите общее представление о том, что такое тензодатчик, о коэффициенте тензометрии и о применении тензодатчиков. Обладая этими знаниями, вы сможете определить, нужен ли тензодатчик для вашего проекта или нет. Кроме того, если вы хотите повысить свою квалификацию, работая над отраслевыми проектами, вы можете пройти курс Skill-Lync, платформы электронного обучения для инженеров.

Принцип работы тензометрического датчика — Inst Tools

от редакции

Тензометрические датчики или пьезорезистивные датчики

Пьезорезистивный означает «сопротивление, чувствительное к давлению», или сопротивление, значение которого изменяется при приложении давления. Тензорезистор является классическим примером пьезорезистивного элемента, типичный тензометрический элемент показан здесь на кончике моего пальца:

Чтобы быть практичным, тензорезистор должен быть приклеен (приклеен) к большему образцу. способность выдерживать приложенную силу (напряжение):

При растяжении или сжатии испытуемого образца под действием силы проводники тензорезистора также деформируются. Электрическое сопротивление любого проводника пропорционально отношению длины к площади поперечного сечения (R ∝ {l / A}), что означает, что деформация растяжения (растяжение) увеличит электрическое сопротивление за счет одновременного увеличения длины и уменьшения площади поперечного сечения, в то время как деформация сжатия (сплющивание) уменьшит электрическое сопротивление за счет одновременного уменьшения длины и увеличения площади поперечного сечения.

Присоединение тензорезистора к диафрагме приводит к созданию устройства, сопротивление которого изменяется в зависимости от приложенного давления. Давление заставляет диафрагму деформироваться, что, в свою очередь, вызывает изменение сопротивления тензодатчика. Измеряя это изменение сопротивления, мы можем сделать вывод о величине давления, приложенного к диафрагме.

Классическая тензометрическая система, представленная на предыдущем рисунке, изготовлена ​​из металла (как образец для испытаний, так и сам тензодатчик). В пределах своей упругости многие металлы демонстрируют хорошие пружинящие характеристики. Однако металлы подвержены усталости в результате повторяющихся циклов деформации (растяжение и сжатие), и они начнут «течь», если их деформировать за пределами их предела упругости. Это распространенный источник ошибок в металлических пьезорезистивных приборах для измерения давления: при избыточном давлении они имеют тенденцию терять точность из-за повреждения пружины и тензометрических элементов.

Современные технологии производства сделали возможным изготовление тензорезисторов из кремния вместо металла. Кремний демонстрирует очень линейные пружинные характеристики в узком диапазоне движений и высокую устойчивость к усталости. Когда кремниевый тензорезистор подвергается чрезмерной нагрузке, он полностью выходит из строя, а не «течет», как в случае с металлическими тензодатчиками. Обычно это считается лучшим результатом, поскольку ясно указывает на необходимость замены датчика (в то время как металлический тензометрический датчик может создать ложное впечатление о продолжении работы после перенапряжения).

Когда диафрагма изгибается наружу под действием давления жидкости, тензорезистор растягивается на большую длину, вызывая увеличение его сопротивления. Это изменение сопротивления разбалансирует мостовую схему, вызывая напряжение (Vout), пропорциональное величине приложенного давления. Таким образом, тензорезистор преобразует приложенное давление в измеримый сигнал напряжения, который может быть усилен и преобразован в токовый сигнал контура 4–20 мА (или в цифровой сигнал «полевой шины»).

В некоторых конструкциях одна кремниевая пластина служит и диафрагмой, и тензодатчиком, чтобы в полной мере использовать превосходные механические свойства кремния (высокая линейность и низкая усталость). Однако кремний химически несовместим со многими технологическими жидкостями, поэтому давление должно передаваться на силиконовую диафрагму/сенсор через нереактивную заполняющую жидкость (обычно жидкость на основе силикона или фторуглерода). Металлическая изолирующая диафрагма передает давление технологической жидкости на заполняющую жидкость, которая, в свою очередь, передает давление на кремниевую пластину. Еще одна упрощенная иллюстрация показывает, как это работает:

Изолирующая диафрагма спроектирована так, чтобы быть намного более гибкой (менее жесткой), чем силиконовая диафрагма, потому что ее цель состоит в плавной передаче давления жидкости от технологической жидкости к заполняющей жидкости, а не в качестве пружинного элемента. Таким образом, кремниевый датчик испытывает то же давление, что и при непосредственном контакте с технологической жидкостью, без контакта с технологической жидкостью.