ЭлСктронная микроскопия Π²ΠΈΠ΄Ρ‹. ЭлСктронная микроскопия: Π²ΠΈΠ΄Ρ‹, устройство ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅

КакиС ΡΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‚ основныС Π²ΠΈΠ΄Ρ‹ элСктронных микроскопов. Как устроСны ΠΏΡ€ΠΎΡΠ²Π΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠΉ ΠΈ растровый элСктронныС микроскопы. Π’ Ρ‡Π΅ΠΌ прСимущСства ΠΈ нСдостатки Ρ€Π°Π·Π½Ρ‹Ρ… Ρ‚ΠΈΠΏΠΎΠ² элСктронных микроскопов. Для ΠΊΠ°ΠΊΠΈΡ… Π·Π°Π΄Π°Ρ‡ ΠΈ исслСдований ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ элСктронная микроскопия.

Π‘ΠΎΠ΄Π΅Ρ€ΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅

ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹Π΅ Π²ΠΈΠ΄Ρ‹ элСктронных микроскопов

ЭлСктронная микроскопия — это ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ исслСдования структуры ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠ° элСктронов. БущСствуСт нСсколько основных Π²ΠΈΠ΄ΠΎΠ² элСктронных микроскопов:

  • ΠŸΡ€ΠΎΡΠ²Π΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠΉ элСктронный микроскоп (ПЭМ)
  • Растровый (ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΉ) элСктронный микроскоп (РЭМ)
  • Эмиссионный элСктронный микроскоп
  • ΠžΡ‚Ρ€Π°ΠΆΠ°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ элСктронный микроскоп
  • Π—Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ элСктронный микроскоп

НаиболСС распространСнными ΠΈ вострСбованными ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ ΠΏΡ€ΠΎΡΠ²Π΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ ΠΈ растровыС элСктронныС микроскопы. Рассмотрим ΠΈΡ… устройство ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ ΠΏΠΎΠ΄Ρ€ΠΎΠ±Π½Π΅Π΅.

Устройство ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ ΠΏΡ€ΠΎΡΠ²Π΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ элСктронного микроскопа

ΠŸΡ€ΠΎΡΠ²Π΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠΉ элСктронный микроскоп (ПЭМ) ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ ΠΏΡƒΡ‡ΠΎΠΊ элСктронов, проходящий Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· свСрхтонкий ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Π΅Ρ†. ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹Π΅ элСмСнты ПЭМ:


  • Π˜ΡΡ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΈΠΊ элСктронов (элСктронная ΠΏΡƒΡˆΠΊΠ°)
  • БистСма элСктромагнитных Π»ΠΈΠ½Π· для фокусировки элСктронного ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠ°
  • ΠŸΡ€Π΅Π΄ΠΌΠ΅Ρ‚Π½Ρ‹ΠΉ столик с ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠΌ
  • ΠŸΡ€ΠΎΠ΅ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π½Π°Ρ систСма для формирования ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ изобраТСния
  • БистСма рСгистрации изобраТСния (флуорСсцСнтный экран, ΠŸΠ—Π‘-ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Ρ€Π°)

ΠŸΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ ПЭМ Π·Π°ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Π΅Ρ‚ΡΡ Π² ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰Π΅ΠΌ:

  1. ΠŸΡƒΡ‡ΠΎΠΊ элСктронов гСнСрируСтся элСктронной ΠΏΡƒΡˆΠΊΠΎΠΉ
  2. Π­Π»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ½Π½Ρ‹ΠΉ ΠΏΡƒΡ‡ΠΎΠΊ фокусируСтся систСмой Π»ΠΈΠ½Π· ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΡ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Π΅Ρ†
  3. ΠŸΡ€ΠΎΡ…ΠΎΠ΄ΡΡ‰ΠΈΠ΅ элСктроны Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‚ с Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠ°ΠΌΠΈ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π°
  4. ΠŸΡ€ΠΎΡˆΠ΅Π΄ΡˆΠΈΠ΅ элСктроны Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½Π½ΠΎΠ΅ ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π² ΠΏΡ€ΠΎΠ΅ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ систСмС
  5. Π˜Π·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ рСгистрируСтся Π½Π° флуорСсцСнтном экранС ΠΈΠ»ΠΈ ΠŸΠ—Π‘-ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠΉ

ΠžΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΠΈ ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ растрового элСктронного микроскопа

Растровый (ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΉ) элСктронный микроскоп (РЭМ) ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ сфокусированный элСктронный Π·ΠΎΠ½Π΄ для сканирования повСрхности ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π°. ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹Π΅ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚Ρ‹ РЭМ:

  • ЭлСктронная ΠΏΡƒΡˆΠΊΠ°
  • БистСма элСктромагнитных Π»ΠΈΠ½Π·
  • БистСма сканирования
  • Π”Π΅Ρ‚Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ Π²Ρ‚ΠΎΡ€ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… ΠΈ ΠΎΡ‚Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½Π½Ρ‹Ρ… элСктронов
  • ΠŸΡ€Π΅Π΄ΠΌΠ΅Ρ‚Π½Ρ‹ΠΉ столик
  • БистСма формирования изобраТСния

ΠŸΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ РЭМ:


  1. Π­Π»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ½Π½Ρ‹ΠΉ ΠΏΡƒΡ‡ΠΎΠΊ фокусируСтся Π² Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΠΉ Π·ΠΎΠ½Π΄
  2. Π—ΠΎΠ½Π΄ сканируСт ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π°
  3. Π”Π΅Ρ‚Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ Ρ€Π΅Π³ΠΈΡΡ‚Ρ€ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ Π²Ρ‚ΠΎΡ€ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Π΅ ΠΈ ΠΎΡ‚Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½Π½Ρ‹Π΅ элСктроны
  4. Π‘ΠΈΠ³Π½Π°Π» ΠΎΡ‚ Π΄Π΅Ρ‚Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ² прСобразуСтся Π² ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅

РЭМ позволяСт ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°Ρ‚ΡŒ Ρ‚Ρ€Π΅Ρ…ΠΌΠ΅Ρ€Π½Ρ‹Π΅ изобраТСния повСрхности с высоким Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΈ большой Π³Π»ΡƒΠ±ΠΈΠ½ΠΎΠΉ рСзкости. Π­Ρ‚ΠΎ Π΄Π΅Π»Π°Π΅Ρ‚ Π΅Π³ΠΎ Π½Π΅Π·Π°ΠΌΠ΅Π½ΠΈΠΌΡ‹ΠΌ для исслСдования ΠΌΠΎΡ€Ρ„ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈ состава повСрхности ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ².

Π‘Ρ€Π°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ возмоТностСй ПЭМ ΠΈ РЭМ

ΠŸΡ€ΠΎΡΠ²Π΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠΉ ΠΈ растровый элСктронныС микроскопы ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ ряд ΠΎΡ‚Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠΉ:

ΠŸΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠŸΠ­ΠœΠ Π­Πœ
ΠŸΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏ формирования ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΡΠŸΡ€ΠΎΡˆΠ΅Π΄ΡˆΠΈΠ΅ элСктроныВторичныС ΠΈ ΠΎΡ‚Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½Π½Ρ‹Π΅ элСктроны
МаксимальноС Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅Π”ΠΎ 0.05 Π½ΠΌΠ”ΠΎ 0.4 Π½ΠΌ
Π£Π²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅Π”ΠΎ 50 000 000xΠ”ΠΎ 2 000 000x
Π’ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π° ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π°Π”ΠΎ 100 Π½ΠΌΠ›ΡŽΠ±Π°Ρ
Π’ΠΈΠΏ информацииВнутрСнняя ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ‚ΡƒΡ€Π°ΠŸΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΈ состав

ΠŸΡ€Π΅ΠΈΠΌΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²Π° ΠΈ нСдостатки элСктронной микроскопии

ЭлСктронная микроскопия ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ‚ рядом прСимущСств:

  • БвСрхвысокоС пространствСнноС Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ (Π΄ΠΎ 0.05 Π½ΠΌ)
  • Π‘ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠ°Ρ Π³Π»ΡƒΠ±ΠΈΠ½Π° рСзкости
  • Π’ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ получСния ΠΈΠ½Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΎ Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½Π΅ΠΉ структурС ΠΈ составС
  • Π¨ΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΈΠΉ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½ ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠΉ
  • Π’ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ исслСдования динамичСских процСссов

Однако Ρƒ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π° Π΅ΡΡ‚ΡŒ ΠΈ Π½Π΅ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ нСдостатки:


  • Π‘Π»ΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΈ Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠ³ΠΎΠ²ΠΈΠ·Π½Π° оборудования
  • ΠΠ΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠ²
  • ВысокиС трСбования ΠΊ Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΡƒ
  • Π’ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ поврСТдСния ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π° элСктронным ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠΎΠΌ
  • ΠžΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅Π½Π½Π°Ρ Ρ†Π²Π΅Ρ‚ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄Π°Ρ‡Π° ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΉ

ΠžΠ±Π»Π°ΡΡ‚ΠΈ примСнСния элСктронной микроскопии

ЭлСктронная микроскопия ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎ примСняСтся Π² Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… областях Π½Π°ΡƒΠΊΠΈ ΠΈ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΈΠΊΠΈ:

  • ΠœΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ (исслСдованиС структуры ΠΈ свойств ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ²)
  • Биология ΠΈ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈΡ†ΠΈΠ½Π° (ΠΈΠ·ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠ»Π΅Ρ‚ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Ρ… структур, вирусов)
  • НанотСхнологии (Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ· наноструктур ΠΈ Π½Π°Π½ΠΎΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ²)
  • ΠŸΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Π°Ρ ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ (ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ качСства микросхСм)
  • ΠšΡ€ΠΈΠΌΠΈΠ½Π°Π»ΠΈΡΡ‚ΠΈΠΊΠ° (Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ· микрочастиц)
  • ГСология (исслСдованиС ΠΌΠΈΠ½Π΅Ρ€Π°Π»ΠΎΠ² ΠΈ Π³ΠΎΡ€Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠΎΡ€ΠΎΠ΄)

НовСйшиС Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ Π² области элСктронной микроскопии

ЭлСктронная микроскопия ΠΏΡ€ΠΎΠ΄ΠΎΠ»ΠΆΠ°Π΅Ρ‚ Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎ Ρ€Π°Π·Π²ΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒΡΡ. НСкоторыС соврСмСнныС направлСния развития:

  • ΠšΡ€ΠΈΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ½Π½Π°Ρ микроскопия для исслСдования биологичСских ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠ²
  • Атомно-Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅ΡˆΠ°ΡŽΡ‰Π°Ρ элСктронная микроскопия
  • БвСрхбыстрая элСктронная микроскопия для изучСния динамичСских процСссов
  • ΠšΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ систСмы, ΡΠΎΡ‡Π΅Ρ‚Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ возмоТности ПЭМ ΠΈ РЭМ
  • Π˜Π½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Ρ†ΠΈΡ с Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΠΌΠΈ аналитичСскими ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ (спСктроскопия, томография)

Π­Ρ‚ΠΈ ΠΈΠ½Π½ΠΎΠ²Π°Ρ†ΠΈΠΈ Ρ€Π°ΡΡˆΠΈΡ€ΡΡŽΡ‚ возмоТности ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π° ΠΈ ΠΎΡ‚ΠΊΡ€Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ Π½ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ пСрспСктивы для исслСдований Π² Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… областях Π½Π°ΡƒΠΊΠΈ ΠΈ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΈΠΊΠΈ.


ΠŸΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠ° ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠ² для элСктронной микроскопии

ΠŸΡ€Π°Π²ΠΈΠ»ΡŒΠ½Π°Ρ ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠ° ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠ² критичСски Π²Π°ΠΆΠ½Π° для получСния качСствСнных Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚ΠΎΠ² Π² элСктронной микроскопии. ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρ‹ ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π°ΡŽΡ‚ΡΡ для ПЭМ ΠΈ РЭМ:

ΠŸΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠ° ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠ² для ПЭМ:

  • Π£Π»ΡŒΡ‚Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΡ‚ΠΎΠΌΠΈΡ (ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Ρ€Π°Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ… срСзов)
  • ИонноС ΡƒΡ‚ΠΎΠ½Π΅Π½ΠΈΠ΅
  • ЭлСктрохимичСскоС ΠΏΠΎΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅
  • ΠŸΡ€ΠΈΠ³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ€Π΅ΠΏΠ»ΠΈΠΊ

ΠŸΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠ° ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠ² для РЭМ:

  • НапылСниС проводящих ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠΉ
  • Π₯имичСская фиксация биологичСских ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠ²
  • Π‘ΡƒΡˆΠΊΠ° Π² критичСской Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠ΅
  • ΠšΡ€ΠΈΠΎΡ„ΠΈΠΊΡΠ°Ρ†ΠΈΡ

Π’Ρ‹Π±ΠΎΡ€ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π° ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ зависит ΠΎΡ‚ Ρ‚ΠΈΠΏΠ° ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π° ΠΈ Π·Π°Π΄Π°Ρ‡ исслСдования. ΠŸΡ€Π°Π²ΠΈΠ»ΡŒΠ½Π°Ρ ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠ° позволяСт ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π°Ρ€Ρ‚Π΅Ρ„Π°ΠΊΡ‚Ρ‹ ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ достовСрныС Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Ρ‹.


Π’ΠΈΠ΄Ρ‹ элСктронных микроскопов.

ΠœΠ½ΠΎΠ³ΠΎΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΈΠ΅ явлСний, Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… изучСния ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΠΈ элСк­тронной микроскопии, опрСдСляСт Ρ€Π°Π·Π½ΠΎΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΈΠ΅ ΠΈ спСцифику Π΅Π΅ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΈ ΡΠΎΠΎΡ‚Π²Π΅Ρ‚ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… устройств. ΠœΡ‹ ΡƒΠΆΠ΅ Π·Π½Π°ΠΊΠΎΠΌΡ‹ с ΠΏΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏΠΎΠΌ дСйствия ΠΏΡ€ΠΎΡΠ²Π΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ элСктронного микроскопа. Π‘ Π΅Π³ΠΎ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΠ΅ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Ρ‹, ΠΏΡ€ΠΎΠΏΡƒΡΠΊΠ°ΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ ΠΏΠ°Π΄Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠΉ Π½Π° Π½ΠΈΡ… ΠΏΡƒΡ‡ΠΎΠΊ элСктронов.

Π’ рядС случаСв ΠΈ Π² ΠΏΠ΅Ρ€Π²ΡƒΡŽ ΠΎΡ‡Π΅Ρ€Π΅Π΄ΡŒ для исслСдования массивных ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ² ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ΡΡ элСктронныС микроскопы Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΡ… Ρ‚ΠΈΠΏΠΎΠ².

Эмиссионный элСктронный микроскоп Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΡƒΠ΅Ρ‚ ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ элСктронов, испускаСмых самим ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ΠΎΠΌ. Π’Π°ΠΊΠΎΠ΅ испусканиС достигаСтся ΠΏΡƒΡ‚Π΅ΠΌ нагрСвания ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚Π° (тСрмоэлСктронная эмиссия), освСщСния Π΅Π³ΠΎ (фотоэлСктронная эмиссия), Π±ΠΎΠΌΠ±Π°Ρ€Π΄ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠΈ элСктро­нами ΠΈΠ»ΠΈ ΠΈΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ (вторичная элСктронная эмиссия), Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΏΠΎΠΌΠ΅Ρ‰Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π΅Π³ΠΎ Π² сильноС элСктричСскоС ΠΏΠΎΠ»Π΅ (автоэлСктронная эмиссия). Π£Π²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½Π½ΠΎΠ΅ ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ формируСтся ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±Π½ΠΎ Ρ‚ΠΎΠΌΡƒ, ΠΊΠ°ΠΊ это дСлаСтся Π² микроскопС ΠΏΡ€ΠΎΡΠ²Π΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ Ρ‚ΠΈΠΏΠ°.

ΠžΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ изо­браТСния Π² эмиссионном элСктронном микроскопС происходит Π² основном Π·Π° счСт Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ испускания элСктронов микроучастками ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚Π°. ΠŸΡ€ΠΈ эмиссионных исслСдованиях ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ² Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅ΡˆΠ°ΡŽΡ‰Π°Ρ ΡΠΏΠΎΒ­ΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ микроскопов составляСт 300А.

Эмиссионная элСктронная микроскопия нашла ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Β­Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² исслСдованиях ΠΈ Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ°Ρ… ΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠ² элСктровакуумных ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ΠΎΠ² Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ, Π² Ρ‚ΠΎΠΌ числС Ρ€Π°Π΄ΠΈΠΎΠ»ΠΎΠΊΠ°Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ примСнСния, Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ Π² физичСских исслСдованиях ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΎΠ² ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ².

Π’ ΠΎΡ‚Ρ€Π°ΠΆΠ°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΌ элСктронном микроскопС ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ созда­Стся с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ элСктронов, ΠΎΡ‚Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½Π½Ρ‹Ρ… (рассСянных) повСрхностным слоСм ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚Π°. ΠžΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ изобраТСния Π² Π½Π΅ΠΌ обусловлСно Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΒ­Ρ‡ΠΈΠ΅ΠΌ рассСяния элСктронов Π² Ρ€Π°Π·Π½Ρ‹Ρ… Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠ°Ρ… ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚Π° Π² зависимости ΠΎΡ‚ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° ΠΈ ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΡ€Π΅Π»ΡŒΠ΅Ρ„Π°. ΠžΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Ρ‹ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°ΡŽΡ‚ΡΡ ΠΏΠΎΠ΄ ΠΌΠ°Π»Ρ‹ΠΌ ΡƒΠ³Π»ΠΎΠΌ (ΠΏΡ€ΠΈΠ±Π»ΠΈΠ·ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ нСсколько градусов) ΠΊ повСрхности. ΠŸΡ€Π°ΠΊΡ‚ΠΈΡ‡Π΅Β­ΡΠΊΠΈ Π½Π° элСктронных микроскопах Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠ³ΠΎ Ρ‚ΠΈΠΏΠ° достигнуто Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ порядка 100 ангстрСм.

Одна ΠΈΠ· особСнностСй ΠΎΡ‚Ρ€Π°ΠΆΠ°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ элСктронного микро­скопа β€” Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ΅ ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠΉ Π² Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… направлСния вдоль плоскости ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚Π° связано с Π½Π°ΠΊΠ»ΠΎΠ½Π½Ρ‹ΠΌ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚Π° ΠΏΠΎ ΠΎΡ‚Β­Π½ΠΎΡˆΠ΅Π½ΠΈΡŽ ΠΊ оптичСской оси микроскопа. ΠŸΠΎΡΡ‚ΠΎΠΌΡƒ ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠ³ΠΎ микроскопа Ρ…Π°Ρ€Π°ΠΊΡ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ двумя Π²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Π°ΠΌΠΈ: ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π² плоскости падСния ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠ° элСктронов ΠΈ ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π² плоскости, пСр­пСндикулярной плоскости падСния.

Растровый элСктронный микроскоп основан Π½Π° использовании ΠΏΡ€Π΅Π΄Π²Π°Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ сформированного Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΎΠ³ΠΎ элСктронного Π»ΡƒΡ‡Π° (Π·ΠΎΠ½Π΄Π°), ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ³ΠΎ ΡƒΠΏΡ€Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‚ с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ элСктромагнитных ΠΏΠΎΠ»Π΅ΠΉ. Π­Ρ‚ΠΎ ΡƒΠΏΡ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ (сканированиС) Π²ΠΎ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΠΌ Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΈΡ‡Π½ΠΎ процСссу Ρ€Π°Π·Β­Π²Π΅Ρ€Ρ‚ΠΊΠΈ Π² Ρ‚Π΅Π»Π΅Π²ΠΈΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹Ρ… кинСскопах. Π­Π»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ½Π½Ρ‹ΠΉ Π·ΠΎΠ½Π΄ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΡ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ ΠΏΠΎ повСрхности исслСдуСмого ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π°. Под воздСйствиСм элСктронов ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠ° происходит ряд процСссов, Ρ…Π°Ρ€Π°ΠΊΡ‚Π΅Ρ€Β­Π½Ρ‹Ρ… для Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° ΠΈ Π΅Π³ΠΎ структуры. К ΠΈΡ… числу относятся рассСяниС ΠΏΠ΅Ρ€Π²ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… элСктронов, испусканиС (эмиссия) Π²Ρ‚ΠΎΡ€ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… элСктронов, появлСниС элСктронов, ΠΏΡ€ΠΎΡˆΠ΅Π΄ΡˆΠΈΡ… сквозь ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ (Π² слу­чаС Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ… ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ²), Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ½ΠΎΠ²Π΅Π½ΠΈΠ΅ рСнтгСновского излучСния.

Π’ рядС ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… случаСв (Π»ΡŽΠΌΠΈΠ½Π΅ΡΡ†ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹, ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΒ­Π²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΈ) Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°Π΅Ρ‚ Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ свСтовоС ΠΈΠ·Π»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅. РСгистрация элСктронов, выходящих ΠΈΠ· ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚Π°, Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΡ… Π²ΠΈΠ΄ΠΎΠ² излучСния (рСнтгСновского, свСтового) Π΄Π°Π΅Ρ‚ ΠΈΠ½Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΡŽ ΠΎ Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… свойствах микроучастков ΠΈΠ·ΡƒΡ‡Π°Π΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚Π°. БоотвСтствСнно этому систСмы ΠΈΠ½Π΄ΠΈΠΊΠ°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΈ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΠ΅ элСмСнты растровых микроскопов Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Π² зависимости ΠΎΡ‚ Π²ΠΈΠ΄Π° рСгистрируСмого излучСния.

Π‘ΠΈΠ½Ρ…Ρ€ΠΎΠ½Π½ΠΎ с Ρ€Π°Π·Π²Π΅Ρ€Ρ‚ΠΊΠΎΠΉ элСктронного Π·ΠΎΠ½Π΄Π° осущСствляСтся Ρ€Π°Π·Π²Π΅Ρ€Ρ‚ΠΊΠ° Π»ΡƒΡ‡Π° большого кинСскопа. Рассмотрим Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρƒ растрового элСктронного микроскопа Π² Ρ€Π΅ΠΆΠΈΠΌΠ΅ ΠΈΠ½Π΄ΠΈΠΊΠ°Ρ†ΠΈΠΈ Ρ‚ΠΎΠΊΠ° Π²Ρ‚ΠΎΡ€ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… элСк­тронов. Π’ этом случаС Π²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Π° Π²Ρ‚ΠΎΡ€ΠΈΡ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ элСктронного Ρ‚ΠΎΠΊΠ° опрСдСляСт Π³Π»ΡƒΠ±ΠΈΠ½Ρƒ модуляции яркости Π½Π° экранС кинСскопа. Растро­вый элСктронный микроскоп Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠ³ΠΎ Ρ‚ΠΈΠΏΠ° позволяСт ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 100 100 000 ΠΏΡ€ΠΈ достаточной контрастности изобра­ТСния. Π Π°Π·Ρ€Π΅ΡˆΠ°ΡŽΡ‰Π°Ρ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ растровых элСктронных микроскопов опрСдСляСтся Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠΌ элСктронного Π·ΠΎΠ½Π΄Π° ΠΈ Π² случаС получСния изобраТСния Π² элСктронных Π»ΡƒΡ‡Π°Ρ… составляСт 300Γ€. РастровыС элСк­тронныС микроскопы ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡŽΡ‚ ΠΈΠ·ΡƒΡ‡Π°Ρ‚ΡŒ, Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, Ρ‚Π°ΠΊ Π½Π°Π·Ρ‹Π²Π°Π΅ΠΌΡ‹Π΅ p-n ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Ρ‹ Π² ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°Ρ….

Из элСктронных микроскопов упомянСм Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ элСктронный микроскоп, основной ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ³ΠΎ являСтся Ρ‡ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΒ­Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΊ микроскопичСским элСктричСским ΠΈ ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡ‚Π½Ρ‹ΠΌ полям Π½Π° ΠΎΡ‚Ρ€Π°ΠΆΠ°ΡŽΡ‰Π΅ΠΌ массивном ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚Π΅. ΠŸΡ€ΠΈ этом достигаСтся Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»Π΅ΠΉ порядка 1000А ΠΈ ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΡ‡Ρ‚ΠΈ Π² 2000*. Π Π°Π±ΠΎΡ‚Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠ³ΠΎ микроскопа основана Π½Π° дСйствии микроскопичСских элСктричСских ΠΈ ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠΎΠ»Π΅ΠΉ Π½Π° элСктронный ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΊ. Π—Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ элСктронный мик­роскоп позволяСт ΠΈΠ·ΡƒΡ‡Π°Ρ‚ΡŒ, Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, Π΄ΠΎΠΌΠ΅Π½Π½ΡƒΡŽ структуру Ρ„Π΅Ρ€Ρ€ΠΎΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ², структуру сСгнСтоэлСктриков.

Π’ Ρ‚Π΅Π½Π΅Π²ΠΎΠΌ элСктронном микроскопС, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΆΠ΅ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΈ Π² растровом, формируСтся элСктронный Π·ΠΎΠ½Π΄, ΠΎΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π΅Π³ΠΎ остаСтся Π½Π΅ΠΈΠ·Β­ΠΌΠ΅Π½Π½Ρ‹ΠΌ. Π­Π»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ½Π½Ρ‹Π΅ Π»ΡƒΡ‡ΠΈ Π·ΠΎΠ½Π΄Π° слуТат для получСния ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ‚Π΅Π½Π΅Π²ΠΎΠ³ΠΎ изобраТСния ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚Π°, ΠΏΠΎΠΌΠ΅Ρ‰Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π² нСпосрСдствСнной бли­зости ΠΎΡ‚ Π·ΠΎΠ½Π΄Π°. ΠžΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ изобраТСния обусловлСно рассСяниСм ΠΈ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡ‰Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ элСктронов Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹ΠΌΠΈ участками ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚Π°. Π‘Π»Π΅Π΄ΡƒΠ΅Ρ‚ ΠΎΡ‚Β­ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΈΡ‚ΡŒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π½ΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΊΠΎΠ½Π΅Ρ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ изобраТСния Π² Ρ‚Π΅Π½Π΅Π²ΠΎΠΌ элСктронном микроскопС Π½Π΅Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Π°, поэтому ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ Π² Π½ΠΈΡ… ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΒ­Π·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ усилитСли свСта Ρ‚ΠΈΠΏΠ° элСктронно-оптичСских ΠΏΡ€Π΅ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΒ­Π²Π°Ρ‚Π΅Π»Π΅ΠΉ.

Π’Π°ΠΆΠ½ΠΎΠΉ Ρ€Π°Π·Π½ΠΎΠ²ΠΈΠ΄Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ элСктронных микроскопов растрового Ρ‚ΠΈΠΏΠ° являСтся ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΡ€Π΅Π½Ρ‚Π³Π΅Π½ΠΎΡΠΏΠ΅ΠΊΡ‚Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π°Ρ‚ΠΎΡ€. ΠŸΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ осно­ван Π½Π° Π²ΠΎΠ·Π±ΡƒΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠΈ Ρ‚Π°ΠΊ Π½Π°Π·Ρ‹Π²Π°Π΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ характСристичСского рСнтгСновского излучСния Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠΎΠ² ΠΌΠ°Π»ΠΎΠ³ΠΎ участка повСрхности — ΠΎΠ±Β­Ρ€Π°Π·Ρ†Π° с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΎΠ³ΠΎ высокоскоростного элСктронного Π·ΠΎΠ½Π΄Π°. Π­Π»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ½Π½Ρ‹ΠΉ Π·ΠΎΠ½Π΄ с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ систСмы Ρ€Π°Π·Π²Π΅Ρ€Ρ‚ΠΊΠΈ ΠΎΠ±Π΅Π³Π°Π΅Ρ‚ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΠ΅Β­ΠΌΡƒΡŽ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ. ΠŸΡ€ΠΈ Ρ‚ΠΎΡ€ΠΌΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΈ элСктронов Π½Π° повСрхности Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°Π΅Ρ‚ наряду с Ρ‚Π°ΠΊ Π½Π°Π·Ρ‹Π²Π°Π΅ΠΌΡ‹ΠΌ Ρ‚ΠΎΡ€ΠΌΠΎΠ·Π½Ρ‹ΠΌ ΠΈΠ·Π»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ характСри­стичСскоС рСнтгСновскоС ΠΈΠ·Π»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅, свойства ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ³ΠΎ сущСствСнно ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ строСниСм элСктронных ΠΎΠ±ΠΎΠ»ΠΎΡ‡Π΅ΠΊ Π² Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠ°Ρ… вСщСства. Π­Ρ‚ΠΎ ΠΈΠ·Π»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ обязано своим Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ½ΠΎΠ²Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ энСргСтичСским ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΒ­Π΄ΠΎΠΌ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ Π³Π»ΡƒΠ±ΠΎΠΊΠΈΠΌΠΈ энСргСтичСскими уровнями Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠΎΠ².

Π’ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°ΡŽΡ‰Π΅Π΅ характСристичСскоС ΠΈΠ·Π»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ рСгистрируСтся с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ Ρ€Π΅Π½Ρ‚Π³Π΅Π½ΠΎΡΠΏΠ΅ΠΊΡ‚Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ Π°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹. Π”ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ элСктронного Π·ΠΎΠ½Π΄Π° ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½ΡΡ‚ΡŒΡΡ ΠΎΡ‚ 360 Π΄ΠΎ 0,5 ΠΌΠΊΠΌ, Π° Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ просматриваСмой ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠΈ прСдставляСт собой ΠΊΠ²Π°Π΄Ρ€Π°Ρ‚ со стороной 360, 180, 90 ΠΈΠ»ΠΈ 45 ΠΌΠΊΠΌ. Π’ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΌ ΠΈΠ· ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ΠΎΠ² Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠ³ΠΎ Ρ‚ΠΈΠΏΠ° ΡΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π° ΠΏΠΎ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΌΡƒ хи­мичСскому элСмСнту соотвСтствуСт двиТСнию Π·ΠΎΠ½Π΄Π° 8 ΠΈΠ»ΠΈ 96 ΠΌΠΊΠΌ/ΠΌΠΈΠ½ (ΠΏΡ€ΠΈ мСханичСском ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Ρ‰Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚Π°). ΠΠ½Π°Π»ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ всС элСмСнты пСриодичСской систСмы элСмСнтов МСндСлССва, Π»Π΅Π³ΠΊΠΈΡ… (ΠΎΡ‚ Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ€Π° 11 — натрия).ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ объСм вСщСства, ΠΏΠΎΠ΄Π΄Π°ΡŽΒ­Ρ‰Π΅Π³ΠΎΡΡ количСствСнному Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Ρƒ, составляСт 0,1 ΠΌΠΊΠ³. Π‘ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ микрорСнтгСновского Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π°Ρ‚ΠΎΡ€Π° ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°ΡŽΡ‚ распрСдСлСниС Ρ„ΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΎ-химичСского состава вдоль исслСдуСмой повСрхности.

Π’ Π‘Π‘Π‘Π  сСрийно выпускаСтся (выпускался) микрорСнтгСновский Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π°Ρ‚ΠΎΡ€ Ρ‚ΠΈΠΏΠ° МАР-1 (Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ Π·ΠΎΠ½Π΄Π° ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 1 ΠΌΠΊΠΌ, наимСньшая ана­лизируСмая ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΡŒ 1ΠΌΠΊΠΌ2). ΠŸΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€Ρ‹ Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π²ΠΈΠ΄Π° находят ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² элСктронной ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΠΈ ΠΈ Π² Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΡ… областях Π½Π°ΡƒΠΊΠΈ ΠΈ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΈΠΊΠΈ.

Π§ΠΈΡ‚Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒ, Π²ΠΈΠ΄ΠΈΠΌΠΎ, ΠΎΠ±Ρ€Π°Ρ‚ΠΈΠ» Π²Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅ Π½Π° Ρ‚ΠΎΡ‚ Ρ„Π°ΠΊΡ‚, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π² элСк­тронных микроскопах Π½Π΅ достигаСтся Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅ΡˆΠ°ΡŽΡ‰Π°Ρ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ, прСдсказываСмая Ρ‚Π΅ΠΎΡ€ΠΈΠ΅ΠΉ. Π’ Ρ‡Π΅ΠΌ ΠΆΠ΅ Π΄Π΅Π»ΠΎ? Вспомним, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π² Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΠΎΒ­Π²Π°Π½ΠΈΠΈ изобраТСния Π² элСктронных микроскопах Π²Π°ΠΆΠ½ΡƒΡŽ Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ ΠΈΠ³Ρ€Π°ΡŽΡ‚ элСмСнты элСктронной ΠΎΠΏΡ‚ΠΈΠΊΠΈ, ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ ΠΎΡΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²Π»ΡΡ‚ΡŒ ΡƒΠΏΡ€Π°Π²Π»Π΅Β­Π½ΠΈΠ΅ элСктронными ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠ°ΠΌΠΈ. Π­Ρ‚ΠΈΠΌ элСмСнтам β€” элСктронным Π»ΠΈΠ½Π·Π°ΠΌ свойствСнны Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ€ΠΎΠ΄Π° отклонСния ΠΎΡ‚ идСального (Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ расчСтом) распрСдСлСния элСктричСских ΠΈ ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠΎΠ»Π΅ΠΉ. ПолоТС­ниС здСсь Π²ΠΎ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΠΌ Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΈΡ‡Π½ΠΎ ограничСниям Π² оптичСской микроскопии, связанным с Π½Π΅Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ изготовлСния оптичСских Π»ΠΈΠ½Π·, Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π» ΠΈ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΡ… элСмСнтов. ΠšΡ€ΠΎΠΌΠ΅ Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, ряд трудностСй связан с осо­бСнностями изготовлСния ΠΈ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ источников элСктронных ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΊΠΎΠ² (ΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠ²), Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ с ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΠΎΠΉ создания ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΊΠΎΠ², Π² ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… элСктроны ΠΌΠ°Π»ΠΎ ΠΎΡ‚Π»ΠΈΡ‡Π°ΡŽΡ‚ΡΡ ΠΏΠΎ скоростям. Π’ соотвСтствии с этими Ρ„Π°ΠΊΡ‚Π°ΠΌΠΈ, Π΄Π΅ΠΉΒ­ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΌΠΈ Π² Ρ€Π΅Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… условиях, Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π°ΡŽΡ‚ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Ρ‘Π½Π½Ρ‹Π΅ Π²ΠΈΠ΄Ρ‹ искаТСний Π² элСктронных микроскопах, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡ ΠΏΡ€ΠΈ этом Ρ‚Π΅Ρ€ΠΌΠΈΠ½ΠΎΠ»ΠΎΒ­Π³ΠΈΡŽ, Π·Π°ΠΈΠΌΡΡ‚Π²ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡƒΡŽ ΠΈΠ· свСтовой ΠΎΠΏΡ‚ΠΈΠΊΠΈ.

ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹ΠΌΠΈ Π²ΠΈΠ΄Π°ΠΌΠΈ искаТСний элСктронных Π»ΠΈΠ½Π· Π² ΠΏΡ€ΠΎΡΠ²Π΅Ρ‡ΠΈΒ­Π²Π°ΡŽΡ‰ΠΈΡ… микроскопах ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ сфСричСская ΠΈ хроматичСская Π°Π±Π΅Ρ€Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ, Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ дифракция ΠΈ приосСвой астигматизм. НС ΠΎΡΡ‚Π°Π½Π°Π²Β­Π»ΠΈΠ²Π°ΡΡΡŒ Π½Π° происхоТдСнии Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… Π²ΠΈΠ΄ΠΎΠ² искаТСний, связанных с Π½Π°Ρ€ΡƒΡˆΠ΅Π½ΠΈΡΠΌΠΈ симмСтрии ΠΏΠΎΠ»Π΅ΠΉ ΠΈ Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠ½Ρ‹ΠΌ располоТСниСм элСмСнтов элСктронной ΠΎΠΏΡ‚ΠΈΠΊΠΈ, упомянСм лишь ΠΎ хроматичСской Π°Π±Π΅Ρ€Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ. По­слСдний Π²ΠΈΠ΄ искаТСний Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΈΡ‡Π΅Π½ возникновСнию ΠΎΠΊΡ€Π°ΡˆΠ΅Π½Π½Ρ‹Ρ… ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΉ Π² простых биноклях ΠΈ Π»ΡƒΠΏΠ°Ρ…. ИспользованиС ΡΠΏΠ΅ΠΊΡ‚Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎ чистого монохроматичСского свСта Π² ΠΎΠΏΡ‚ΠΈΠΊΠ΅ (вмСсто Π±Π΅Π»ΠΎΠ³ΠΎ) устраняСт этот Π²ΠΈΠ΄ искаТСний. Аналогично этому Π² элСктронной микроскопии ΠΈΡΒ­ΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΠΎ возмоТности ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠΈ элСктронов, скорости ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… ΠΎΡ‚Π»ΠΈΡ‡Π°ΡŽΡ‚ΡΡ ΠΌΠ°Π»ΠΎ (вспомним ΡΠΎΠΎΡ‚Π½ΠΎΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ =h/(mv) для элСктрона!). Π­Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ Π΄ΠΎΡΡ‚ΠΈΠ³Π°ΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΠΎΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… источников элСк­тричСского питания.

Π‘Π»ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΌ β€œΡ€ΠΎΠ΄ΡΡ‚Π²Π΅Π½Π½ΠΈΠΊΠΎΠΌβ€ элСктронного микроскопа являСтся элСктронограф ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΉ явлСниС Π΄ΠΈΡ„Ρ€Π°ΠΊΡ†ΠΈΠΈ элСк­тронов, Ρ‚ΠΎΠΉ самой Π΄ΠΈΡ„Ρ€Π°ΠΊΡ†ΠΈΠΈ, которая Π² своё врСмя ΠΏΠΎΠ΄Ρ‚Π²Π΅Ρ€Π΄ΠΈΠ»Π° Π½Π°Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ΅ Π²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… свойств Ρƒ элСктронов ΠΈ ставит Π² наши Π΄Π½ΠΈ ΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π» Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ Π² элСктронном микроскопС. Π’ случаС элСктронов ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΒ­Ρ‚Π°ΠΌΠΈ, Π² ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΏΡ€ΠΎΠΈΡΡ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒ дифракция Π½Π° пСриодичСской структурС (Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΈΡ‡Π½ΠΎΠΉ ΠΎΠ±ΡŠΡ‘ΠΌΠ½ΠΎΠΉ Π΄ΠΈΡ„Ρ€Π°ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ Ρ€Π΅ΡˆΡ‘Ρ‚ΠΊΠ΅ Π² ΠΎΠΏΡ‚ΠΈΠΊΠ΅), слуТат кристалличСскиС структуры. Π˜Π·Π²Π΅ΡΡ‚Π½ΠΎ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π² кристаллах Π°Ρ‚ΠΎΠΌΡ‹ располоТСны Π² строгом гСомСтричСском порядкС Π½Π° расстояниях по­рядка Π΅Π΄ΠΈΠ½ΠΈΡ† ангстрСм. ОсобСнно ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎ это располоТСниС Π² Ρ‚Π°ΠΊ Π½Π°Π·Ρ‹Π²Π°Π΅ΠΌΡ‹Ρ… монокристаллах. ΠŸΡ€ΠΈ взаимодСйствии элСктронов с Ρ‚Π°Β­ΠΊΠΈΠΌΠΈ структурами Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°Π΅Ρ‚ рассСяниС элСктронов Π² прСимущСствСн­ных направлСниях Π² соотвСтствии с прСдсказываСмыми Ρ‚Π΅ΠΎΡ€ΠΈΠ΅ΠΉ ΡΠΎΠΎΡ‚Π½ΠΎΡˆΠ΅Π½ΠΈΡΠΌΠΈ. РСгистрируя рассСянныС элСктроны (Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, фотографируя ΠΈΡ…), ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°Ρ‚ΡŒ ΠΈΠ½Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΡŽ ΠΎΠ± Π°Ρ‚ΠΎΠΌΒ­Π½ΠΎΠΉ структурС вСщСства. Π’ соврСмСнных условиях элСктронография ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎ примСняСтся ΠΏΡ€ΠΈ исслСдованиях Π½Π΅ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ Ρ‚Π²Ρ‘Ρ€Π΄Ρ‹Ρ…, Π½ΠΎ ΠΈ ΠΆΠΈΠ΄Β­ΠΊΠΈΡ…, Π³Π°Π·ΠΎΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Π½Ρ‹Ρ… Ρ‚Π΅Π». О Π²ΠΈΠ΄Π΅ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°Π΅ΠΌΡ‹Ρ… элСктронограмм ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΡƒΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΏΠΎ фотографиям (см. рис.6).

Рис. 6. Π­Π»Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Π½ΠΎΠ³Ρ€Π°ΠΌΠΌΠ° высокого Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ (окись Ρ†ΠΈΠ½ΠΊΠ°):

Π²Π²Π΅Ρ€Ρ…Ρƒ элСктронограмма; Π²Π½ΠΈΠ·Ρƒ ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½Π½ΠΎΠ΅ ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ участка А.

Π’ нашСй странС ΠΈ Π·Π° Ρ€ΡƒΠ±Π΅ΠΆΠΎΠΌ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ΡΡ спСциализированныС элСктронографы ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ‚ΠΈΠΏΠ°. ΠšΡ€ΠΎΠΌΠ΅ Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, Π² Π½Π΅ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… элСк­тронных микроскопах прСдусмотрСна Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ Π² Ρ€Π΅ΠΆΠΈΠΌΠ΅ элСктронографии.

Π‘Π»Π΅Π΄ΡƒΠ΅Ρ‚ Π·Π°ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΈΡ‚ΡŒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ с Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠΈ зрСния Ρ„ΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ элСк­тронограмм прСдставляСт собой процСсс, Π²ΠΎ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΠΌ Π±Π»ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΉ процСссу ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΡŽ Ρ€Π΅Π½Ρ‚Π³Π΅Π½ΠΎΠ³Ρ€Π°ΠΌΠΌ Π² рСнтгСноструктурном Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π΅. Π”Π΅ΠΉΡΡ‚Π²ΠΈΒ­Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ, Ссли Π² элСктрографии ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ дифракция элСктронов, Ρ‚ΠΎ Π² рСнтгСноструктурном Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π΅ происходит дифракция рСнтгСнов­ских Π»ΡƒΡ‡Π΅ΠΉ Π½Π° Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠ½Ρ‹Ρ… структурах. ЕстСствСнно, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΊΠ°ΠΆΠ΄Ρ‹ΠΉ ΠΈΠ· этих ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ свою ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡ‚ΡŒ примСнСния.

ΠŸΡ€ΠΎΡΠ²Π΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‰Π°Ρ элСктронная микроскопия (ПЭМ)

ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΈΠΊΠ° исслСдования Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ… ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠ²/Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ (<< 1ΠΌΠΊΠΌ) посрСдством Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π° проходящСго сквозь Π½ΠΈΡ… высокоэнСргСтичного ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠ° элСктронов. Высокая энСргия Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… с ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠΌ элСктронов позволяСт Π½Π°Π±Π»ΡŽΠ΄Π°Ρ‚ΡŒ Π·Π° ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚Π°ΠΌΠΈ с высоким, Π²ΠΏΠ»ΠΎΡ‚ΡŒ Π΄ΠΎ Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠ°Ρ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ, Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ.

ПЭМ исслСдования МРЦ НВ НП Π‘ΠŸΠ±Π“Π£ проводятся Π½Π° ΠΏΡ€ΠΎΡΠ²Π΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‰Π΅ΠΌ элСктронном микроскопС LIBRA 200FE со встроСнным Ω-Ρ„ΠΈΠ»ΡŒΡ‚Ρ€ΠΎΠΌ. Π£ΡΠΊΠΎΡ€ΡΡŽΡ‰Π΅Π΅ напряТСниС микроскопа – 200кэВ.Β 

ΠŸΡ€ΠΈ ПЭМ исслСдованиях ΠΈ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π΅ ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΉ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π°Ρ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΈΡ€ΠΎΠ΄Ρƒ Π½Π°Π±Π»ΡŽΠ΄Π°Π΅ΠΌΡ‹Ρ… контрастов.

1. Абсорбционный контраст

ΠšΠΎΠ½Ρ‚Ρ€Π°ΡΡ‚ формируСтся Π² Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π΅ Π½Π΅ΡƒΠΏΡ€ΡƒΠ³ΠΎΠ³ΠΎ рассСяния проходящих Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Π΅Ρ† элСктронов. Π’ случаС исслСдования ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡ€ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π΅ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ, содСрТащСй частицы Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°, послСдниС Π½Π°Π±Π»ΡŽΠ΄Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ Ρ‚Π΅ΠΌΠ½Ρ‹Ρ… областСй Π½Π° Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ свСтлом ΠΎΠ±Ρ‰Π΅ΠΌΒ  Ρ„ΠΎΠ½Π΅. ΠŸΡ€ΠΈ исслСдовании ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡ€ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎ составу Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ Ρ€Π°Π·Π½ΠΎΠΉ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹, участки большСй Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹ Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€Π°ΡΡ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π½Π° ΡƒΡ€ΠΎΠ²Π½Π΅ ΠΎΠ±Ρ‰Π΅Π³ΠΎ Ρ„ΠΎΠ½Π°.Β 

ΠšΠΎΠ½Ρ‚Ρ€Π°ΡΡ‚ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ для исслСдования микрочастиц Π½Π° Π°ΠΌΠΎΡ€Ρ„Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Ρ‘Π½ΠΊΠ΅ (рис. 2.1). Π’Π°ΠΊΠΆΠ΅ Π΅Π³ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ для исслСдования Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ химичСского состава Π² области Π½Π΅ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡ€ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ контраста.

Рис. 2.1 Частицы TiO2 Π½Π° ΡƒΠ³Π»Π΅Ρ€ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠ΅

2. Π”ΠΈΡ„Ρ€Π°ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹ΠΉ контраст

ΠšΠΎΠ½Ρ‚Ρ€Π°ΡΡ‚ формируСтся Π² Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π΅ ΡƒΠΏΡ€ΡƒΠ³ΠΎΠ³ΠΎ рассСяния проходящих элСктронов Π½Π° рСгулярно располоТСнных Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠ°Ρ… Π² кристалличСской Ρ€Π΅ΡˆΡ‘Ρ‚ΠΊΠ΅.

ΠšΠΎΠ½Ρ‚Ρ€Π°ΡΡ‚ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ для опрСдСлСния кристалличности ΠΏΠ»Ρ‘Π½ΠΊΠΈ, опрСдСлСния ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π° Ρ€Π΅ΡˆΡ‘Ρ‚ΠΊΠΈ (рис. 2.2).

Β 

Рис. 2.2 Дифракционная ΠΊΠ°Ρ€Ρ‚ΠΈΠ½Π° Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Ρ‚ΠΊΠΈ крСмния Π² Π½Π°ΠΏΡ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ Β [100]

3. Амплитудный контраст

ЀормируСтся  ΠΏΡ€ΠΈ Π²Ρ‹Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΈΠ· Π΄ΠΈΡ„Ρ€Π°ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΊΠ°Ρ€Ρ‚ΠΈΠ½Ρ‹ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ рСфлСкса ΠΈ Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄Π΅ Π΅Π³ΠΎ изобраТСния Π½Π° ΠΎΠΏΡ‚ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ ось. ΠŸΡ€ΠΈ Π²Ρ‹Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ прямого ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠ° – ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ называСтся ΡΠ²Π΅Ρ‚Π»ΠΎΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ, ΠΏΡ€ΠΈ Π²Ρ‹Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ Π΄ΠΈΡ„Ρ€Π°Π³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠ° – Ρ‚Π΅ΠΌΠ½ΠΎΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ. НСоднородности Π½Π° ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΈ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ ΠΈΠ·-Π·Π° рассСяния элСктронов Π½Π° Π»ΠΎΠΊΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… Π½Π΅ΡΠΎΠ²Π΅Ρ€ΡˆΠ΅Π½ΡΡ‚Π²Π°Ρ… кристалличСской Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Ρ‚ΠΊΠΈ.

Амплитудный контраст Π·Π°Ρ‡Π°ΡΡ‚ΡƒΡŽ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ для ΠΈΠ΄Π΅Π½Ρ‚ΠΈΡ„ΠΈΠΊΠ°Ρ†ΠΈΠΈ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ² Π² кристалличСской Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Ρ‚ΠΊΠ΅/установлСния ΠΈΡ… ΠΏΡ€ΠΈΡ€ΠΎΠ΄Ρ‹ ΠΈ свойств (рис. 2.3).

Рис. 2.3. ПЭМ ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ² ΡƒΠΏΠ°ΠΊΠΎΠ²ΠΊΠΈ Π² ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΈ, Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°ΡŽΡ‰ΠΈΡ… послС ΠΈΠΌΠΏΠ»Π°Π½Ρ‚Π°Ρ†ΠΈΠΈ Er ΠΈ ΠΎΡ‚ΠΆΠΈΠ³Π°. Π‘Π»Π΅Π²Π° –  ΡΠ²Π΅Ρ‚Π»ΠΎΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅, справа – Ρ‚Π΅ΠΌΠ½ΠΎΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ ПЭМ ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅

4. Π€Π°Π·ΠΎΠ²Ρ‹ΠΉ (ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Ρ€Ρ„Π΅Ρ€Π΅Π½Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹ΠΉ) контраст

ЀормируСтся Π² условиях ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ Π΄ΠΈΡ„Ρ€Π°ΠΊΡ†ΠΈΠΈ элСктронов. Π”Π°Π½Π½Ρ‹ΠΉ контраст являСтся слСдствиСм ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Ρ€Ρ„Π΅Ρ€Π΅Π½Ρ†ΠΈΠΈ элСктронных Π²ΠΎΠ»Π½ с Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹ΠΌ Ρ„Π°Π·ΠΎΠ²Ρ‹ΠΌ сдвигом. НаиболСС часто ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅ΠΌΡ‹ΠΌ Ρ‚ΠΈΠΏΠΎΠΌ Ρ„Π°Π·ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ контраста являСтся контраст кристалличСской Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Ρ‚ΠΊΠΈ, Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°ΡŽΡ‰ΠΈΠΉ Π² Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π΅ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Ρ€Ρ„Π΅Ρ€Π΅Π½Ρ†ΠΈΠΈ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΈΡ… элСктронных Π²ΠΎΠ»Π½ (рис. 2.4).

ΠšΠΎΠ½Ρ‚Ρ€Π°ΡΡ‚ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ использован для выявлСния ΠΈ ΠΎΡ†Π΅Π½ΠΊΠΈ ΠΎΡ€ΠΈΠ΅Π½Ρ‚Π°Ρ†ΠΈΠΈ кристалличСских Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Ρ‚ΠΎΠΊ Ρ€Π°Π·Π½Ρ‹Ρ… Ρ„Π°Π· ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°. Π’Π°ΠΊΠΆΠ΅ Π΄Π°Π½Π½Ρ‹ΠΉ Π²ΠΈΠ΄ контраста ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΈΠ·ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠΈ Π½Π΅ΡΠΎΠ²Π΅Ρ€ΡˆΠ΅Π½ΡΡ‚Π² кристалличСских Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Ρ‚ΠΎΠΊ.

Рис. 2.4. ПЭМ ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ частиц ZnO Π½Π° повСрхности ΡƒΠ³Π»Π΅Ρ€ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ, снятоС Π² ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π²Ρ‹Ρ… условиях

5. ΠŸΡ€ΠΎΡΠ²Π΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‰Π°Ρ элСктронная микроскопия высокого Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ (Π’Π Π­Πœ)

Π˜Π·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ высокого Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ формируСтся Π² ПЭМ Π² условиях Ρ„Π°Π·ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ контраста, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° ΠΏΠ°Π΄Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠΉ ΠΏΡƒΡ‡ΠΎΠΊ элСктронов ΠΎΡ€ΠΈΠ΅Π½Ρ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ ΠΏΠ°Ρ€Π°Π»Π»Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ оси Π·ΠΎΠ½Ρ‹ кристалла. ΠŸΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠ³ΠΎ изобраТСния ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ Π½Π° рис. 2.5.Β 

Данная ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΈΠΊΠ° эффСктивно ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ для Ρ…Π°Ρ€Π°ΠΊΡ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΌΠ°Π»Ρ‹Ρ… нСоднородностСй кристалличСской Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Ρ‚ΠΊΠΈ, для установлСния ΠΏΡ€ΠΈΡ€ΠΎΠ΄Ρ‹ Π²Ρ‹Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠΉ Π²Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ Ρ„Π°Π·Ρ‹, для наблюдСния соСдинСний Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Ρ‚ΠΎΠΊ Π½Π° Π³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ†Π΅ Π΄Π²ΡƒΡ… Ρ„Π°Π·, ΠΈ Π΄Ρ€.

Рис. 2.5.Β ΠŸΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ‡Π½ΠΎΠ΅ ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ соСдинСния Π΄Π²ΡƒΡ… Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠ½ΠΎ Ρ€Π°Π·ΠΎΡ€ΠΈΠ΅Π½Ρ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… пластин крСмния. ΠžΡ€ΠΈΠ΅Π½Ρ‚Π°Ρ†ΠΈΡ Π²Π΅Ρ€Ρ…Π½Π΅ΠΉ пластины (110)

Β 

ЭлСктронная микроскопия | TEM ΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΈΠ² SEM | Thermo Fisher Scientific

Π­Π»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ½Π½Ρ‹Π΅ микроскопы стали ΠΌΠΎΡ‰Π½Ρ‹ΠΌ инструмСнтом для опрСдСлСния характСристик ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎΠ³ΠΎ спСктра ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ². Π˜Ρ… ΡƒΠ½ΠΈΠ²Π΅Ρ€ΡΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΈ Ρ‡Ρ€Π΅Π·Π²Ρ‹Ρ‡Π°ΠΉΠ½ΠΎ высокоС пространствСнноС Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄Π΅Π»Π°ΡŽΡ‚ ΠΈΡ… ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ Ρ†Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΌ инструмСнтом для ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΈΡ… ΠΏΡ€ΠΈΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΉ. Двумя основными Ρ‚ΠΈΠΏΠ°ΠΌΠΈ элСктронных микроскопов ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ ΠΏΡ€ΠΎΡΠ²Π΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠΉ элСктронный микроскоп (ПЭМ) ΠΈ ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΉ элСктронный микроскоп (БЭМ). Π—Π΄Π΅ΡΡŒ ΠΌΡ‹ ΠΊΡ€Π°Ρ‚ΠΊΠΎ опишСм ΠΈΡ… сходства ΠΈ различия.

Π Π°Π·Π½ΠΈΡ†Π° ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ SEM ΠΈ TEM

ОсновноС Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ SEM ΠΈ TEM Π·Π°ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Π΅Ρ‚ΡΡ Π² Ρ‚ΠΎΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ SEM создаСт ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡƒΡ‚Π΅ΠΌ обнаруТСния ΠΎΡ‚Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½Π½Ρ‹Ρ… ΠΈΠ»ΠΈ Π²Ρ‹Π±ΠΈΡ‚Ρ‹Ρ… элСктронов, Π² Ρ‚ΠΎ врСмя ΠΊΠ°ΠΊ TEM ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ ΠΏΡ€ΠΎΡˆΠ΅Π΄ΡˆΠΈΠ΅ элСктроны (элСктроны, проходящиС Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Π΅Ρ†) для создания изобраТСния. Π’ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π΅ ПЭМ прСдоставляСт Ρ†Π΅Π½Π½ΡƒΡŽ ΠΈΠ½Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΡŽ ΠΎ Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½Π΅ΠΉ структурС ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π°, Ρ‚Π°ΠΊΡƒΡŽ ​​как кристалличСская структура, морфология ΠΈ информация ΠΎ напряТСнном состоянии, Π° БЭМ прСдоставляСт ΠΈΠ½Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΡŽ ΠΎ повСрхности ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π° ΠΈ Π΅Π³ΠΎ составС.

ΠŸΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… элСктронных микроскопов ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΡΠ²Π΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‰ΠΈΡ… элСктронных микроскопов

НачнСм с сходства. Π’ ΠΎΠ±ΠΎΠΈΡ… ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π°Ρ… для получСния ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΉ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠ² ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ элСктроны. Π˜Ρ… основныС ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚Ρ‹ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½Π°ΠΊΠΎΠ²Ρ‹:

  • Π˜ΡΡ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΈΠΊ элСктронов
  • БСрия элСктромагнитных ΠΈ элСктростатичСских Π»ΠΈΠ½Π· для управлСния Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΎΠΉ ΠΈ Ρ‚Ρ€Π°Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΡ€ΠΈΠ΅ΠΉ элСктронного Π»ΡƒΡ‡Π°
  • Π­Π»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ½Π½Ρ‹Π΅ Π°ΠΏΠ΅Ρ€Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹

ВсС эти ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚Ρ‹ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ‰Π΅Π½Ρ‹ Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€ΠΈ ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹, которая ΠΏΠΎΠ΄ высоким Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠΎΠΌ.

Π’Π΅ΠΏΠ΅Ρ€ΡŒ ΠΎ различиях. РЭМ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΉ Π½Π°Π±ΠΎΡ€ ΠΊΠ°Ρ‚ΡƒΡˆΠ΅ΠΊ для сканирования Π»ΡƒΡ‡Π° Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ растрового изобраТСния ΠΈ сбора рассСянных элСктронов.

ΠŸΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏ ΠΏΡ€ΠΎΡΠ²Π΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ элСктронной микроскопии (ПЭМ), ΠΊΠ°ΠΊ слСдуСт ΠΈΠ· названия, Π·Π°ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Π΅Ρ‚ΡΡ Π² использовании ΠΏΡ€ΠΎΡˆΠ΅Π΄ΡˆΠΈΡ… элСктронов, элСктронов, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ проходят Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Π΅Ρ† Π΄ΠΎ Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΠ½ΠΈ ΡΠΎΠ±ΠΈΡ€Π°ΡŽΡ‚ΡΡ. Π’ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π΅ ПЭМ прСдоставляСт Π±Π΅ΡΡ†Π΅Π½Π½ΡƒΡŽ ΠΈΠ½Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΡŽ ΠΎ Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½Π΅ΠΉ структурС ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π°, Ρ‚Π°ΠΊΡƒΡŽ ​​как кристалличСская структура, морфология ΠΈ информация ΠΎ напряТСнном состоянии, Π² Ρ‚ΠΎ врСмя ΠΊΠ°ΠΊ БЭМ прСдоставляСт ΠΈΠ½Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΡŽ ΠΎ повСрхности ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π° ΠΈ Π΅Π³ΠΎ составС.

Π‘ΠΎΠ»Π΅Π΅ Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΌ ΠΈΠ· Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π·Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠΉ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ двумя ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ являСтся ΠΎΠΏΡ‚ΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ пространствСнноС Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠ½ΠΈ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π΄ΠΎΡΡ‚ΠΈΡ‡ΡŒ. Π Π°Π·Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ БЭМ ΠΎΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΎ ~ 0,5 Π½ΠΌ, Π² Ρ‚ΠΎ врСмя ΠΊΠ°ΠΊ с Π½Π΅Π΄Π°Π²Π½ΠΈΠΌ Ρ€Π°Π·Π²ΠΈΡ‚ΠΈΠ΅ΠΌ ПЭМ с ΠΊΠΎΡ€Ρ€Π΅ΠΊΡ†ΠΈΠ΅ΠΉ Π°Π±Π΅Ρ€Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΉ ΡΠΎΠΎΠ±Ρ‰Π°Π»ΠΎΡΡŒ ΠΎΠ± изобраТСниях с пространствСнным Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π΄Π°ΠΆΠ΅ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 50 ΠΏΠΌ.

Какой ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ элСктронной микроскопии Π»ΡƒΡ‡ΡˆΠ΅ всСго ΠΏΠΎΠ΄Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ для вашСго Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π°?

ВсС зависит ΠΎΡ‚ Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, ΠΊΠ°ΠΊΠΎΠΉ Ρ‚ΠΈΠΏ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π° Π²Ρ‹ Ρ…ΠΎΡ‚ΠΈΡ‚Π΅ Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚ΡŒ. НапримСр, Ссли Π²Ρ‹ Ρ…ΠΎΡ‚ΠΈΡ‚Π΅ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΈΠ½Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΡŽ ΠΎ повСрхности вашСго ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π°, Ρ‚Π°ΠΊΡƒΡŽ ​​как ΠΎΠ±Π½Π°Ρ€ΡƒΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡˆΠ΅Ρ€ΠΎΡ…ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΠΎΡΡ‚ΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ загрязнСния, Π²Π°ΠΌ слСдуСт Π²Ρ‹Π±Ρ€Π°Ρ‚ΡŒ РЭМ. Π‘ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΎΠΉ стороны, Ссли Π²Ρ‹ Ρ…ΠΎΡ‚ΠΈΡ‚Π΅ ΡƒΠ·Π½Π°Ρ‚ΡŒ, ΠΊΠ°ΠΊΠΎΠ²Π° кристалличСская структура вашСго ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π°, ΠΈΠ»ΠΈ Ссли Π²Ρ‹ Ρ…ΠΎΡ‚ΠΈΡ‚Π΅ Π½Π°ΠΉΡ‚ΠΈ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½Ρ‹Π΅ структурныС Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Ρ‹ ΠΈΠ»ΠΈ примСси, Ρ‚ΠΎ использованиС ПЭМ β€” СдинствСнный способ ΡΠ΄Π΅Π»Π°Ρ‚ΡŒ это.

РЭМ обСспСчиваСт Ρ‚Ρ€Π΅Ρ…ΠΌΠ΅Ρ€Π½ΠΎΠ΅ ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ повСрхности ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π°, Ρ‚ΠΎΠ³Π΄Π° ΠΊΠ°ΠΊ изобраТСния ПЭМ ΠΏΡ€Π΅Π΄ΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‚ собой Π΄Π²ΡƒΠΌΠ΅Ρ€Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΡ€ΠΎΠ΅ΠΊΡ†ΠΈΠΈ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π°, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π² Π½Π΅ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… случаях затрудняСт ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Ρ€ΠΏΡ€Π΅Ρ‚Π°Ρ†ΠΈΡŽ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚ΠΎΠ² для ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΠΎΡ€Π°.

Из-Π·Π° Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΉ ΠΊ проходящим элСктронам ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Ρ‹ для ПЭМ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ‹ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΠΌΠΈ (ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΠ»ΠΎ, ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 150 Π½ΠΌ), Π° Π² случаях, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° трСбуСтся ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΉ с высоким Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ, Π΄Π°ΠΆΠ΅ Π½ΠΈΠΆΠ΅ 30 Π½ΠΌ, Ρ‚ΠΎΠ³Π΄Π° ΠΊΠ°ΠΊ для ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΉ с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ БЭМ Ρ‚Π°ΠΊΠΈΡ… ΠΊΠΎΠ½ΠΊΡ€Π΅Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΉ Π½Π΅Ρ‚ .

Π­Ρ‚ΠΎ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Ρ‹Π²Π°Π΅Ρ‚ Π΅Ρ‰Π΅ ΠΎΠ΄Π½ΠΎ сущСствСнноС Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ двумя ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ: ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠ° ΠΏΡ€ΠΎΠ±. ΠžΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Ρ‹ БЭМ Π½Π΅ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΡŽΡ‚ особых усилий для ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠ² ΠΈ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΠΎΡ‚ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½Ρ‹ нСпосрСдствСнно ΠΏΡƒΡ‚Π΅ΠΌ установки ΠΈΡ… Π½Π° алюминиСвой Π·Π°Π³Π»ΡƒΡˆΠΊΠ΅.

ΠŸΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠ° ΠΏΡ€ΠΎΠ± для ПЭМ, Π½Π°ΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΈΠ², прСдставляСт собой довольно ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΡƒΡŽ ΠΈ ΡƒΡ‚ΠΎΠΌΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΡƒΡŽ ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅Π΄ΡƒΡ€Ρƒ, ΡƒΡΠΏΠ΅ΡˆΠ½ΠΎ ΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ ΠΎΠ±ΡƒΡ‡Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ ΠΈ ΠΎΠΏΡ‹Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΠΈ. ΠžΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Ρ‹ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ‹ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΠΌΠΈ, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ плоскими, Π° ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ Π½Π΅ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ΅Π½ ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π½ΠΎΡΠΈΡ‚ΡŒ Π² ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Π΅Ρ† Π½ΠΈΠΊΠ°ΠΊΠΈΡ… Π°Ρ€Ρ‚Π΅Ρ„Π°ΠΊΡ‚ΠΎΠ² (Ρ‚Π°ΠΊΠΈΡ… ΠΊΠ°ΠΊ осадки ΠΈΠ»ΠΈ аморфизация). Π‘Ρ‹Π»ΠΎ Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Π½ΠΎ мноТСство ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠ², Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Ρ элСктрополировку, ΠΌΠ΅Ρ…Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΡƒ ΠΈ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π»ΡŒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ сфокусированным ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹ΠΌ ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠΎΠΌ. Для крСплСния ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠ² ПЭМ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ сСтки ΠΈ Π΄Π΅Ρ€ΠΆΠ°Ρ‚Π΅Π»ΠΈ.

РЭМ ΠΈ ВЭМ: различия Π² Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π΅

Π”Π²Π΅ систСмы ЭМ Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π°ΡŽΡ‚ΡΡ ΠΏΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏΡƒ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹. Π’ РЭМ ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ ΡƒΡΠΊΠΎΡ€ΡΡŽΡ‰Π΅Π΅ напряТСниС Π΄ΠΎ 30 ΠΊΠ’, Π° ΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΠΈ ВЭМ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΡƒΡΡ‚Π°Π½Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π΅Π³ΠΎ Π² Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅ 60–300 ΠΊΠ’.

Π£Π²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅, ΠΏΡ€Π΅Π΄Π»Π°Π³Π°Π΅ΠΌΠΎΠ΅ ПЭМ, Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ Π½Π°ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π²Ρ‹ΡˆΠ΅ ΠΏΠΎ ΡΡ€Π°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡŽ с РЭМ. ΠŸΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΠΈ TEM ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒ свои ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Ρ‹ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Ρ‡Π΅ΠΌ Π² 50 ΠΌΠΈΠ»Π»ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ² Ρ€Π°Π·, Π² Ρ‚ΠΎ врСмя ΠΊΠ°ΠΊ для SEM это ΠΎΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΎ 1–2 ΠΌΠΈΠ»Π»ΠΈΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ Ρ€Π°Π·.

Однако максимальноС ΠΏΠΎΠ»Π΅ зрСния (FOV), ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π΄ΠΎΡΡ‚ΠΈΡ‡ΡŒ SEM, Π½Π°ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ большС, Ρ‡Π΅ΠΌ Ρƒ TEM, Π° это ΠΎΠ·Π½Π°Ρ‡Π°Π΅Ρ‚, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΠΈ TEM ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΠΎΡ‚ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ°Ρ‚ΡŒ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ Π½Π΅Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΡƒΡŽ Ρ‡Π°ΡΡ‚ΡŒ своСго ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π°. Π’ΠΎΡ‡Π½ΠΎ Ρ‚Π°ΠΊ ΠΆΠ΅ Π³Π»ΡƒΠ±ΠΈΠ½Π° рСзкости систСм SEM Π½Π°ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π²Ρ‹ΡˆΠ΅, Ρ‡Π΅ΠΌ Π² систСмах TEM.

Π­Π»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ½Π½ΠΎ-микроскопичСскиС изобраТСния крСмния. Π°) БЭМ-ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ с SED Π΄Π°Π΅Ρ‚ ΠΈΠ½Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΡŽ ΠΎ ΠΌΠΎΡ€Ρ„ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ повСрхности, Π° Π±) ПЭМ-ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Ρ‹Π²Π°Π΅Ρ‚ ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ‚ΡƒΡ€Π½ΡƒΡŽ ΠΈΠ½Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΡŽ ΠΎ Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½Π΅ΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π΅.

ΠšΡ€ΠΎΠΌΠ΅ Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, способы создания ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΉ Π² этих Π΄Π²ΡƒΡ… систСмах Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π°ΡŽΡ‚ΡΡ. Π’ РЭМ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Ρ‹ Ρ€Π°ΡΠΏΠΎΠ»Π°Π³Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Π² Π½ΠΈΠΆΠ½Π΅ΠΉ части элСктронного столба, Π° рассСянныС элСктроны (ΠΎΠ±Ρ€Π°Ρ‚Π½ΠΎ рассСянныС ΠΈΠ»ΠΈ Π²Ρ‚ΠΎΡ€ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Π΅) ΡƒΠ»Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ элСктронными Π΄Π΅Ρ‚Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Π°ΠΌΠΈ. Π—Π°Ρ‚Π΅ΠΌ Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΡƒΠΌΠ½ΠΎΠΆΠΈΡ‚Π΅Π»ΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ для прСобразования этого сигнала Π² сигнал напряТСния, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ усиливаСтся для создания изобраТСния Π½Π° экранС ПК.

Π’ ПЭМ-микроскопС ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Π΅Ρ† находится Π² сСрСдинС ΠΊΠΎΠ»ΠΎΠ½ΠΊΠΈ. ΠŸΡ€ΠΎΡˆΠ΅Π΄ΡˆΠΈΠ΅ элСктроны проходят Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· Π½Π΅Π³ΠΎ ΠΈ Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· ряд Π»ΠΈΠ½Π· ΠΏΠΎΠ΄ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠΌ (ΠΏΡ€ΠΎΠΌΠ΅ΠΆΡƒΡ‚ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Π΅ ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠ΅ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹Π΅ Π»ΠΈΠ½Π·Ρ‹). Π˜Π·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ выводится нСпосрСдствСнно Π½Π° флуорСсцСнтный экран ΠΈΠ»ΠΈ Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Ρ€Ρƒ устройства с зарядовой связью (ΠŸΠ—Π‘) Π½Π° экран ПК.

ΠšΡ€Π°Ρ‚ΠΊΠΎΠ΅ ΠΈΠ·Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ основных Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠΉ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ SEM ΠΈ TEM.

99912 9996699006er 9. 9912 9912. ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅
  БЭМ ВЭМ
Type of electrons
  • Scattered, scanning electrons
  • Transmitted electrons
High tension
  • ~1–30 kV
  • ~ 60–300 ΠΊΠ’
Π’ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π° ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π°
  • Π›ΡŽΠ±Π°Ρ
  • ΠžΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ 9 <10504 Π½ΠΌ
Π’ΠΈΠΏ ΠΈΠ½Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ
  • 3D Π˜Π·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ повСрхности
  • 2D ΠŸΡ€ΠΎΠ΅ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ΅ ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½Π΅ΠΉ структуры
  • Π”ΠΎ ~1–2 ΠΌΠΈΠ»Π»ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ² Ρ€Π°Π·
  • Π‘ΠΎΠ»Π΅Π΅ 50 ΠΌΠΈΠ»Π»ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ² Ρ€Π°Π·
Макс. FOV
  • Π‘ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΎΠΉ
  • Limited
Optimal spatial resolution
  • ~0.5 nm
  • <50 pm
Image formation
  • Electrons are captured and counted by Π΄Π΅Ρ‚Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹, ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π½Π° экранС ПК
  • ΠŸΡ€ΡΠΌΠ°Ρ визуализация Π½Π° флуорСсцСнтный экран ΠΈΠ»ΠΈ экран ПК с ΠŸΠ—Π‘
Эксплуатация
  • ΠΠ΅Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Π°Ρ ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠ° ΠΏΡ€ΠΎΠ± ΠΈΠ»ΠΈ Π΅Π΅ отсутствиС, простота Π² использовании
  • ВрудоСмкая ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠ° ΠΏΡ€ΠΎΠ±, Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ ΠΎΠ±ΡƒΡ‡Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΠΈ ΠŸΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡΠΌ Π’Π•Πœ трСбуСтся интСнсивноС ΠΎΠ±ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅, ΠΏΡ€Π΅ΠΆΠ΄Π΅ Ρ‡Π΅ΠΌ ΠΎΠ½ΠΈ смогут Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ с Π½ΠΈΠΌΠΈ. ΠŸΠ΅Ρ€Π΅Π΄ ΠΊΠ°ΠΆΠ΄Ρ‹ΠΌ использованиСм Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡ‚ΡŒ ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅Π΄ΡƒΡ€Ρ‹, Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ нСсколько шагов, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ Π³Π°Ρ€Π°Π½Ρ‚ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ идСальноС Π²Ρ‹Ρ€Π°Π²Π½ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ элСктронного Π»ΡƒΡ‡Π°. Π’ ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π²Ρ‹ΡˆΠ΅ Ρ‚Π°Π±Π»ΠΈΡ†Π΅ Π²Ρ‹ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚Π΅ ΡƒΠ²ΠΈΠ΄Π΅Ρ‚ΡŒ сводку основных Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠΉ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ SEM ΠΈ TEM.

    ΠšΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°Ρ†ΠΈΡ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ SEM ΠΈ TEM

    Π‘Π»Π΅Π΄ΡƒΠ΅Ρ‚ ΡƒΠΏΠΎΠΌΡΠ½ΡƒΡ‚ΡŒ Π΅Ρ‰Π΅ ΠΎΠ± ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΌ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π΅ элСктронной микроскопии, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ прСдставляСт собой ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°Ρ†ΠΈΡŽ TEM ΠΈ SEM, Π° ΠΈΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΡƒΡŽ ΠΏΡ€ΠΎΡΠ²Π΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‰ΡƒΡŽ ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ½Π½ΡƒΡŽ ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠΈΡŽ (STEM). Π•Π³ΠΎ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡ‚ΡŒ ΠΊ ΠΎΠ±Π΅ΠΈΠΌ систСмам, Π½ΠΎ всС Π΅Π³ΠΎ возмоТности Ρ€Π°ΡΠΊΡ€Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΊ инструмСнту Π’Π•Πœ. Π‘ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΈΠ½ΡΡ‚Π²ΠΎ соврСмСнных ПЭМ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΊΠ»ΡŽΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ Π² Β«Ρ€Π΅ΠΆΠΈΠΌ STEMΒ», ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŽ Π½ΡƒΠΆΠ½ΠΎ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅Π΄ΡƒΡ€Ρƒ ΠΈΡ… ΡŽΡΡ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠΈ. Π’ Ρ€Π΅ΠΆΠΈΠΌΠ΅ STEM Π»ΡƒΡ‡ Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎ фокусируСтся ΠΈ сканируСт ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡ‚ΡŒ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π° (ΠΊΠ°ΠΊ это Π΄Π΅Π»Π°Π΅Ρ‚ SEM), Π° ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ гСнСрируСтся ΠΏΡ€ΠΎΡˆΠ΅Π΄ΡˆΠΈΠΌΠΈ элСктронами (ΠΊΠ°ΠΊ Π² TEM).

    ΠŸΡ€ΠΈ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π΅ Π² Ρ€Π΅ΠΆΠΈΠΌΠ΅ STEM ΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΠΈ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π²ΠΎΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒΡΡ возмоТностями ΠΎΠ±ΠΎΠΈΡ… ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠ². Они ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΠΈΠ·ΡƒΡ‡Π°Ρ‚ΡŒ Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½ΡŽΡŽ структуру ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠ² с ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ высокой Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅ΡˆΠ°ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ (Π΄Π°ΠΆΠ΅ Π²Ρ‹ΡˆΠ΅ Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ ПЭМ), Π½ΠΎ Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΠ΅ сигналы, Ρ‚Π°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΊΠ°ΠΊ рСнтгСновскиС Π»ΡƒΡ‡ΠΈ ΠΈ ΠΏΠΎΡ‚Π΅Ρ€ΠΈ энСргии элСктронами. Π­Ρ‚ΠΈ сигналы ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π² спСктроскопичСских ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π°Ρ…: энСргодиспСрсионной рСнтгСновской спСктроскопии (EDX) ΠΈ спСктроскопии ΠΏΠΎΡ‚Π΅Ρ€ΡŒ энСргии элСктронов (EELS).

    ΠšΠΎΠ½Π΅Ρ‡Π½ΠΎ, EDX Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ являСтся ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡ€Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠΊΠΎΠΉ Π² ​​систСмах SEMΒ ΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ для опрСдСлСния химичСского состава ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠ² ΠΏΡƒΡ‚Π΅ΠΌ обнаруТСния характСристичСского рСнтгСновского излучСния, испускаСмого ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°ΠΌΠΈ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΈΡ… Π±ΠΎΠΌΠ±Π°Ρ€Π΄ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠ΅ элСктронами.

    EELS ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ Ρ€Π΅Π°Π»ΠΈΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ Π² систСмС TEM, Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ Π² Ρ€Π΅ΠΆΠΈΠΌΠ΅ STEM, ΠΈ позволяСт ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠ½Ρ‹ΠΉ ΠΈ химичСский состав, элСктронныС свойства ΠΈ Π»ΠΎΠΊΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ измСрСния Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ².

    Π”Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΠ΅ Ρ„Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹, Π²Π»ΠΈΡΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ Π½Π° Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈ Π²Ρ‹Π±ΠΎΡ€Π΅ ΠΈ ΠΏΠΎΠΊΡƒΠΏΠΊΠ΅ элСктронного микроскопа

    Π‘ΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒ

    ΠΠ°ΡΡ‚ΠΎΠ»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ РЭМ-систСмы Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΡŽΡ‚ минимальной ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠ², Π° ΠΈΡ… нСслоТныС трСбования ΠΊ Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΡƒ ΠΈ нСбольшой ΠΎΡ‚ΠΊΠ°Ρ‡ΠΈΠ²Π°Π΅ΠΌΡ‹ΠΉ объСм ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡŽΡ‚ систСмС ΠΏΡ€Π΅Π΄ΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡ‚ΡŒ ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π³ΠΎΡ€Π°Π·Π΄ΠΎ быстрСС, Ρ‡Π΅ΠΌ обычная систСма напольной ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈ.

    ΠšΡ€ΠΎΠΌΠ΅ Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, Π½Π°ΡΡ‚ΠΎΠ»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ SEM ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ ΡƒΠΏΡ€Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ ΠΏΠΎΡ‚Ρ€Π΅Π±ΠΈΡ‚Π΅Π»Π΅ΠΌ ΠΈΠ½Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΈΡΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Π΅Ρ‚ врСмя, Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠ΅ ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΌΡƒ ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΠΎΡ€Ρƒ для выполнСния Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π°, ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΎΡ‚Ρ‡Π΅Ρ‚Π° ΠΈ сообщСния Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚ΠΎΠ².

    Π’ Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ быстрым ΠΎΡ‚Π²Π΅Ρ‚Π°ΠΌ ΡΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²Π΅Π½Π½ΡƒΡŽ Π½Π΅ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΡƒΡŽ Ρ†Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ прСдставляСт ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π° ΠΈ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»Ρ Π½Π°ΠΏΡ€Π°Π²Π»ΡΡ‚ΡŒ расслСдованиС Π² Ρ€Π΅ΠΆΠΈΠΌΠ΅ Ρ€Π΅Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½ΠΈ Π² ΠΎΡ‚Π²Π΅Ρ‚ Π½Π° наблюдСния.

    НаконСц, Π² Π½Π΅ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… прилоТСниях, Ρ‚Π°ΠΊΠΈΡ… ΠΊΠ°ΠΊ инспСкция, Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π΄Π»ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ Π·Π°Π΄Π΅Ρ€ΠΆΠΊΠΈ Π²Π»Π΅ΠΊΡƒΡ‚ Π·Π° собой ΠΎΡ‰ΡƒΡ‚ΠΈΠΌΡ‹Π΅ Π·Π°Ρ‚Ρ€Π°Ρ‚Ρ‹, ΠΏΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΡƒ ΠΏΠΎΠ΄Π²Π΅Ρ€Π³Π°ΡŽΡ‚ риску большСС количСство Π½Π΅Π·Π°Π²Π΅Ρ€ΡˆΠ΅Π½Π½Ρ‹Ρ… Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚.

    ΠŸΡ€ΠΈΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ

    Π₯ΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΎ Π»ΠΈ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π° ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅Π΄ΡƒΡ€Π° прилоТСния? Если это Ρ‚Π°ΠΊ ΠΈ Π½Π°ΡΡ‚ΠΎΠ»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ SEM ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΏΡ€Π΅Π΄ΠΎΡΡ‚Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡƒΡŽ ΠΈΠ½Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΡŽ, Π·Π°Ρ‡Π΅ΠΌ Ρ‚Ρ€Π°Ρ‚ΠΈΡ‚ΡŒ большС? ΠžΠ±Π΅ΡΠΏΠΎΠΊΠΎΠ΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π±ΡƒΠ΄ΡƒΡ‰ΠΈΠΌΠΈ трСбованиями, ΠΏΡ€Π΅Π²Ρ‹ΡˆΠ°ΡŽΡ‰ΠΈΠΌΠΈ возмоТности Π½Π°ΡΡ‚ΠΎΠ»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΠΊΠΎΠΌΠΏΡŒΡŽΡ‚Π΅Ρ€ΠΎΠ², слСдуСт ΠΎΡ†Π΅Π½ΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒ с Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠΈ зрСния опрСдСлСнности ΠΈ сроков ΠΏΠΎΡ‚Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΉ, Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ доступности Π²Π½Π΅ΡˆΠ½ΠΈΡ… рСсурсов для Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΈΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΉ.

    Π”Π°ΠΆΠ΅ Π² Ρ‚Π΅Ρ… случаях, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° Π±ΡƒΠ΄ΡƒΡ‰ΠΈΠ΅ трСбования прСвысят возмоТности Π½Π°ΡΡ‚ΠΎΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠΎΠΌΠΏΡŒΡŽΡ‚Π΅Ρ€Π°, ΠΏΠ΅Ρ€Π²ΠΎΠ½Π°Ρ‡Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ инвСстиции Π² Π½Π°ΡΡ‚ΠΎΠ»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ SEM ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΠΏΡ€ΠΎΠ΄ΠΎΠ»ΠΆΠ°Ρ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΈΠ½ΠΎΡΠΈΡ‚ΡŒ Π΄ΠΎΡ…ΠΎΠ΄, ΠΏΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΡƒ эта систСма ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ Π² качСствС дополнСния ΠΊ Π±ΡƒΠ΄ΡƒΡ‰Π΅ΠΉ систСмС напольной ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈ.

    Π’ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ, для ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Ρ€ΠΊΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ для продолТСния выполнСния Ρ€ΡƒΡ‚ΠΈΠ½Π½Ρ‹Ρ… Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·ΠΎΠ², Π² Ρ‚ΠΎ врСмя ΠΊΠ°ΠΊ систСма модСлирования ΠΏΠΎΠ»Π° примСняСтся для Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΈΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΉ.

    ΠΠ°ΡΡ‚ΠΎΠ»ΡŒΠ½Π°Ρ систСма Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΡΠ»ΡƒΠΆΠΈΡ‚ΡŒ поэтапным ΠΏΠΎΠ΄Ρ…ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΊ обоснованию Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΊΡ€ΡƒΠΏΠ½ΠΎΠΉ систСмы, устанавливая Ρ†Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ SEM ΠΈ позволяя Π½Π° основС ΠΎΠΏΡ‹Ρ‚Π° ΠΎΡ†Π΅Π½ΠΈΡ‚ΡŒ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΈ ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΏΡ€ΠΎΠ΄Π²ΠΈΠ½ΡƒΡ‚Ρ‹Ρ… возмоТностСй ΠΎΡ‚ внСшнСго поставщика.

    ΠŸΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΠΈ

    Бколько Ρ‡Π΅Π»ΠΎΠ²Π΅ΠΊ Π±ΡƒΠ΄Π΅Ρ‚ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ систСму? ΠžΠ±ΡƒΡ‡Π΅Π½Ρ‹ Π»ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΠΈ? Если Π½Π΅Ρ‚, Ρ‚ΠΎ сколько Π²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½ΠΈ ΠΎΠ½ΠΈ Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Ρ‹ ΠΈΠ½Π²Π΅ΡΡ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π² ΠΎΠ±ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅? ΠΠ°ΡΡ‚ΠΎΠ»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ РЭМ просты Π² эксплуатации ΠΈ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΡŽΡ‚ минимальной ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠ² ΠΈΠ»ΠΈ Π²ΠΎΠΎΠ±Ρ‰Π΅ Π½Π΅ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΡŽΡ‚ ΠΈΡ…. ΠŸΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Ρ‚Π°ΠΊ ΠΆΠ΅ просто, ΠΊΠ°ΠΊ Π½Π°ΠΆΠ°Ρ‚ΡŒ ΠΏΠ°Ρ€Ρƒ ΠΊΠ½ΠΎΠΏΠΎΠΊ.

    Доступ ΠΊ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ слоТным ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅Π΄ΡƒΡ€Π°ΠΌ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΠΈ с особыми потрСбностями, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Ρ‹ ΠΏΠΎΡ‚Ρ€Π°Ρ‚ΠΈΡ‚ΡŒ Π½Π΅ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½ΠΈ Π½Π° ΠΎΠ±ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅. Π’ Ρ†Π΅Π»ΠΎΠΌ трСбования ΠΊ ΠΎΠ±ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΡŽ ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ² Π½Π°ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π½ΠΈΠΆΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈ использовании Π½Π°ΡΡ‚ΠΎΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ систСмы, Π° сама систСма Π½Π°ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½Π΅Π΅. Π•Π³ΠΎ Ρ‚Ρ€ΡƒΠ΄Π½Π΅Π΅ ΡΠ»ΠΎΠΌΠ°Ρ‚ΡŒ, Π° ΠΏΠΎΡ‚Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Π°Ρ ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ Ρ€Π΅ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π° Π½Π°ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π½ΠΈΠΆΠ΅.

    Π’Ρ‹Π±ΠΎΡ€ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ БЭМ ΠΈ ВЭМ

    Из всСго, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΌΡ‹ упомянули, становится ясно, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Β«Π»ΡƒΡ‡ΡˆΠ΅ΠΉΒ» ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΈΠΊΠΈ Π½Π΅ сущСствуСт; всС зависит ΠΎΡ‚ Ρ‚ΠΈΠΏΠ° Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π°, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ Π²Π°ΠΌ трСбуСтся. ВЭМ β€” это Π²Ρ‹Π±ΠΎΡ€, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° Π²Ρ‹ Ρ…ΠΎΡ‚ΠΈΡ‚Π΅ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΈΠ½Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΡŽ ΠΎ Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½Π΅ΠΉ структурС, Π² Ρ‚ΠΎ врСмя ΠΊΠ°ΠΊ БЭМ ΠΏΡ€Π΅Π΄ΠΏΠΎΡ‡Ρ‚ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Π΅Π΅, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° трСбуСтся информация ΠΎ повСрхности. ΠšΠΎΠ½Π΅Ρ‡Π½ΠΎ, основными Ρ„Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Π°ΠΌΠΈ принятия Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ большая Ρ€Π°Π·Π½ΠΈΡ†Π° Π² Ρ†Π΅Π½Π΅ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ двумя систСмами, Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ простота использования. ПЭМ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΡ‚ΡŒ Π³ΠΎΡ€Π°Π·Π΄ΠΎ Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΡƒΡŽ Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅ΡˆΠ°ΡŽΡ‰ΡƒΡŽ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΈ ΡƒΠ½ΠΈΠ²Π΅Ρ€ΡΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ для ΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»Ρ, Π½ΠΎ ΠΎΠ½ΠΈ Π½Π°ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠΆΠ΅ ΠΈ ΠΊΡ€ΡƒΠΏΠ½Π΅Π΅, Ρ‡Π΅ΠΌ РЭМ, ΠΈ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΡŽΡ‚ большС усилий для получСния ΠΈ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Ρ€ΠΏΡ€Π΅Ρ‚Π°Ρ†ΠΈΠΈ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚ΠΎΠ².

    Π§Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΡƒΠ·Π½Π°Ρ‚ΡŒ большС ΠΎ БЭМ ΠΈ ΠΏΠΎΠ½ΡΡ‚ΡŒ, соотвСтствуСт Π»ΠΈ ΠΎΠ½ вашим ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΡΠΊΠΈΠΌ трСбованиям, Π²Ρ‹ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚Π΅ ΠΎΠ·Π½Π°ΠΊΠΎΠΌΠΈΡ‚ΡŒΡΡ с Π½Π°ΡˆΠΈΠΌΒ Π±Π΅ΡΠΏΠ»Π°Ρ‚Π½Ρ‹ΠΌ элСктронным руководством: Как Π²Ρ‹Π±Ρ€Π°Ρ‚ΡŒ ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΉ элСктронный микроскоп. Π­Ρ‚ΠΎ элСктронноС руководство ΠΏΡ€Π΅Π΄Π½Π°Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΎ для Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‡ΡŒ Π²Π°ΠΌ Π²Ρ‹Π±Ρ€Π°Ρ‚ΡŒ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ подходящиС систСмы ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ элСктронного микроскопа (БЭМ) для Π²Π°ΡˆΠΈΡ… исслСдований.

    Β 

    Π”ΠΎΠΊΡƒΠΌΠ΅Π½Ρ‚
    Как Π²Ρ‹Π±Ρ€Π°Ρ‚ΡŒ ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΉ элСктронный микроскоп (БЭМ)

    Π Π΅ΠΊΠΎΠΌΠ΅Π½Π΄Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΏΠΎ Π²Ρ‹Π±ΠΎΡ€Ρƒ подходящСго микроскопа для вашСго исслСдования.

    Β 

    Π—Π°Π³Ρ€ΡƒΠ·ΠΈΡ‚ΡŒ элСктронноС руководство

    Β 
    Β 

    Π’Π°Π±Π»ΠΈΡ†Π° стилСй для измСнСния стиля h3 Π½Π° p с классом em-h3-header

    Π’ΠΈΠΏΡ‹ элСктронных микроскопов β€” Science Learning Hub

    Π”ΠΎΠ±Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ Π² ΠΊΠΎΠ»Π»Π΅ΠΊΡ†ΠΈΡŽ

0 +1 Π‘ΠΎΠ·Π΄Π°Ρ‚ΡŒ Π½ΠΎΠ²ΡƒΡŽ ΠΊΠΎΠ»Π»Π΅ΠΊΡ†ΠΈΡŽ4

Π­Π»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ½Π½Ρ‹Π΅ микроскопы Π±Ρ‹Π»ΠΈ Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Π½Ρ‹ Π² 1930-Ρ… Π³ΠΎΠ΄Π°Ρ…, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΠΌΡ‹ ΠΌΠΎΠ³Π»ΠΈ Ρ€Π°ΡΡΠΌΠ°Ρ‚Ρ€ΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚Ρ‹ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΏΡ€ΠΈΡΡ‚Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎ, Ρ‡Π΅ΠΌ это Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ свСтового микроскопа. Π£Ρ‡Π΅Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎ прСдсказали, Ρ‡Ρ‚ΠΎ микроскоп, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΉ элСктроны вмСсто Π²ΠΈΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠ³ΠΎ свСта Π² качСствС источника освСщСния, смоТСт Ρ€Π°ΡΡΠΌΠ°Ρ‚Ρ€ΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚Ρ‹ с Π³ΠΎΡ€Π°Π·Π΄ΠΎ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ высоким Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ, Ρ‡Π΅ΠΌ свСтовой микроскоп. Π­Ρ‚ΠΎ связано с Ρ‚Π΅ΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π΄Π»ΠΈΠ½Π° Π²ΠΎΠ»Π½Ρ‹ Π²ΠΈΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠ³ΠΎ свСта ΠΎΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡ΠΈΠ²Π°Π΅Ρ‚ Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ свСтовых микроскопов, Π° Π΄Π»ΠΈΠ½Π° Π²ΠΎΠ»Π½Ρ‹ элСктронов Π½Π°ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ мСньшС.

Π‘ΠΎ Π²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π΅ΠΌ Π±Ρ‹Π»ΠΈ Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Π½Ρ‹ спСциализированныС элСктронныС микроскопы, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΠΏΡ€Π΅Π΄ΠΎΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡ‚ΡŒ ΠΈΠ½Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΡŽ ΠΎ Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… аспСктах исслСдуСмого ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚Π°. Π­Ρ‚ΠΎ ΠΎΠ·Π½Π°Ρ‡Π°Π΅Ρ‚, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΡƒΡ‡Π΅Π½Ρ‹Π΅ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π²Ρ‹Π±Ρ€Π°Ρ‚ΡŒ Ρ‚ΠΎΡ‚ микроскоп, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ с наибольшСй Π²Π΅Ρ€ΠΎΡΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΎΡ‚Π²Π΅Ρ‚ΠΈΡ‚ Π½Π° ΠΈΡ… вопросы ΠΎΠ± ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π΅.

ΠŸΡ€ΠΈΡ€ΠΎΠ΄Π° Π½Π°ΡƒΠΊΠΈ

Π’ΠΈΠΏ Π΄Π°Π½Π½Ρ‹Ρ…, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΡΠΎΠ±ΠΈΡ€Π°Ρ‚ΡŒ ΡƒΡ‡Π΅Π½Ρ‹Π΅, сильно зависит ΠΎΡ‚ доступных ΠΈΠΌ инструмСнтов. По ΠΌΠ΅Ρ€Π΅ Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, ΠΊΠ°ΠΊ микроскопы ΡΡ‚Π°Π½ΠΎΠ²ΠΈΠ»ΠΈΡΡŒ всС Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ слоТными, ΡƒΡ‡Π΅Π½Ρ‹Π΅ ΠΌΠΎΠ³Π»ΠΈ Ρ€Π°ΡΡΠΌΠ°Ρ‚Ρ€ΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚Ρ‹ всС Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΈ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΏΠΎΠ΄Ρ€ΠΎΠ±Π½ΠΎ. Π’ свою ΠΎΡ‡Π΅Ρ€Π΅Π΄ΡŒ, ΠΎΠ½ΠΈ смогли ΠΎΡ‚Π²Π΅Ρ‚ΠΈΡ‚ΡŒ Π½Π° Π½ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ вопросы ΠΎΠ± ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚Π°Ρ…, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΠΎΠ½ΠΈ ΠΈΠ·ΡƒΡ‡Π°ΡŽΡ‚.

Π§Ρ‚ΠΎ Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠ΅ элСктронная микроскопия?

Π’ элСктронных микроскопах для освСщСния ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π° ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ ΠΏΡƒΡ‡ΠΎΠΊ элСктронов, Π° Π½Π΅ Π²ΠΈΠ΄ΠΈΠΌΡ‹ΠΉ свСт. Они Ρ„ΠΎΠΊΡƒΡΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ элСктронный ΠΏΡƒΡ‡ΠΎΠΊ с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ элСктромагнитных ΠΊΠ°Ρ‚ΡƒΡˆΠ΅ΠΊ вмСсто стСклянных Π»ΠΈΠ½Π· (ΠΊΠ°ΠΊ это Π΄Π΅Π»Π°ΡŽΡ‚ свСтовыС микроскопы), ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΌΡƒ Ρ‡Ρ‚ΠΎ элСктроны Π½Π΅ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΠΏΡ€ΠΎΠΉΡ‚ΠΈ Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· стСкло.

Π­Π»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ½Π½Ρ‹Π΅ микроскопы ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡŽΡ‚ Π½Π°ΠΌ Ρ€Π°ΡΡΠΌΠ°Ρ‚Ρ€ΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚Ρ‹ Π³ΠΎΡ€Π°Π·Π΄ΠΎ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΏΠΎΠ΄Ρ€ΠΎΠ±Π½ΠΎ, Ρ‡Π΅ΠΌ это Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ свСтового микроскопа. НСкоторыС элСктронныС микроскопы ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΠΎΠ±Π½Π°Ρ€ΡƒΠΆΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚Ρ‹ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠΌ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€Π½ΠΎ Π² ΠΎΠ΄Π½Ρƒ Π΄Π²Π°Π΄Ρ†Π°Ρ‚ΡƒΡŽ Π½Π°Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π° (10 -9 ΠΌ) – ΠΈΡ… ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ для Π²ΠΈΠ·ΡƒΠ°Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ Ρ‚Π°ΠΊΠΈΡ… ΠΌΠ°Π»Π΅Π½ΡŒΠΊΠΈΡ… ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ², ΠΊΠ°ΠΊ вирусы, ΠΌΠΎΠ»Π΅ΠΊΡƒΠ»Ρ‹ ΠΈΠ»ΠΈ Π΄Π°ΠΆΠ΅ ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ Π°Ρ‚ΠΎΠΌΡ‹.

Π’ ΠΎΡ‚Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ΅ ΠΎΡ‚ свСтовых микроскопов, элСктронныС микроскопы нСльзя ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ для нСпосрСдствСнного наблюдСния Π·Π° ΠΆΠΈΠ²Ρ‹ΠΌΠΈ сущСствами ΠΈΠ·-Π·Π° ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΡƒΡŽ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ‹ ΠΏΡ€ΠΎΠΉΡ‚ΠΈ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Ρ‹ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄ Π²ΠΈΠ·ΡƒΠ°Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠ΅ΠΉ. ВмСсто этого элСктронныС микроскопы стрСмятся ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΡ‚ΡŒ Β«ΠΌΠΎΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ снимок» с высоким Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΌΠΎΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π° Π²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½ΠΈ Π² ΠΆΠΈΠ²ΠΎΠΉ Ρ‚ΠΊΠ°Π½ΠΈ.

Π― Π΄ΡƒΠΌΠ°ΡŽ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ элСктронный микроскоп внСс Π² Π½Π°ΡƒΠΊΡƒ больший Π²ΠΊΠ»Π°Π΄, Ρ‡Π΅ΠΌ любой Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΠ³Π΄Π°-Π»ΠΈΠ±ΠΎ ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π΅Ρ‚Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΉ Π½Π°ΡƒΡ‡Π½Ρ‹ΠΉ ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€.

Allan Mitchell, Microscopy Otago

Π‘ΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ Π²ΠΈΠ΄Ρ‹ элСктронной микроскопии

Для исслСдования Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… аспСктов ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π° Π±Ρ‹Π»ΠΎ Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Π½ΠΎ нСсколько Ρ‚ΠΈΠΏΠΎΠ² элСктронных микроскопов.

ΠŸΡ€ΠΎΡΠ²Π΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠΉ элСктронный микроскоп (ПЭМ) Π±Ρ‹Π» ΠΏΠ΅Ρ€Π²Ρ‹ΠΌ Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Π½Π½Ρ‹ΠΌ элСктронным микроскопом. Он Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Π΅Ρ‚, направляя ΠΏΡƒΡ‡ΠΎΠΊ элСктронов Π½Π° Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΠΉ срСз ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π° ΠΈ обнаруТивая Ρ‚Π΅ элСктроны, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΠΏΡ€ΠΎΠ±ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Π½Π° Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΡƒΡŽ сторону. ПЭМ позволяСт Π½Π°ΠΌ ΡΠΌΠΎΡ‚Ρ€Π΅Ρ‚ΡŒ Π² ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ высоком Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠΈ Π½Π° Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΠΉ срСз ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π° (ΠΈ, ΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ, Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΈΡ‡Π΅Π½ слоТному свСтовому микроскопу). Π­Ρ‚ΠΎ Π΄Π΅Π»Π°Π΅Ρ‚ Π΅Π³ΠΎ особСнно ΠΏΠΎΠ»Π΅Π·Π½Ρ‹ΠΌ для изучСния Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, ΠΊΠ°ΠΊ устроСны ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚Ρ‹ Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€ΠΈ ΠΊΠ»Π΅Ρ‚ΠΊΠΈ, Ρ‚Π°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΡ€Π³Π°Π½Π΅Π»Π»Ρ‹.

ЭлСктронная томография β€” это Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ° ПЭМ, которая позволяСт Π½Π°ΠΌ ΡƒΠ²ΠΈΠ΄Π΅Ρ‚ΡŒ Ρ‚Ρ€Π΅Ρ…ΠΌΠ΅Ρ€Π½ΠΎΠ΅ ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠ·ΡƒΡ‡Π°Π΅ΠΌΠΎΠΉ ΠΊΠ»Π΅Ρ‚ΠΊΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ Ρ‚ΠΊΠ°Π½ΠΈ. Π’ΠΈΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ структур Π² Ρ‚Ρ€Π΅Ρ… измСрСниях ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΎΠ±Π»Π΅Π³Ρ‡ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅ Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΠ½ΠΈ соотносятся Π΄Ρ€ΡƒΠ³ с Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΎΠΌ. ЭлСктронная томография Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π΄Π°Π²Π°Ρ‚ΡŒ Π΄Π²ΡƒΠΌΠ΅Ρ€Π½Ρ‹Π΅ изобраТСния с Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ высоким Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ, Ρ‡Π΅ΠΌ обычная ПЭМ.

Π‘ΠΊΠ°Π½ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΉ элСктронный микроскоп (БЭМ) позволяСт Π½Π°ΠΌ Π²ΠΈΠ΄Π΅Ρ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Ρ‚Ρ€Π΅Ρ…ΠΌΠ΅Ρ€Π½Ρ‹Ρ… ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ² с высоким Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ. Он Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Π΅Ρ‚ ΠΏΡƒΡ‚Π΅ΠΌ сканирования повСрхности ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚Π° сфокусированным ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠΎΠΌ элСктронов ΠΈ обнаруТСния элСктронов, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΠΎΡ‚Ρ€Π°ΠΆΠ°ΡŽΡ‚ΡΡ ΠΈ Π²Ρ‹Π±ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ ΠΈΠ· повСрхности ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π°. ΠŸΡ€ΠΈ ΠΌΠ°Π»ΠΎΠΌ ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠΈ Ρ†Π΅Π»Ρ‹Π΅ ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚Ρ‹ (Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, насСкомыС), Π²ΠΈΠ΄ΠΈΠΌΡ‹Π΅ Π½Π° РЭМ, ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ Π² фокусС ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ. Π’ΠΎΡ‚ ΠΏΠΎΡ‡Π΅ΠΌΡƒ РЭМ Ρ‚Π°ΠΊ Ρ…ΠΎΡ€ΠΎΡˆ Π² создании Ρ‚Ρ€Π΅Ρ…ΠΌΠ΅Ρ€Π½Ρ‹Ρ… ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΉ вшСй, ΠΌΡƒΡ…, снСТинок ΠΈ Ρ‚Π°ΠΊ Π΄Π°Π»Π΅Π΅.

CryoSEM β€” это ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Π°Ρ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ° SEM, которая ΡƒΠ΄ΠΎΠ±Π½Π° для изучСния ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ², содСрТащих Π²Π»Π°Π³Ρƒ (Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, растСний ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠ΄ΡƒΠΊΡ‚ΠΎΠ² питания). Π’ ΠΊΡ€ΠΈΠΎΠ‘Π­Πœ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Ρ‹ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄ просмотром Π·Π°ΠΌΠΎΡ€Π°ΠΆΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ Π² ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΠΌ Π°Π·ΠΎΡ‚Π΅. Π­Ρ‚ΠΎ позволяСт ΠΈΠ·Π±Π΅ΠΆΠ°Ρ‚ΡŒ слоТных этапов ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡŽΡ‚ΡΡ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄ ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎΠΉ БЭМ (Π² основном для удалСния Π²ΠΎΠ΄Ρ‹ ΠΈΠ· ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π°). Π£Ρ‡Π΅Π½Ρ‹Π΅ часто Π²Ρ‹Π±ΠΈΡ€Π°ΡŽΡ‚ ΠΊΡ€ΠΈΠΎΠ‘Π­Πœ, ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΌΡƒ Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΎΠ½ Π΄Π°Π΅Ρ‚ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠ΅ ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, ΠΊΠ°ΠΊ выглядСл ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Π΅Ρ† Π΄ΠΎ Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΠ½ Π±Ρ‹Π» ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ для микроскопии.

Дифракция ΠΎΠ±Ρ€Π°Ρ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ рассСяния элСктронов (EBSD) ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ для Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ изучСния структуры ΠΌΠΈΠ½Π΅Ρ€Π°Π»ΠΎΠ² (Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, Π³ΠΎΡ€Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠΎΡ€ΠΎΠ΄). Π”Π΅Ρ‚Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ EBSD Π½Π΅ ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ микроскопами сами ΠΏΠΎ сСбС, Π° ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΊ РЭМ. ПослС Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, ΠΊΠ°ΠΊ элСктронный Π»ΡƒΡ‡ Π½Π°ΠΏΡ€Π°Π²Π»Π΅Π½ Π½Π° ΠΏΠΎΡ€ΠΎΠ΄Ρƒ, EBSD ΠΎΠ±Π½Π°Ρ€ΡƒΠΆΠΈΠ²Π°Π΅Ρ‚ элСктроны, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ вошли Π² ΠΏΠΎΡ€ΠΎΠ΄Ρƒ ΠΈ Π±Ρ‹Π»ΠΈ рассСяны Π²ΠΎ всСх направлСниях. ΠšΠ°Ρ€Ρ‚ΠΈΠ½Π° рассСяния ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΠ΅ Ρ€Π°ΡΡΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚ΡŒ ΡƒΡ‡Π΅Π½Ρ‹ΠΌ ΠΎ структурС ΠΌΠΈΠ½Π΅Ρ€Π°Π»Π° ΠΈ ΠΎΡ€ΠΈΠ΅Π½Ρ‚Π°Ρ†ΠΈΠΈ кристаллов Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€ΠΈ Π½Π΅Π³ΠΎ.

ИдСи для занятий

Π’ Ρ€Π°Π·Π΄Π΅Π»Π΅ «ИспользованиС Ρ‚Π΅Π½Π΅ΠΉ для создания Ρ‚Ρ€Π΅Ρ…ΠΌΠ΅Ρ€Π½Ρ‹Ρ… ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΉΒ» учащиСся ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚, ΠΊΠ°ΠΊ ΡƒΡ‡Π΅Π½Ρ‹Π΅ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Ρ€ΠΏΡ€Π΅Ρ‚ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ Π΄Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ микроскопа, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡ Ρ‚Π΅Π½ΠΈ ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚Π° ΠΏΠΎΠ΄ Ρ€Π°Π·Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΡƒΠ³Π»Π°ΠΌΠΈ для создания Ρ‚Ρ€Π΅Ρ…ΠΌΠ΅Ρ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ изобраТСния.

Π’ Ρ€Π°Π·Π΄Π΅Π»Π΅ «Какой микроскоп Π»ΡƒΡ‡ΡˆΠ΅?Β» учащиСся ΡƒΠ·Π½Π°ΡŽΡ‚ ΠΎ Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… Ρ‚ΠΈΠΏΠ°Ρ… микроскопов ΠΈ ΡƒΠ·Π½Π°ΡŽΡ‚, ΠΊΠ°ΠΊΠΎΠΉ микроскоп Π»ΡƒΡ‡ΡˆΠ΅ всСго ΠΏΠΎΠ΄Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ для ΠΊΠΎΠ½ΠΊΡ€Π΅Ρ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ‚ΠΈΠΏΠ° ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π°.

ПолСзная ссылка

Π£Π·Π½Π°ΠΉΡ‚Π΅ большС ΠΎ НобСлСвской ΠΏΡ€Π΅ΠΌΠΈΠΈ ΠΏΠΎ Ρ„ΠΈΠ·ΠΈΠΊΠ΅ 1986 Π³ΠΎΠ΄Π°, ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΈΠ½Π° ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ Π±Ρ‹Π»Π° присуТдСна Эрнсту РускС Π·Π° Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΡƒ ΠΏΠ΅Ρ€Π²ΠΎΠ³ΠΎ элСктронного микроскопа.

ИсслСдования растСний ΠΈ ΠΏΠΈΡ‰Π΅Π²Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΎΠ΄ΡƒΠΊΡ‚ΠΎΠ² (PFR) содСрТат ΠΊΠΎΠ»Π»Π΅ΠΊΡ†ΠΈΡŽ ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΉ, сдСланных с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ элСктронного микроскопа (БЭМ). Π˜Π·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ Π±Ρ‹Π»ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½Ρ‹ Π² Π»Π°Π±ΠΎΡ€Π°Ρ‚ΠΎΡ€ΠΈΠΈ микроскопии растСний ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠ΄ΡƒΠΊΡ‚ΠΎΠ² питания, Π° Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±Ρ€Π°Π½Ρ‹ ΠΈ Ρ€Π°ΡΠΊΡ€Π°ΡˆΠ΅Π½Ρ‹ Π²Ρ€ΡƒΡ‡Π½ΡƒΡŽ Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΠ³Ρ€Π°Ρ„ΠΎΠΌ PFR Π’Π°Ρ€ΠΎΠΉ Π‘ΡƒΠ»Π»ΠΎΡ‚.

    ΠžΠΏΡƒΠ±Π»ΠΈΠΊΠΎΠ²Π°Π½ΠΎ 29 фСвраля 2012 Π³., ΠΎΠ±Π½ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΎ 16 ΠΌΠ°Ρ€Ρ‚Π° 2021 Π³.

    Π”ΠΎΠ±Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΊΠΎΠΌΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Ρ€ΠΈΠΉ

    Π’Π°Ρˆ адрСс email Π½Π΅ Π±ΡƒΠ΄Π΅Ρ‚ ΠΎΠΏΡƒΠ±Π»ΠΈΠΊΠΎΠ²Π°Π½. ΠžΠ±ΡΠ·Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ поля ΠΏΠΎΠΌΠ΅Ρ‡Π΅Π½Ρ‹ *