ВСнзорСзисторы ΠΏΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏ дСйствия основныС характСристики ΠΈ ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Ρ‹ – ВСнзорСзистор β€” ВикипСдия

Π‘ΠΎΠ΄Π΅Ρ€ΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅

ВСнзорСзистор β€” ВикипСдия

ВСнзорСзи́стор (ΠΎΡ‚ Π»Π°Ρ‚.Β tensusΒ β€” напряТённый ΠΈ Π»Π°Ρ‚.Β resistoΒ β€” ΡΠΎΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΈΠ²Π»ΡΡŽΡΡŒ)Β β€” рСзистор, сопротивлСниС ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ³ΠΎ измСняСтся Π² зависимости ΠΎΡ‚ Π΅Π³ΠΎ Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ[1]. ВСнзорСзисторы ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ Π² Ρ‚Π΅Π½Π·ΠΎΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΈΠΈ. Π‘ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ тСнзорСзисторов ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€ΡΡ‚ΡŒ Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ мСханичСски связанных с Π½ΠΈΠΌΠΈ элСмСнтов[2]. ВСнзорСзистор являСтся основной составной Ρ‡Π°ΡΡ‚ΡŒΡŽ Ρ‚Π΅Π½Π·ΠΎΠ΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΎΠ², ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‰ΠΈΡ…ΡΡ для косвСнного измСрСния силы, давлСния, вСса, мСханичСских напряТСний, крутящих ΠΌΠΎΠΌΠ΅Π½Ρ‚ΠΎΠ² ΠΈ ΠΏΡ€.

ΠŸΡ€ΠΈ растяТСнии проводящих элСмСнтов тСнзорСзистора увСличиваСтся ΠΈΡ… Π΄Π»ΠΈΠ½Π° ΠΈ ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ°Π΅Ρ‚ΡΡ ΠΏΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ‡Π½ΠΎΠ΅ сСчСниС, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ²Π°Π΅Ρ‚ сопротивлСниС тСнзорСзистора, ΠΏΡ€ΠΈ сТатии — ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ°Π΅Ρ‚.

ΠŸΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏ дСйствия ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ»Π»ΡŽΡΡ‚Ρ€ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ Π½Π° Π°Π½ΠΈΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΌ ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΈ. Для наглядности Π½Π° ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΈ Π²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Π° Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ тСнзорСзистора ΡƒΡ‚Ρ€ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎ ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½Π°, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΈ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ сопротивлСния. Π’ Ρ€Π΅Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ измСнСния сопротивлСния вСсьма ΠΌΠ°Π»Ρ‹ (ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ ~10βˆ’3) ΠΈ для ΠΈΡ… ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½ΠΈΠΉ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ Ρ‡ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ Π²ΠΎΠ»ΡŒΡ‚ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Ρ‹ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΡ€Π΅Ρ†ΠΈΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹Π΅ усилитСли ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΡ€Π΅Ρ†ΠΈΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹Π΅ усилитСли + АЦП. Π’Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ, Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΏΡ€Π΅ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ Π² ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ элСктричСского сопротивлСния ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΈ Π΄Π°Π»Π΅Π΅Β β€” Π² элСктричСский сигнал, ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ сигнал напряТСния.

ΠŸΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹ΠΉ тСнзорСзистор ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ‚ Π³ΠΎΡ€Π°Π·Π΄ΠΎ большСй Ρ‡ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΈΠ·-Π·Π° измСнСния свойств ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° ΠΏΡ€ΠΈ Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ.[3]

Π§ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ[ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ | ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΊΠΎΠ΄]

Π§ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ тСнзорСзистора характСризуСтся Π±Π΅Π·Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π½Ρ‹ΠΌ ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠΌΒ β€” коэффициСнтом Ρ‚Π΅Π½Π·ΠΎΡ‡ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ Kf,{\displaystyle K_{f},} ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ опрСдСляСтся ΠΊΠ°ΠΊ:

Kf=Ξ”R/R0Ο΅,{\displaystyle K_{f}={\frac {\Delta R/R_{0}}{\epsilon }},}

Π³Π΄Π΅:

  • Ξ”R{\displaystyle \Delta R}Β β€” Π°Π±ΡΠΎΠ»ΡŽΡ‚Π½ΠΎΠ΅ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ сопротивлСния, Π²Ρ‹Π·Π²Π°Π½Π½ΠΎΠ΅ Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠ΅ΠΉ, Ом;
  • R0{\displaystyle R_{0}}Β β€” Π½Π°Ρ‡Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ сопротивлСниС Π½Π΅Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ тСнзорСзистора, Ом;
  • Ο΅{\displaystyle \epsilon }Β β€” ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Π°Ρ дСформация.

ΠžΡ‚Π½ΠΎΡΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Π°Ρ дСформация опрСдСляСтся ΠΊΠ°ΠΊ:

Ο΅=Ξ”L/L0,{\displaystyle \epsilon =\Delta L/L_{0},}

Π³Π΄Π΅

  • Ξ”L{\displaystyle \Delta L}Β β€” Π°Π±ΡΠΎΠ»ΡŽΡ‚Π½ΠΎΠ΅ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄Π»ΠΈΠ½Ρ‹, ΠΌ;
  • L0{\displaystyle L_{0}}Β β€” Π΄Π»ΠΈΠ½Π° Π½Π΅Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ тСнзорСзистора, ΠΌ.

Для ΠΏΠ»Ρ‘Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Ρ… мСталличСских тСнзорСзисторов ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ Kf{\displaystyle K_{f}} слабо зависит ΠΎΡ‚ Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΈ Π½Π΅ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡ€Π΅Π²Ρ‹ΡˆΠ°Π΅Ρ‚ 2[4].

ΠŸΡ€ΠΈ Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½ΠΈΠΈ тСнзорСзистора Π² мост Уитстона, Π² ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΌ ΠΎΡΡ‚Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ 3 рСзистора постоянны (Π½Π΅ ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ возмоТности рСгулирования сопротивлСния), Π²Ρ‹Ρ…ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ΅ напряТСниС Π΄ΠΈΠ°Π³ΠΎΠ½Π°Π»ΠΈ этого моста выраТаСтся Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒΠ»ΠΎΠΉ:

v=Vbβ‹…Kfβ‹…Ο΅4,{\displaystyle v={\frac {V_{b}\cdot K_{f}\cdot \epsilon }{4}},}

Π³Π΄Π΅:

  • Vb{\displaystyle V_{b}}Β β€” напряТСниС питания моста, Π’.

Π’ΠΈΠΏΠΈΡ‡Π½Ρ‹Π΅ значСния коэффициСнта Ρ‚Π΅Π½Π·ΠΎΡ‡ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ для Ρ€Π°Π·Π½Ρ‹Ρ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Ρ‹ Π² Ρ‚Π°Π±Π»ΠΈΡ†Π΅.

ΠœΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠšΠΎΡΡ„Ρ„ΠΈΡ†ΠΈΠ΅Π½Ρ‚ Ρ‚Π΅Π½Π·ΠΎΡ‡ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ
ΠœΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠ°Ρ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³Π°2-5
Вонкая мСталличСская ΠΏΠ»Ρ‘Π½ΠΊΠ° (Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, константановая)2
ΠœΠΎΠ½ΠΎΠΊΡ€ΠΈΡΡ‚Π°Π»Π»ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉΠžΡ‚ βˆ’125 Π΄ΠΎ +200
ΠŸΠΎΠ»ΠΈΠΊΡ€ΠΈΡΡ‚Π°Π»Π»ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉΒ±30
Π’ΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΏΠ»Ρ‘Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Π΅ рСзистивныС ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹100

Π’Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½Ρ‹ΠΉ коэффициСнт[ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ | ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΊΠΎΠ΄]

ΠŸΡ€ΠΈ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ измСняСтся сопротивлСниС тСнзорСзистора, Π½Π΅ связанноС с Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠ΅ΠΉ. Π­Ρ‚ΠΎ являСтся Π²Ρ€Π΅Π΄Π½Ρ‹ΠΌ ΠΏΠΎΠ±ΠΎΡ‡Π½Ρ‹ΠΌ эффСктом. Π§Π΅Ρ€Π΅Π· коэффициСнт Ρ‚Π΅Π½Π·ΠΎΡ‡ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ сопротивлСния выраТаСтся Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒΠ»ΠΎΠΉ:

Ξ”RR=Kfβ‹…Ξ΅+Ξ±β‹…ΞΈ,{\displaystyle {\frac {\Delta R}{R}}=K_{f}\cdot \varepsilon +\alpha \cdot \theta ,}

Π³Π΄Π΅:

ЭлСктричСская схСма ΠΏΠΎΠ΄ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½ΠΈΡ тСнзорСзистора[ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ | ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΊΠΎΠ΄]

ΠžΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ тСнзорСзисторы Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°ΡŽΡ‚ Π² ΠΎΠ΄Π½ΠΎ ΠΈΠ»ΠΈ Π΄Π²Π° ΠΏΠ»Π΅Ρ‡Π° сбалансированного моста Уитстона, ΠΏΠΈΡ‚Π°Π΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΡ‚ источника постоянного Ρ‚ΠΎΠΊΠ° (диагональ моста

Aβ€”D). Π‘ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ рСзистора R2{\displaystyle R_{2}} производится балансировка моста, Ρ‚Π°ΠΊ, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ Π² отсутствиС ΠΏΡ€ΠΈΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ силы напряТСниС Π΄ΠΈΠ°Π³ΠΎΠ½Π°Π»ΠΈ ΡΠ΄Π΅Π»Π°Ρ‚ΡŒ Ρ€Π°Π²Π½Ρ‹ΠΌ Π½ΡƒΠ»ΡŽ. Π‘ Π΄ΠΈΠ°Π³ΠΎΠ½Π°Π»ΠΈ моста Bβ€”C снимаСтся сигнал, Π΄Π°Π»Π΅Π΅ ΠΏΠΎΠ΄Π°Π²Π°Π΅ΠΌΡ‹ΠΉ Π½Π° ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€, Π΄ΠΈΡ„Ρ„Π΅Ρ€Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ ΡƒΡΠΈΠ»ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒ ΠΈΠ»ΠΈ АЦП.

ΠŸΡ€ΠΈ Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ΠΈΠΈ ΡΠΎΠΎΡ‚Π½ΠΎΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ R1R2=RxR3{\displaystyle {\frac {R_{1}}{R_{2}}}={\frac {R_{x}}{R_{3}}}} напряТСниС Π΄ΠΈΠ°Π³ΠΎΠ½Π°Π»ΠΈ моста Ρ€Π°Π²Π½ΠΎ Π½ΡƒΠ»ΡŽ. ΠŸΡ€ΠΈ Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ измСняСтся сопротивлСниС Rx{\displaystyle R_{x}} (Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, увСличиваСтся ΠΏΡ€ΠΈ растяТСнии), это Π²Ρ‹Π·Ρ‹Π²Π°Π΅Ρ‚ сниТСниС ΠΏΠΎΡ‚Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π»Π° Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠΈ соСдинСния рСзисторов Rx{\displaystyle R_{x}} ΠΈ R3{\displaystyle R_{3}} (Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠΈ B) ΠΈ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ напряТСния Π΄ΠΈΠ°Π³ΠΎΠ½Π°Π»ΠΈ Bβ€”C моста — ΠΏΠΎΠ»Π΅Π·Π½Ρ‹ΠΉ сигнал.

ИзмСнСниС сопротивлСния Rx{\displaystyle R_{x}} ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΏΡ€ΠΎΠΈΡΡ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒ Π½Π΅ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ ΠΎΡ‚ Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ, Π½ΠΎ ΠΈ ΠΎΡ‚ влияния Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΡ… Ρ„Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ², Π³Π»Π°Π²Π½Ρ‹ΠΉ ΠΈΠ· Π½ΠΈΡ…Β β€” ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹, Ρ‡Ρ‚ΠΎ вносит ΠΏΠΎΠ³Ρ€Π΅ΡˆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π² Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚ измСрСния Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ. Для сниТСния влияния Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ сплавы с Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΌ ВКБ, Ρ‚Π΅Ρ€ΠΌΠΎΡΡ‚Π°Ρ‚ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚, вносят ΠΏΠΎΠΏΡ€Π°Π²ΠΊΠΈ Π½Π° ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ ΠΈ/ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ Π΄ΠΈΡ„Ρ„Π΅Ρ€Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ схСмы Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½ΠΈΡ тСнзорСзисторов Π² мост.

НапримСр, Π² схСмС Π½Π° рисункС вмСсто постоянного рСзистора R3{\displaystyle R_{3}} Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°ΡŽΡ‚ Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠΉ ΠΆΠ΅ тСнзорСзистор, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΈ Rx{\displaystyle R_{x}}, Π½ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈ Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»ΠΈ этот рСзистор измСняСт своё сопротивлСниС с ΠΎΠ±Ρ€Π°Ρ‚Π½Ρ‹ΠΌ Π·Π½Π°ΠΊΠΎΠΌ. Π­Ρ‚ΠΎ достигаСтся Π½Π°ΠΊΠ»Π΅ΠΉΠΊΠΎΠΉ тСнзорСзисторов Π½Π° повСрхности ΠΏΠΎ-Ρ€Π°Π·Π½ΠΎΠΌΡƒ Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΡƒΠ΅ΠΌΡ‹Ρ… Π·ΠΎΠ½ Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»ΠΈ, Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, с Ρ€Π°Π·Π½Ρ‹Ρ… сторон ΠΈΠ·Π³ΠΈΠ±Π°Π΅ΠΌΠΎΠΉ Π±Π°Π»ΠΊΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ с ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ стороны, Π½ΠΎ со Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠ½ΠΎ пСрпСндикулярной ΠΎΡ€ΠΈΠ΅Π½Ρ‚Π°Ρ†ΠΈΠ΅ΠΉ. ΠŸΡ€ΠΈ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹, Ссли Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π° ΠΎΠ±ΠΎΠΈΡ… рСзисторов Ρ€Π°Π²Π½Π°, Π·Π½Π°ΠΊ ΠΈ Π²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Π° измСнСния сопротивлСния, Π²Ρ‹Π·Π²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹, Ρ€Π°Π²Π½Ρ‹, ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½Ρ‹ΠΉ ΡƒΡ…ΠΎΠ΄ ΠΏΡ€ΠΈ этом компСнсируСтся.

Π’Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ Π²Ρ‹ΠΏΡƒΡΠΊΠ°ΡŽΡ‚ΡΡ спСциализированныС микросхСмы для Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ совмСстно с тСнзорСзисторами, Π² ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… ΠΏΠΎΠΌΠΈΠΌΠΎ усилитСлСй сигнала часто прСдусмотрСны источники питания моста, схСмы тСрмокомпСнсации, АЦП, Ρ†ΠΈΡ„Ρ€ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ интСрфСйсы для связи с внСшними Ρ†ΠΈΡ„Ρ€ΠΎΠ²Ρ‹ΠΌΠΈ систСмами ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ сигналов ΠΈ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ»Π΅Π·Π½Ρ‹Π΅ сСрвисныС Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΈ.

ΠŸΠ»Ρ‘Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹ΠΉ тСнзорСзистор. На ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΡƒ Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· Ρ„ΠΈΠ³ΡƒΡ€Π½ΡƒΡŽ маску Π² Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ΅ Π½Π°ΠΏΡ‹Π»Π΅Π½Π° ΠΈΠ»ΠΈ сформирована ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΠ»ΠΈΡ‚ΠΎΠ³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΠΈ ΠΏΠ»Ρ‘Π½ΠΊΠ° ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π°. Для ΠΏΠΎΠ΄ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½ΠΈΡ элСктродов Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½Ρ‹ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠΈ (снизу). ΠœΠ΅Ρ‚ΠΊΠΈ ΠΎΠ±Π»Π΅Π³Ρ‡Π°ΡŽΡ‚ ΠΎΡ€ΠΈΠ΅Π½Ρ‚Π°Ρ†ΠΈΡŽ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ΅.

ΠžΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ соврСмСнныС тСнзорСзисторы ΠΏΡ€Π΅Π΄ΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‚ собой Ρ‡ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ элСмСнт Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ Π·ΠΈΠ³Π·Π°Π³ΠΎΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°, нанСсённого Π½Π° Π³ΠΈΠ±ΠΊΡƒΡŽ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΡƒ. ВСнзорСзистор приклСиваСтся ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΎΠΉ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ исслСдуСмого Π½Π° Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚Π°. ΠŸΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΈ тСнзорСзисторов ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ ΠΈΠ· Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΉ мСталличСской ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ»ΠΎΠΊΠΈ, Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ, ΠΈΠ»ΠΈ Π½Π°ΠΏΡ‹Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ Π² Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ΅ для получСния ΠΏΠ»Ρ‘Π½ΠΊΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ° ΠΈΠ»ΠΈ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π°. Π’ качСствС ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ Ρ‚ΠΊΠ°Π½ΡŒ, Π±ΡƒΠΌΠ°Π³Ρƒ, ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€Π½ΡƒΡŽ ΠΏΠ»Ρ‘Π½ΠΊΡƒ, ΡΠ»ΡŽΠ΄Ρƒ ΠΈ Π΄Ρ€. Для присоСдинСния Ρ‡ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ элСмСнта Π² ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ Ρ†Π΅ΠΏΡŒ тСнзорСзистор ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ»ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Π΅ ΠΊΠΎΠ½Ρ†Ρ‹ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠΈ.

ΠŸΠ»Ρ‘Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Π΅ мСталличСскиС тСнзорСзисторы ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΡŒ ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 2‑10 ΠΌΠΌ2.

ВСнзорСзисторы ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ Π² качСствС ΠΏΠ΅Ρ€Π²ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€Π΅ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»Π΅ΠΉ Π² Ρ‚Π΅Π½Π·ΠΎΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π°Ρ… ΠΈ тСнзостанциях ΠΏΡ€ΠΈ измСрСниях мСханичСских Π²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ½ (Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ, силы, крутящСго ΠΌΠΎΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°, пСрСмСщСния, Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅, для измСрСния давлСния Π² ΠΌΠ°Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π°Ρ… ΠΈ ΠΏΡ€.)

ru.wikipedia.org

КРАВКО О Π’Π•ΠΠ—ΠžΠ Π•Π—Π˜Π‘Π’ΠžΠ ΠΠ₯

ΠžΠ‘Π©Π˜Π• Π‘Π’Π•Π”Π•ΠΠ˜Π― О Π’Π•ΠΠ—ΠžΠ Π•Π—Π˜Π‘Π’ΠžΠ ΠΠ₯

Π’Π΅Π½Π·ΠΎΠ΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΈ ΠΈ тСнзорСзисторы. Π”Π°Π²Π°ΠΉΡ‚Π΅ посмотрим, Ρ‡Ρ‚ΠΎ связываСт Ρ‚Π΅Π½Π·ΠΎΠ΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊ ΠΈ тСнзорСзистор.Β 

ВСнзорСзистор (ΠΎΡ‚ Π»Π°Ρ‚. tensus β€” напряТённый ΠΈ Π»Π°Ρ‚. resisto β€” ΡΠΎΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΈΠ²Π»ΡΡŽΡΡŒ) β€” рСзистор, сопротивлСниС ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ³ΠΎ измСняСтся Π² зависимости ΠΎΡ‚ Π΅Π³ΠΎ Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ. ВСнзорСзисторы ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ Π² Ρ‚Π΅Π½Π·ΠΎΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΈΠΈ. Π‘ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ тСнзорСзисторов ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€ΡΡ‚ΡŒ Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ мСханичСски связанных с Π½ΠΈΠΌΠΈ элСмСнтов. ВСнзорСзистор являСтся основной составной Ρ‡Π°ΡΡ‚ΡŒΡŽ Ρ‚Π΅Π½Π·ΠΎΠ΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΎΠ².

ΠŸΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏ дСйствия

ΠŸΡ€ΠΈ растяТСнии проводящих элСмСнтов тСнзорСзистора увСличиваСтся ΠΈΡ… Π΄Π»ΠΈΠ½Π° ΠΈ ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ°Π΅Ρ‚ΡΡ ΠΏΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ‡Π½ΠΎΠ΅ сСчСниС, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ²Π°Π΅Ρ‚ сопротивлСниС тСнзорСзистора, ΠΏΡ€ΠΈ сТатии β€” ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ°Π΅Ρ‚ΡΡ.

ΠŸΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏ дСйствия ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ»Π»ΡŽΡΡ‚Ρ€ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ Π½Π° Π°Π½ΠΈΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΌ ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΈ. Для наглядности Π½Π° ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΈ Π²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Π° Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ тСнзорСзистора ΡƒΡ‚Ρ€ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎ ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½Π°, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΈ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ сопротивлСния. Π’ Ρ€Π΅Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ измСнСния сопротивлСния вСсьма ΠΌΠ°Π»Ρ‹ (ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ ~10βˆ’3) ΠΈ для ΠΈΡ… ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½ΠΈΠΉ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ Ρ‡ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ Π²ΠΎΠ»ΡŒΡ‚ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Ρ‹ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΡ€Π΅ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΠΈ (АЦП, Π²Π΅ΡΠΎΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ ΠΏΡ€Π΅ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΠΈ (Ρ‚Π΅Ρ€ΠΌΠΈΠ½Π°Π»Ρ‹)), ΠΏΡ€Π΅Ρ†ΠΈΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹Π΅ усилитСли. Π’Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ, Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΏΡ€Π΅ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ Π² ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ элСктричСского сопротивлСния ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΈ Π΄Π°Π»Π΅Π΅ β€” Π² элСктричСский сигнал, ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ сигнал напряТСния.

ΠœΡ‹ Π½Π΅ Π±ΡƒΠ΄Π΅ΠΌ ΠΎΡΡ‚Π°Π½Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒΡΡ ΠΏΠΎΠ΄Ρ€ΠΎΠ±Π½ΠΎ Π½Π° элСктромСханичСских ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π°Ρ… тСнзорСзисторов. ΠžΡ‚ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΈΠΌ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Ρ‡ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ характСризуСтся коэффициСнтом Ρ‡ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ ΠΈ зависит ΠΎΡ‚ примСняСмых ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ². А Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½Ρ‹ΠΉ коэффициСнт являСтся Π²Ρ€Π΅Π΄Π½Ρ‹ΠΌ ΠΏΠΎΠ±ΠΎΡ‡Π½Ρ‹ΠΌ эффСктом, Π²Π»ΠΈΡΡŽΡ‰ΠΈΠΉ Π½Π° показания.

ВСнзорСзисторы ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ Π² качСствС Ρ‡ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ элСмСнта, Π΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΎΠ² для измСрСния сил, давлСния. БобствСнно тСнзомСтричСскиС Π΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ сокращСнно Ρ‚Π΅Π½Π·ΠΎΠ΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΠ»ΠΈ своС Π½Π°Π·Π²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΡ‚ тСнзорСзисторов.

ЭлСктричСская схСма ΠΏΠΎΠ΄ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½ΠΈΡ тСнзорСзистора

ΠžΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ тСнзорСзисторы Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°ΡŽΡ‚ Π² ΠΎΠ΄Π½ΠΎ ΠΈΠ»ΠΈ Π΄Π²Π° ΠΏΠ»Π΅Ρ‡Π° сбалансированного моста Уитстона, ΠΏΠΈΡ‚Π°Π΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΡ‚ источника постоянного Ρ‚ΠΎΠΊΠ° (диагональ моста Aβ€”D). Π‘ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ рСзистора производится балансировка моста, Ρ‚Π°ΠΊ, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ Π² отсутствиС ΠΏΡ€ΠΈΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ силы напряТСниС Π΄ΠΈΠ°Π³ΠΎΠ½Π°Π»ΠΈ ΡΠ΄Π΅Π»Π°Ρ‚ΡŒ Ρ€Π°Π²Π½Ρ‹ΠΌ Π½ΡƒΠ»ΡŽ. Π‘ Π΄ΠΈΠ°Π³ΠΎΠ½Π°Π»ΠΈ моста Bβ€”C снимаСтся сигнал, Π΄Π°Π»Π΅Π΅ ΠΏΠΎΠ΄Π°Π²Π°Π΅ΠΌΡ‹ΠΉ Π½Π° ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€, Π΄ΠΈΡ„Ρ„Π΅Ρ€Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ ΡƒΡΠΈΠ»ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒ ΠΈΠ»ΠΈ АЦП.

Π˜Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ мост с Π²ΠΎΠ»ΡŒΡ‚ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠΌ Π² Π΄ΠΈΠ°Π³ΠΎΠ½Π°Π»ΠΈ. ВСнзорСзистор ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ Rx

ΠŸΡ€ΠΈ Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ΠΈΠΈ ΡΠΎΠΎΡ‚Π½ΠΎΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ R1/R2=R2/R3 напряТСниС Π΄ΠΈΠ°Π³ΠΎΠ½Π°Π»ΠΈ моста Ρ€Π°Π²Π½ΠΎ Π½ΡƒΠ»ΡŽ. ΠŸΡ€ΠΈ Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ измСняСтся сопротивлСниС RxΒ (Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, увСличиваСтся ΠΏΡ€ΠΈ растяТСнии), это Π²Ρ‹Π·Ρ‹Π²Π°Π΅Ρ‚ сниТСниС ΠΏΠΎΡ‚Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π»Π° Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠΈ соСдинСния рСзисторов RxΒ ΠΈΒ R3(Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠΈ B) ΠΈ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ напряТСния Π΄ΠΈΠ°Π³ΠΎΠ½Π°Π»ΠΈ Bβ€”C моста β€” ΠΏΠΎΠ»Π΅Π·Π½Ρ‹ΠΉ сигнал.

ИзмСнСниС сопротивлСния RxΒ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΏΡ€ΠΎΠΈΡΡ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒ Π½Π΅ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ ΠΎΡ‚ Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ, Π½ΠΎ ΠΈ ΠΎΡ‚ влияния Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΡ… Ρ„Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ², Π³Π»Π°Π²Π½Ρ‹ΠΉ ΠΈΠ· Π½ΠΈΡ… β€” ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹, Ρ‡Ρ‚ΠΎ вносит ΠΏΠΎΠ³Ρ€Π΅ΡˆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π² Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚ измСрСния Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ. Для сниТСния влияния Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ сплавы с Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΌ ВКБ, Ρ‚Π΅Ρ€ΠΌΠΎΡΡ‚Π°Ρ‚ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚, вносят ΠΏΠΎΠΏΡ€Π°Π²ΠΊΠΈ Π½Π° ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ ΠΈ/ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ Π΄ΠΈΡ„Ρ„Π΅Ρ€Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ схСмы Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½ΠΈΡ тСнзорСзисторов Π² мост.

НапримСр, Π² схСмС Π½Π° рисункС вмСсто постоянного рСзистора R3Β Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°ΡŽΡ‚ Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠΉ ΠΆΠ΅ тСнзорСзистор, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΈ Rx, Π½ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈ Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»ΠΈ этот рСзистор измСняСт своё сопротивлСниС с ΠΎΠ±Ρ€Π°Ρ‚Π½Ρ‹ΠΌ Π·Π½Π°ΠΊΠΎΠΌ. Π­Ρ‚ΠΎ достигаСтся Π½Π°ΠΊΠ»Π΅ΠΉΠΊΠΎΠΉ тСнзорСзисторов Π½Π° повСрхности ΠΏΠΎ-Ρ€Π°Π·Π½ΠΎΠΌΡƒ Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΡƒΠ΅ΠΌΡ‹Ρ… Π·ΠΎΠ½ Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»ΠΈ, Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, с Ρ€Π°Π·Π½Ρ‹Ρ… сторон ΠΈΠ·Π³ΠΈΠ±Π°Π΅ΠΌΠΎΠΉ Π±Π°Π»ΠΊΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ с ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ стороны, Π½ΠΎ со Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠ½ΠΎ пСрпСндикулярной ΠΎΡ€ΠΈΠ΅Π½Ρ‚Π°Ρ†ΠΈΠ΅ΠΉ. ΠŸΡ€ΠΈ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹, Ссли Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π° ΠΎΠ±ΠΎΠΈΡ… рСзисторов Ρ€Π°Π²Π½Π°, Π·Π½Π°ΠΊ ΠΈ Π²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Π° измСнСния сопротивлСния, Π²Ρ‹Π·Π²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹, Ρ€Π°Π²Π½Ρ‹, ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½Ρ‹ΠΉ ΡƒΡ…ΠΎΠ΄ ΠΏΡ€ΠΈ этом компСнсируСтся.

Π’Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ Π²Ρ‹ΠΏΡƒΡΠΊΠ°ΡŽΡ‚ΡΡ спСциализированныС микросхСмы для Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ совмСстно с тСнзорСзисторами, Π² ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… ΠΏΠΎΠΌΠΈΠΌΠΎ усилитСлСй сигнала часто прСдусмотрСны источники питания моста, схСмы тСрмокомпСнсации, АЦП, Ρ†ΠΈΡ„Ρ€ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ интСрфСйсы для связи с внСшними Ρ†ΠΈΡ„Ρ€ΠΎΠ²Ρ‹ΠΌΠΈ систСмами ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ сигналов ΠΈ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ»Π΅Π·Π½Ρ‹Π΅ сСрвисныС Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΈ.

ΠšΠΎΠ½ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ†ΠΈΡ

ΠžΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ соврСмСнныС тСнзорСзисторы ΠΏΡ€Π΅Π΄ΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‚ собой Ρ‡ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ элСмСнт Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ Π·ΠΈΠ³Π·Π°Π³ΠΎΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°, нанСсСнного Π½Π° Π³ΠΈΠ±ΠΊΡƒΡŽ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΡƒ. ВСнзорСзистор приклСиваСтся ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΎΠΉ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ исслСдуСмого Π½Π° Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚Π°. ΠŸΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΈ тСнзорСзисторов ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ ΠΈΠ· Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΉ мСталличСской ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ»ΠΎΠΊΠΈ, Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ, ΠΈΠ»ΠΈ Π½Π°ΠΏΡ‹Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ Π² Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ΅ для получСния ΠΏΠ»Ρ‘Π½ΠΊΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ° ΠΈΠ»ΠΈ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π°. Π’ качСствС ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ Ρ‚ΠΊΠ°Π½ΡŒ, Π±ΡƒΠΌΠ°Π³Ρƒ, ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€Π½ΡƒΡŽ ΠΏΠ»Ρ‘Π½ΠΊΡƒ, ΡΠ»ΡŽΠ΄Ρƒ ΠΈ Π΄Ρ€. Для присоСдинСния Ρ‡ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ элСмСнта Π² ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ Ρ†Π΅ΠΏΡŒ тСнзорСзистор ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ»ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Π΅ ΠΊΠΎΠ½Ρ†Ρ‹ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠΈ.


ΠŸΠ»Ρ‘Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹ΠΉ тСнзорСзистор. На ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΡƒ Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· Ρ„ΠΈΠ³ΡƒΡ€Π½ΡƒΡŽ маску Π² Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ΅ Π½Π°ΠΏΡ‹Π»Π΅Π½Π° ΠΈΠ»ΠΈ сформирована ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΠ»ΠΈΡ‚ΠΎΠ³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΠΈ ΠΏΠ»Ρ‘Π½ΠΊΠ° ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π°. Для ΠΏΠΎΠ΄ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½ΠΈΡ элСктродов Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½Ρ‹ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠΈ (снизу). ΠœΠ΅Ρ‚ΠΊΠΈ ΠΎΠ±Π»Π΅Π³Ρ‡Π°ΡŽΡ‚ ΠΎΡ€ΠΈΠ΅Π½Ρ‚Π°Ρ†ΠΈΡŽ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ΅.

ΠŸΠ»Ρ‘Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Π΅ мСталличСскиС тСнзорСзисторы ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΡŒ ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 2‑10 ΠΌΠΌ2.

ΠšΠΎΠ½Ρ„ΠΈΠ³ΡƒΡ€Π°Ρ†ΠΈΡΒ 

Π’Π΅Π½Π·ΠΎΠ΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΈ, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΠ»ΠΎ, ΠΏΡ€ΠΈΠΊΠ»Π΅ΠΈΠ²Π°Π΅ΠΌΡ‹Π΅, состоят ΠΈΠ·:

  • элСмСнта Ρ‡ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊ Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ;
  • Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠ»Ρ‘Π½ΠΊΠΈ, которая являСтся изолятором ΠΈ нСсущСй основой для Ρ‡ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ элСмСнта;
  • ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΎΠΊ для присоСдинСния Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΎΠ².

Π­Π»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ‚, Ρ‡ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ ΠΊ Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ, прСдставляСт собой Ρ€Π΅ΡˆΡ‘Ρ‚ΠΊΡƒ, которая Π²Ρ‹Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½Π° способом Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΠ»ΠΈΡ‚ΠΎΠ³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΎΡ‚ΡˆΡ‚Π°ΠΌΠΏΠΎΠ²Π°Π½Π° ΠΈΠ· ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΎΠ³ΠΎ листа мСталличСской Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ 2,5 ΠΌΠΊΠΌ. ΠšΠΎΠ½Ρ„ΠΈΠ³ΡƒΡ€Π°Ρ†ΠΈΡ выбираСтся Ρ‚Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΡ‚ΡŒ сопротивлСниС Ρ€Π°Π²Π½ΠΎΠ΅ 100 Ом ΠΏΡ€ΠΈ достаточно ΠΌΠ°Π»ΠΎΠΉ Π΄Π»ΠΈΠ½Π΅ ΠΈ ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½Π΅. Π’Ρ‹ΠΏΡƒΡΠΊΠ°ΡŽΡ‚ΡΡ Π΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΈ, Π΄Π»ΠΈΠ½Π° ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… мСняСтся Π² Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅ ΠΎΡ‚ 2 Π΄ΠΎ 150 ΠΌΠΊΠΌ. Π’Ρ‹ΠΏΡƒΡΠΊΠ°ΡŽΡ‚ΡΡ Π΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΈΒ  ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ назначСния (ΠΌΠ΅ΠΌΠ±Ρ€Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ Π΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΈ давлСния, напряТСния, Π΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΈ Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ сдвига).

НСсущая основа

ΠŸΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ΡΡ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹ Ρ‚Π°ΠΊΠΈΠ΅, ΠΊΠ°ΠΊ:

  • Π°ΠΊΡ€ΠΈΠ»ΠΎΠ²Ρ‹Π΅;
  • ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠ°ΠΌΠΈΠ΄Π½Ρ‹Π΅;
  • Ρ„Π΅Π½ΠΎΠ»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅;
  • эпоксидно-стСклянныС;
  • Π±ΡƒΠΌΠ°Π³Π°;
  • эпоксидныС;
  • эпоксидно-ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠ°ΠΌΠΈΠ΄Π½Ρ‹Π΅;
  • эпоксидно-Ρ„Π΅Π½ΠΎΠ»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅;
  • Ρ„Π΅Π½ΠΎΠ»ΡŒΠ½ΠΎ-стСклянныС.

Π’ Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΈΠ½ΡΡ‚Π²Π΅ случаСв ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ΡΡ полиамидная ΠΏΠ»Ρ‘Π½ΠΊΠ°, ΠΎΡ‚Π»ΠΈΡ‡Π°ΡŽΡ‰Π°ΡΡΡ ΠΏΡ€ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ, Π³ΠΈΠ±ΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΈ ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΡ‚ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ с Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΈΠ½ΡΡ‚Π²ΠΎΠΌ ΡΠ²ΡΠ·ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ…. ΠŸΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅Ρ‚ΡΡ ΠΏΠ»Ρ‘Π½ΠΊΠ° с эпоксидной смолы. Π•Ρ‘ особСнности:

  • Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½ΠΎ-ΡƒΠΏΡ€ΡƒΠ³ΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°;
  • отсутствиС гистСрСзиса.

ΠŸΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹, Π°Ρ€ΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ стСкловолокном, ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ΡΡ Π² Π΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠ°Ρ… для Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ Π² цикличСских дСформациях.Β Π’ Π΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠ°Ρ…, Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°ΡŽΡ‰ΠΈΡ… ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½Π½Ρ‹Ρ… Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π°Ρ…, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ основы ΠΈΠ· эпоксидных ΠΈ Ρ„Π΅Π½ΠΎΠ»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… смол, Π°Ρ€ΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… стСкловолокном.

КлСи, с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΈΠΊΠ»Π΅ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ Ρ‚Π΅Π½Π·ΠΎΠ΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΈ

КлСй, с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠΊΠ»Π΅ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ Ρ‚Π΅Π½Π·ΠΎΠ΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊ Π½Π° ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Π΅Ρ†, Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ΅Π½ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Ρ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ, Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½ΠΎΠΉ ΡƒΠΏΡ€ΡƒΠ³ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΈ ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄Π»ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠ΅Ρ€ΠΈΠΎΠ΄Π° Π²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½ΠΈ.

ΠšΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°Ρ†ΠΈΡ Π΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠ°: Π΅Π³ΠΎ нСсущая основа ΠΈ ΠΊΠ»Π΅ΠΈ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΡŽΡ‚ самого ΡΠ΅Ρ€ΡŒΠ΅Π·Π½ΠΎΠ³ΠΎ внимания. НСобходимо ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡ‚ΡŒ Π°ΠΏΡ€ΠΎΠ±ΠΈΡ€ΡƒΠ΅ΠΌΡ‹Π΅ ΠΊΠ»Π΅ΠΈ ΠΈ ΡΠΎΠ±Π»ΡŽΠ΄Π°Ρ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅Π΄ΡƒΡ€Ρ‹ нанСсСния ΠΈ ΡΡƒΡˆΠΊΠΈ.

Π’ качСствС клСя Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΈΠ»-2-Ρ†ΠΈΠ°Π½ΠΎΠ°ΠΊΡ€ΠΈΠ°Π΄, эпоксидная смола, ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠΈΠ΄ ΠΈ Π½Π΅ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ Π²ΠΈΠ΄Ρ‹ ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠΈ.

Π¦ΠΈΠ°Π½ΠΎΠ°ΠΊΡ€ΠΈΠ°Π΄ Π½Π΅ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅Ρ‚ Π½ΠΈ Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²Π°, Π½ΠΈ ΠΎΡ‚Π²Π΅Ρ€Π΄ΠΈΡ‚Π΅Π»Π΅ΠΉ для инициирования ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ. Для ускорСния ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ Π½Π° ΠΎΠ΄Π½Ρƒ ΠΈΠ· повСрхностСй ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ нанСсён ΠΊΠ°Ρ‚Π°Π»ΠΈΠ·Π°Ρ‚ΠΎΡ€. Благодаря ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ быстрой ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ этот ΠΊΠ»Π΅ΠΉ являСтся ΠΈΠ΄Π΅Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠΌ для Ρ‚Π΅Π½Π·ΠΎΠ΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΎΠ±Ρ‰Π΅Π³ΠΎ назначСния. ΠœΠΈΠ½ΡƒΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ наТатия большим ΠΏΠ°Π»ΡŒΡ†Π΅ΠΌ ΠΈ Π΄Π²ΡƒΡ… ΠΌΠΈΠ½ΡƒΡ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ°ΡƒΠ·Ρ‹ оказываСтся достаточно. Он ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒΡΡ Π² Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€ ΠΎΡ‚ -32 Π΄ΠΎ +65Β°Π‘. Он обСспСчиваСт ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ Π½Π΅ Π²Ρ‹ΡˆΠ΅ 6%. ΠŸΡ€ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ клСя сниТаСтся со Π²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π΅ΠΌ ΠΈΠ·-Π·Π° поглощСния Π²Π»Π°Π³ΠΈ, поэтому Π΅Π³ΠΎ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‰Π°Ρ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΈ Π΄Π»ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ эксплуатации.

Эпоксидный состоит ΠΈΠ· смолы ΠΈ отвСрдитСля, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ вступаСт Π² Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ†ΠΈΡŽ со смолой, обСспСчивая ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΡŽ. Π’ Π½Π΅ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… случаях для вязкости смолы Π² Π½Π΅Π΅ Π΄ΠΎΠ±Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‚ Ρ€Π°ΡΡ‚Π²ΠΎΡ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒ. Π Π°Π·Π±Π°Π²Π»Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ смолы (эпоксидно-Ρ„Π΅Π½ΠΎΠ»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅) Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΏΡ€Π΅Π΄ΠΏΠΎΡ‡Ρ‚ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΠ΅ высокопрочныС, ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡ€ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»Ρ‘Π½ΠΊΠΈ со слабо Π²Ρ‹Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ»Π·ΡƒΡ‡Π΅ΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΈ гистСрСзисом. Для обСспСчСния Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡ€ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ слоя ΠΊ Π΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΡƒ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½ΠΎ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΈΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΎ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΡ‚ 70 Π΄ΠΎ 210 кПа. Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ Π³Π°Ρ€Π°Π½Ρ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠ»Π½ΡƒΡŽ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΡŽ эпоксидныС ΠΊΠ»Π΅ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π²Π΅Ρ€Π³Π°ΡŽΡ‚ ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΈΡ… часов. По-Π²ΠΈΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠΌΡƒ, Π½Π°ΠΈΠ»ΡƒΡ‡ΡˆΠΈΠΌΠΈ ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ эпоксидно-Ρ„Π΅Π½ΠΎΠ»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ ΠΊΠ»Π΅ΠΈ с Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡ΠΈΠΌ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½ΠΎΠΌ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€ ΠΎΡ‚ -269 Π΄ΠΎ +260Β°Π‘. ДопустимоС ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ ΡƒΠ΄Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ находится Π² ΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π°Ρ… 3-10%.

ΠŸΠΎΠ»ΠΈΠ°ΠΌΠΈΠ΄Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΡ€Π΅Π΄ΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‚ собой ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚Π½Ρ‹ΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡ‚ΡŒΡΡ Π² Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€ ΠΎΡ‚ -260 Π΄ΠΎ +399Β°Π‘. Полиамид утвСрТдаСтся ΠΏΡ€ΠΈ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ 275кПа ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 260Β°Π‘.

Π˜Ρ‚Π°ΠΊ, для отвСрТдСния Π½ΡƒΠΆΠ½Ρ‹ ΡΡ€Π°Π²Π½ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ высокиС давлСния ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ (Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, 8 — 10 кгс/ΠΌΠΌ2, 170Β° Π‘). ΠŸΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΡƒΠΏΡ€ΡƒΠ³ΠΎΠ³ΠΎ элСмСнта ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄ ΠΏΡ€ΠΈΠΊΠ»Π΅ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Ρ‚Ρ‰Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ очищаСтся мСханичСскими ΠΈ химичСскими срСдствами, Π° Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ ΠΊ Π½Π΅ΠΉ ΠΏΡ€ΠΈΠΊΠ»Π΅ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ тСнзорСзисторы Π½Π° слои ΡΠΎΠΎΡ‚Π²Π΅Ρ‚ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… клСящих ΠΈ ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… вСщСств. ΠŸΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡ отвСрТдСния Π²Π΅Π΄ΡƒΡ‚ ΠΏΠΎ ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½ΠΎ-Π²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΠ³Ρ€Π°ΠΌΠΌΠ΅. ПослС окончания процСссов «ΠΏΠΎΡΠ»Π΅ΠΎΡ‚Π²Π΅Ρ€ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ», Ссли Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠ²Ρ‹Π΅ ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ мСсто, ΠΏΡ€ΠΈΠΊΠ»Π΅Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ тСнзорСзисторы Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‰Π°ΡŽΡ‚ΡΡ ΠΎΡ‚ дСйствия ΠΎΠΊΡ€ΡƒΠΆΠ°ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ срСды.

ПослС отвСрдСния ΠΊΠ»Π΅Π΅Π² Ρ‚Π΅Π½Π·ΠΎΠ΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΈ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ‹ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚Ρ‹ Π³Π΅Ρ€ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΈΠΊΠΎΠΌ (ΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ„ΠΈΠ½, ΠΊΠ°ΡƒΡ‡ΡƒΠΊ, ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΡ‚Π°Π½).

ΠšΠΎΠ½ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ†ΠΈΡ закрСплСния Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ большоС Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ для Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ Π΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠ° (рис. 1). Π’ классичСской конструкции (Π°) примСняСтся «ΡƒΡ‚ΠΎΠΏΠ»Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΉ» тСнзорСзистор (Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, Π² основС ΠΈΠ· Ρ„Π΅Π½ΠΎΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ клСя), ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ наклСиваСтся Π½Π° ΡƒΠΏΡ€ΡƒΠ³ΠΈΠΉ элСмСнт с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ клСя (Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, Ρ„Π΅Π½ΠΎΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ). Π’ конструкции (Π±) Π³ΠΎΠ»Ρ‹ΠΉ тСнзорСзистор (Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹ΠΉ) ΠΏΡ€ΠΈΠΊΠ»Π΅ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΡƒ (Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, ΠΈΠ· ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ Π±ΡƒΠΌΠ°Π³ΠΈ), ΠΏΡ€ΠΎΠΏΠΈΡ‚Π°Π½Π½ΡƒΡŽ ΠΊΠ»Π΅Π΅ΠΌ. Π’ ΠΎΠ±ΠΎΠΈΡ… случаях Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°Π΅Ρ‚ ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ толстая прослойка Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ d2, (Β» 20 — 50 ΠΌΠΊΠΌ), которая образуСтся ΠΏΠΎ сущСству вязкой срСдой ΠΈ слуТит ΠΏΡ€ΠΈΡ‡ΠΈΠ½ΠΎΠΉ явлСний ослаблСния напряТСний. ΠŸΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΡƒ прослойка выполняСт ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΡŽ изоляции, ΠΎΠ½Π° Π½Π΅ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π΄Π΅Π»Π°Ρ‚ΡŒΡΡ сколь ΡƒΠ³ΠΎΠ΄Π½ΠΎ Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΉ. ΠŸΠΎΡΡ‚ΠΎΠΌΡƒ Π² Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ конструкции Π·Π°Π΄Π°Ρ‡ΠΈ изоляции ΠΈ крСплСния Ρ€Π°Π·Π΄Π΅Π»Π΅Π½Ρ‹. Π—Π΄Π΅ΡΡŒ сначала наносится изоляционный слой, (расплавлСнная эмаль ΠΈΠ»ΠΈ ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠ°), ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ‚ сущСствСнно Π»ΡƒΡ‡ΡˆΠΈΠΌΠΈ мСханичСскими свойствами, Ρ‡Π΅ΠΌ ΠΊΠ»Π΅ΠΉ. Π’Π΅ΠΏΠ΅Ρ€ΡŒ собствСнно ΠΊΠ»Π΅Π΅Π²ΠΎΠΉ слой ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡ‚ΡŒΡΡ ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΠΌ (< 1 ΠΌΠΊΠΌ) ΠΈ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ΅Π½ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ Π·Π°ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚ΡŒ нСровности повСрхностСй. Π’ этой конструкции практичСски ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΏΡ€Π΅Π½Π΅Π±Ρ€Π΅ΠΆΠΈΠΌΠΎ ослаблСниС напряТСний, Π²Ρ‹Π·Π²Π°Π½Π½ΠΎΠ΅ ΠΊΠ»Π΅Π΅ΠΌ.

Рисунок 1 — ΠšΠΎΠ½ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ†ΠΈΠΈ тСнзорСзисторных Ρ‡ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… элСмСнтов Π΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΎΠ²
Π° ΠΈ Π± — ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½Ρ‹Π΅ конструкции с толстыми ΠΊΠ»Π΅Π΅Π²Ρ‹ΠΌΠΈ слоями dz;
Π² — соврСмСнная конструкция с Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΠΌ ΠΊΠ»Π΅Π΅Π²Ρ‹ΠΌ слоСм dz.
1 — ΡƒΠΏΡ€ΡƒΠ³ΠΈΠΉ элСмСнт; 2 — тСнзорСзистор; 3 — основа тСнзорСзистора; 4 — ΠΊΠ»Π΅Π΅Π²ΠΎΠΉ слой; 5 -ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ°, пропитанная ΠΊΠ»Π΅Π΅ΠΌ; 6 — ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΉ слой с Ρ…ΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΈΠΌΠΈ мСханичСскими свойствами

ЯвлСния ослаблСния напряТСния Ρ€Π°ΡΡΠΌΠ°Ρ‚Ρ€ΠΈΠ²Π°Π»ΠΈΡΡŒ Π΄ΠΎ сих ΠΏΠΎΡ€ всСгда Π² связи с процСссами Π² ΠΊΠ»Π΅Π΅ ΠΈ конструкциСй крСплСния тСнзорСзисторов. Π­Ρ‚ΠΎ понятно, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ Π² ΠΏΠ΅Ρ€ΠΈΠΎΠ΄ становлСния Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΈΠΊΠΈ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½ΠΈΠΉ, основанной Π½Π° тСнзорСзисторах, Π½Π° исслСдованиС ΠΈ ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ползучСсти ΠΊΠ»Π΅Π΅Π² Π±Ρ‹Π»ΠΎ Π½Π°ΠΏΡ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΎ основноС Π²Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅. Однако Π² настоящСС врСмя ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠΈΡ‚ΡŒ эти эффСкты, ΠΏΠΎ ΠΊΡ€Π°ΠΉΠ½Π΅ΠΉ ΠΌΠ΅Ρ€Π΅ Π΄ΠΎ порядка Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠΉ ослаблСния напряТСний, Π²Ρ‹Π·Π²Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΠΌΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Π°ΠΌΠΈ (Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, самим ΡƒΠΏΡ€ΡƒΠ³ΠΈΠΌ элСмСнтом). ΠŸΠΎΡΡ‚ΠΎΠΌΡƒ ослаблСниС клСя слСдуСт Ρ€Π°ΡΡΠΌΠ°Ρ‚Ρ€ΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ вмСстС с Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΠΌΠΈ явлСниями, Ссли ΠΈΠΌΠΈ Π²ΠΎΠΎΠ±Ρ‰Π΅ нСльзя ΠΏΡ€Π΅Π½Π΅Π±Ρ€Π΅Ρ‡ΡŒ. Π Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΡ€ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Ρ‹ ΠΏΠΎΠ³Ρ€Π΅ΡˆΠ½ΠΎΡΡ‚Π΅ΠΉ тСнзорСзисторных Π΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΎΠ² сопоставлСны Π½ΠΈΠΆΠ΅:

ОслаблСния Π² ΡƒΠΏΡ€ΡƒΠ³ΠΎΠΌ элСмСнтС

ВязкоС ослаблСниС ΠΈΠ·-Π·Π° ΠΊΠ»Π΅Π΅Π²Ρ‹Ρ… слоСв благодаря соврСмСнным способам приклСивания становится часто ΠΏΡ€Π΅Π½Π΅Π±Ρ€Π΅ΠΆΠΈΠΌΠΎ ΠΌΠ°Π»Ρ‹ΠΌ.

Π’Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½Ρ‹ΠΉ ΡƒΡ…ΠΎΠ΄ нуля Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°Π΅Ρ‚ ΠΈΠ·-Π·Π° Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… Π²ΠΎΠ»Π½, Ρ€Π°ΡΠΏΡ€ΠΎΡΡ‚Ρ€Π°Π½ΡΡŽΡ‰ΠΈΡ…ΡΡ ΠΏΠΎ ΡƒΠΏΡ€ΡƒΠ³ΠΎΠΌΡƒ элСмСнту, ΠΏΡ€ΠΈ Π²Ρ‹Ρ€Π°Π²Π½ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ состояния, Ссли тСнзорСзисторы ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ большиС Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½Ρ‹Π΅ коэффициСнты сопротивлСния (ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Π΅ тСнзорСзисторы).

ВСрмоэлСктричСскиС эффСкты Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°ΡŽΡ‚ ΠΈΠ·-Π·Π° процСссов пСрСраспрСдСлСния ΠΏΠΎΡ‚Π΅Ρ€ΡŒ мощности Π² мостС; Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ Π·Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Π½Ρ‹ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ Ρƒ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… тСнзорСзисторов.

ОслаблСниС клСя — СдинствСнный эффСкт, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ ΠΏΠΎ своСй ΠΏΡ€ΠΈΡ€ΠΎΠ΄Π΅ ΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΈΠ²ΠΎΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ Π΄Π΅ΠΉΡΡ‚Π²ΠΈΡŽ силы. ΠŸΠΎΡΡ‚ΠΎΠΌΡƒ ΠΎΠ½ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π² ΠΏΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏΠ΅ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ΅Π½ΡΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ эффСкты ослаблСния, ΡΠΎΠ²ΠΏΠ°Π΄Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎ своСму Ρ…Π°Ρ€Π°ΠΊΡ‚Π΅Ρ€Ρƒ с силой, ΠΎΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ ΠΈΠ·-Π·Π° Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… постоянных Π²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½ΠΈ этих эффСктов лишь Π½Π΅ ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΈ с большой Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΎΡ‚ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹.

Π—Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π° ΠΎΡ‚ воздСйствия ΠΎΠΊΡ€ΡƒΠΆΠ°ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ срСды. Π§ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ элСмСнты послС ΠΈΡ… приклСивания Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ‹ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‰Π°Ρ‚ΡŒΡΡ ΠΎΡ‚ воздСйствий ΠΎΠΊΡ€ΡƒΠΆΠ°ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ срСды, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΠΏΡ€Π΅ΠΏΡΡ‚ΡΡ‚Π²ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΏΡ€Π΅ΠΆΠ΄Π΅ всСго Π΄Π΅ΠΉΡΡ‚Π²ΠΈΡŽ влаТности. Для этого послС отвСрТдСния, ΠΏΠΎ возмоТности Π΅Ρ‰Π΅ Π² Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠΌ состоянии, ΠΎΠ½ΠΈ ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½Ρ‹ΠΌΠΈ Π»Π°ΠΊΠ°ΠΌΠΈ. Π§Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ Π²ΠΎΡΠΏΡ€Π΅ΠΏΡΡ‚ΡΡ‚Π²ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡŽ сквозных ΠΏΠΎΡ€, Ρ‚Π°ΠΊΡƒΡŽ ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΡŽ ΠΏΠΎΠ²Ρ‚ΠΎΡ€ΡΡŽΡ‚, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΠ»ΠΎ, нСсколько Ρ€Π°Π·.

ΠŸΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ Ρ‚Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΠ΅ слои Π½Π΅ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΈ Π½Π° Π΄Π»ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ врСмя ΠΈΡΠΊΠ»ΡŽΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ Π΄ΠΈΡ„Ρ„ΡƒΠ·ΠΈΡŽ ΠΏΠ°Ρ€ΠΎΠ² Π²ΠΎΠ΄Ρ‹. Π­Ρ‚ΠΎ достигаСтся Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ благодаря гСрмСтичСски ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½Ρ‹ΠΌ мСталличСским корпусам, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ часто Π·Π°ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡŽΡ‚ΡΡ Π΅Ρ‰Π΅ достаточно большим запасом гигроскопичного вСщСства ΠΈΠ»ΠΈ сухим ΠΈΠ½Π΅Ρ€Ρ‚Π½Ρ‹ΠΌ Π³Π°Π·ΠΎΠΌ. Однако Π²Π»Π°Π³Π°, Π²Π½Π΅Π΄Ρ€ΠΈΠ²ΡˆΠ°ΡΡΡ Π² Ρ‡ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ элСмСнты, нСсмотря Π½Π° всС эти ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹, Π²Ρ‹Π·Ρ‹Π²Π°Π΅Ρ‚ Π΄Π²Π° эффСкта:

1. УмСньшСниС сопротивлСния изоляции ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ тСнзорСзистором ΠΈ ΡƒΠΏΡ€ΡƒΠ³ΠΈΠΌ элСмСнтом. Π’ идСальном случаС это сопротивлСниС бСсконСчно Π²Π΅Π»ΠΈΠΊΠΎ. ΠŸΡ€ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Π΅Ρ‡Π½ΠΎΠΌ сопротивлСнии изоляции Ris ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°ΡŽΡ‚ΡΡ условия, ΠΎΡ‚Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½Π½Ρ‹Π΅ Π½Π° рис. 2. Π‘Π»Π°Π³ΠΎΠΏΡ€ΠΈΡΡ‚Π½Π΅ΠΉΡˆΠΈΠΉ случай ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ Π½Π° рис. 2,Π°, Π³Π΄Π΅ Ris, Ρ€Π°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ€Π½ΠΎ распрСдСлСно Π½Π° Ρ‡Π΅Ρ‚Ρ‹Ρ€Π΅ части моста; разбаланса моста Π½Π΅Ρ‚. Для Π½Π΅Π±Π»Π°Π³ΠΎΠΏΡ€ΠΈΡΡ‚Π½Π΅ΠΉΡˆΠ΅Π³ΠΎ случая расчСт Π΄Π°Π΅Ρ‚ ΠΏΠΎΠ³Ρ€Π΅ΡˆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ нуля:

Π³Π΄Π΅ eNcp — срСдняя номинальная дСформация ΠΈ R0 — основноС сопротивлСниС тСнзорСзисторов. Π­Ρ‚ΠΈ ΡΠΎΠΎΡ‚Π½ΠΎΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ для тСнзорСзисторов с большим коэффициСнтом Ρ‚Π΅Π½Π·ΠΎΡ‡ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ (для ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ…) Π½Π΅ ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠ³ΠΎ значСния.

Рисунок 2 — ВлияниС ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ сопротивлСния изоляции

Ris — дискрСтная эквивалСнтная схСма. a — благоприятный случай: ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Ris распрСдСлСно Ρ€Π°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ€Π½ΠΎ; Π± — нСблагоприятный случай: ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Ris дСйствуСт Π½Π° ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ тСнзорСзистор.

Π Π°Π·Π±ΡƒΡ…Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠ»Π΅Π΅Π²ΠΎΠ³ΠΎ слоя Π²Ρ‹Π·Ρ‹Π²Π°Π΅Ρ‚ ΠΊΠ°ΠΆΡƒΡ‰ΡƒΡŽΡΡ Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΡŽ, Π° этим самым — Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΡƒΡŽ ΠΏΠΎΠ³Ρ€Π΅ΡˆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ нуля. МоТно с ΡƒΠ²Π΅Ρ€Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΡΡ‡ΠΈΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ этот эффСкт Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ сильнСС, Ρ‡Π΅ΠΌ эффСкт ΠΎΡ‚ сопротивлСния изоляции. Но ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Ris ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΡΠ»ΡƒΠΆΠΈΡ‚ΡŒ Π² качСствС ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ Π²Π½Π΅Π΄Ρ€ΠΈΠ²ΡˆΠ΅ΠΉΡΡ Π²Π»Π°Π³ΠΈ ΠΈ поэтому — ΠΎΠ±Ρ‰Π΅ΠΉ ΠΎΠΆΠΈΠ΄Π°Π΅ΠΌΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ³Ρ€Π΅ΡˆΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ нуля. МоТно ΠΏΡ€ΠΈΠ½ΡΡ‚ΡŒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Ρ€Π°Π·Π±ΡƒΡ…Π°Π½ΠΈΠ΅ Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ достаточно ΠΌΠ°Π»ΠΎ, Ссли сопротивлСниС изоляции Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ 109 Ом.

unives.ru

ВСнзорСзисторы ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏΡ‹ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹

Π§Ρ‚ΠΎ Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠ΅ дСформация?

Π’Π½Π΅ΡˆΠ½Π΅Π΅ усилиС, ΠΏΡ€ΠΈΠΊΠ»Π°Π΄Ρ‹Π²Π°Π΅ΠΌΠΎΠ΅ ΠΊ ΡƒΠΏΡ€ΡƒΠ³ΠΎΠΌΡƒ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρƒ, создаСт мСханичСскоС напряТСниС, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ΅, Π² свою ΠΎΡ‡Π΅Ρ€Π΅Π΄ΡŒ, Π²Ρ‹Π·Ρ‹Π²Π°Π΅Ρ‚ Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΡŽ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°. Π’ случаС, Ссли ΠΏΡ€ΠΈΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΎ усилиС растяТСния, Π΄Π»ΠΈΠ½Π° ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° L увСличиваСтся ΠΈ становится Ρ€Π°Π²Π½ΠΎΠΉ L + Ξ”L. ΠžΡ‚Π½ΠΎΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Ξ”L ΠΊ L, Ρ‚.Π΅. Ξ”L/L, называСтся Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠ΅ΠΉ. Π‘ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΎΠΉ стороны, Ссли ΠΏΡ€ΠΈΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΎ усилиС сТатия, Π΄Π»ΠΈΠ½Π° L ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ°Π΅Ρ‚ΡΡ Π΄ΠΎ значСния L-Ξ”L. Π’ этом случаС дСформация Ρ€Π°Π²Π½Π° (-Ξ”L/L).


Π§Ρ‚ΠΎ Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠ΅ тСнзорСзистор?

ЭлСктричСскоС сопротивлСниС ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π° измСняСтся ΠΏΡ€ΠΎΠΏΠΎΡ€Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎ мСханичСской Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ, Π²Ρ‹Π·Π²Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΈΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½Π½Ρ‹ΠΌ ΠΊ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Ρƒ внСшним усилиСм. ΠŸΡ€ΠΈ ΠΊΡ€Π΅ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΈΠΈ Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΎΠ³ΠΎ слоя ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π° ΠΊ ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚Ρƒ измСрСния ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ… Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΎΠ³ΠΎ слоя диэлСктрика, ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π» дСформируСтся Π² зависимости ΠΎΡ‚ Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚Π° измСрСния ΠΈ измСнСния Π΅Π³ΠΎ элСктричСского сопротивлСния. Π’Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ, тСнзорСзистор — это Ρ‡ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ элСмСнт, ΠΏΡ€Π΅ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΉ ΡΠΎΠ±ΡΡ‚Π²Π΅Π½Π½ΡƒΡŽ Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΡŽ Π² ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ элСктричСского сопротивлСния.

ΠšΠΎΠ½ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ†ΠΈΡ тСнзорСзистора

ВСнзорСзистор состоит ΠΈΠ· Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Ρ‚ΠΊΠΈ, Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΈΠ· Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ»ΠΎΠΊΠΈ или мСталличСской Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ, ΡƒΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π½Π° ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΡΡ†ΠΈΠΎΠ½Π½ΡƒΡŽ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΡƒ, ΠΈ подсоСдинСнных Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ² тСнзорСзистора.


ΠŸΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ тСнзорСзистора

ΠŸΡ€ΠΈ Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚Π° измСрСния эта дСформация пСрСдаСтся рСзистивной ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ»ΠΎΠΊΠ΅ ΠΈΠ»ΠΈ рСзистивной Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³Π΅ тСнзорСзистора Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· Π΅Π³ΠΎ основаниС (ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΡƒ). Π’ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π΅ сопротивлСниС ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ»ΠΎΠΊΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ измСняСтся. Π­Ρ‚ΠΎ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠΏΠΎΡ€Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎ Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ,Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΎΡ‚Ρ€Π°ΠΆΠ°Π΅Ρ‚ ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰Π΅Π΅ ΡƒΡ€Π°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅:

Если R=R1=R2=R3=R4, сопротивлСниС тСнзорСзистора, ΠΈΠ·-Π·Π° Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ, мСняСтся ΠΈ становится Ρ€Π°Π²Π½Ρ‹ΠΌ R+Ξ”R. Π’Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ, ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π²Ρ‹Ρ…ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ напряТСния Ξ”e ΠΈΠ·-Π·Π° Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ задаСтся ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΌ Π²Ρ‹Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ:

ΠŸΡ€ΠΈ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½ΠΈΠΈ Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ тСнзорСзистора, ΠΎΠ½ ΠΏΠΎΠ΄ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Π΅Ρ‚ΡΡ ΠΊ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΌΡƒ ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€Ρƒ, Π½Π°Π·Ρ‹Π²Π°Π΅ΠΌΠΎΠΌΡƒ Ρ‚Π΅Π½Π·ΠΎΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠΌ. Π’Π΅Π½Π·ΠΎΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ содСрТит мост Уитстона ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π°Π΅Ρ‚ напряТСниС возбуТдСния. Π˜Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½Π½ΠΎΠ΅ Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ отобраТаСтся Π½Π° Ρ†ΠΈΡ„Ρ€ΠΎΠ²ΠΎΠΌ дисплСС ΠΈ/ΠΈΠ»ΠΈ выводится Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… сигналов.

На нашСм сайтС Π’Ρ‹ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚Π΅ ΠΊΡƒΠΏΠΈΡ‚ΡŒΒ (Π·Π°ΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚ΡŒ) качСствСнныС японскиС тСнзорСзисторы ΠΎΡ‚ производитСля, аксСссуары ΠΈ Ρ…ΠΈΠΌΠΈΡŽ (ΠΊΠ»Π΅ΠΈ ΠΈ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Π΅ покрытия) для тСнзорСзисторов с ΠΎΡ‚Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹ΠΌ ΡΠΎΠΎΡ‚Π½ΠΎΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Ρ†Π΅Π½Π°-качСство. Для этого ΠΎΡ‚ΡΡ‚Π°Π²ΡŒΡ‚Π΅ заявку Π½Π° ΠΎΠ±Ρ€Π°Ρ‚Π½Ρ‹ΠΉ Π·Π²ΠΎΠ½ΠΎΠΊ ΠΈ наши спСциалисты свяТутся с Π²Π°ΠΌΠΈ Π² блиТайшСС врСмя ΠΈΠ»ΠΈ Π½Π°ΠΏΠΈΡˆΠΈΡ‚Π΅ Π½Π°ΠΌ сообщСниС. Π’ ΠΊΠΎΠΌΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Ρ€ΠΈΠΈ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡƒΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚ΡŒ, ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈ тСнзорСзисторов Π²Ρ‹ Π±Ρ‹ Ρ…ΠΎΡ‚Π΅Π»ΠΈ Π·Π°ΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚ΡŒ.

www.tmljp.ru

ΠΏΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ тСнзомСтричСского Π΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠ°

Β«Π’ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ – Π²Π΅ΠΆΠ»ΠΈΠ²ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΊΠΎΡ€ΠΎΠ»Π΅ΠΉ!Β» Π’ нашС врСмя Π°ΠΊΡ‚ΡƒΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ этого срСднСвСкового французского Π°Ρ„ΠΎΡ€ΠΈΠ·ΠΌΠ° Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ растСт. Для провСдСния Ρ‚ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Ρ… ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… вычислСний Π½Π° производствС ΠΈ Π² Π±Ρ‹Ρ‚Ρƒ всС ΡˆΠΈΡ€Π΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€Ρ‹ Π½Π° основС тСнзомСтричСских Π΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΎΠ².

Π§Ρ‚ΠΎ Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠ΅ тСнзомСтрия ΠΈ для Ρ‡Π΅Π³ΠΎ Π½ΡƒΠΆΠ½Ρ‹ Ρ‚Π΅Π½Π·ΠΎΠ΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΈ

ВСнзомСтрия (ΠΎΡ‚ Π»Π°Ρ‚. tensus β€” напряТённый) – это способ ΠΈ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΈΠΊΠ° измСрСния напряТённо-Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ состояния измСряСмого ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚Π° ΠΈΠ»ΠΈ конструкции. Π”Π΅Π»ΠΎ Π² Ρ‚ΠΎΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ нСльзя Π½Π°ΠΏΡ€ΡΠΌΡƒΡŽ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΡ‚ΡŒ мСханичСскоС напряТСниС, поэтому Π·Π°Π΄Π°Ρ‡Π° состоит Π² ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½ΠΈΠΈ Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚Π° ΠΈ вычислСнии напряТСния ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΠΈ ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΈΠΊ, ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‰ΠΈΡ… физичСскиС свойства ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°.

Π’ основС Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ Ρ‚Π΅Π½Π·ΠΎΠ΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΎΠ² Π»Π΅ΠΆΠΈΡ‚ тСнзоэффСкт β€” это свойство Ρ‚Π²Ρ‘Ρ€Π΄Ρ‹Ρ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½ΡΡ‚ΡŒ своё сопротивлСниС ΠΏΡ€ΠΈ Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… дСформациях. ВСнзомСтричСскиС Π΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΈ ΠΏΡ€Π΅Π΄ΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‚ собой устройства, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€ΡΡŽΡ‚ ΡƒΠΏΡ€ΡƒΠ³ΡƒΡŽ Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΡŽ Ρ‚Π²Π΅Ρ€Π΄ΠΎΠ³ΠΎ Ρ‚Π΅Π»Π° ΠΈ ΠΏΡ€Π΅ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΡƒΡŽΡ‚ Π΅Ρ‘ Π²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Ρƒ Π² элСктричСский сигнал. Π­Ρ‚ΠΎΡ‚ процСсс происходит ΠΏΡ€ΠΈ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠΈ сопротивлСния ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ° Π΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠ° ΠΏΡ€ΠΈ Π΅Π³ΠΎ растяТСнии ΠΈ сТатии. Они ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ основным элСмСнтом Π² ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€Π°Ρ… ΠΏΠΎ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½ΠΈΡŽ Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ Ρ‚Π²Ρ‘Ρ€Π΄Ρ‹Ρ… Ρ‚Π΅Π» (Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»Π΅ΠΉ машин, конструкций, Π·Π΄Π°Π½ΠΈΠΉ).

Устройство ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹

ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Ρƒ Ρ‚Π΅Π½Π·ΠΎΠ΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠ° составляСт тСнзорСзистор, оснащСнный ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π°ΠΌΠΈ, Π·Π°ΠΊΡ€Π΅ΠΏΠ»Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄Π½Π΅ΠΉ части ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠ°Π½Π΅Π»ΠΈ. Π’ процСссС измСрСния Ρ‡ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Ρ‹ ΠΏΠ°Π½Π΅Π»ΠΈ ΡΠΎΠΏΡ€ΠΈΠΊΠ°ΡΠ°ΡŽΡ‚ΡΡ с ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ΠΎΠΌ. ΠŸΡ€ΠΎΠΈΡΡ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ ΠΈΡ… дСформация, которая измСряСтся ΠΈ прСобразуСтся Π² элСктричСский сигнал, ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄Π°Π²Π°Π΅ΠΌΡ‹ΠΉ Π½Π° элСмСнты ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ ΠΈ отобраТСния измСряСмой Π²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Ρ‹ тСнзомСтричСского Π΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠ°.

Π’ зависимости ΠΎΡ‚ сфСры Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ использования Π΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΈ Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π°ΡŽΡ‚ΡΡ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΠΎ Ρ‚ΠΈΠΏΠ°ΠΌ, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΈ ΠΏΠΎ Π²ΠΈΠ΄Π°ΠΌ измСряСмых Π²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ½. Π’Π°ΠΆΠ½Ρ‹ΠΌ Ρ„Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΌ являСтся трСбуСмая Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ измСрСния. НапримСр, Ρ‚Π΅Π½Π·ΠΎΠ΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊ Π³Ρ€ΡƒΠ·ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… вСсов Π½Π° Π²Ρ‹Π΅Π·Π΄Π΅ с Ρ…Π»Π΅Π±ΠΎΠ·Π°Π²ΠΎΠ΄Π° ΡΠΎΠ²Π΅Ρ€ΡˆΠ΅Π½Π½ΠΎ Π½Π΅ ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠΉΠ΄Π΅Ρ‚ ΠΊ элСктронным аптСкарским вСсам, Π³Π΄Π΅ Π²Π°ΠΆΠ½Π° каТдая сотая Ρ‡Π°ΡΡ‚ΡŒ Π³Ρ€Π°ΠΌΠΌΠ°.

Рассмотрим Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΏΡ€Π΅Π΄ΠΌΠ΅Ρ‚Π½ΠΎ Π²ΠΈΠ΄Ρ‹ ΠΈ Ρ‚ΠΈΠΏΡ‹ соврСмСнных тСнзомСтричСских Π΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΎΠ².

Π”Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΈ крутящСго ΠΌΠΎΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°

Π”Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΈ крутящСго ΠΌΠΎΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π° ΠΏΡ€Π΅Π΄Π½Π°Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½Ρ‹ для измСрСния крутящСго ΠΌΠΎΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π° Π½Π° Π²Ρ€Π°Ρ‰Π°ΡŽΡ‰ΠΈΡ…ΡΡ частях Ρ‚Π°ΠΊΠΈΡ… систСм, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΊΠΎΠ»Π΅Π½Π²Π°Π» двигатСля ΠΈΠ»ΠΈ Ρ€ΡƒΠ»Π΅Π²ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΠ»ΠΎΠ½ΠΊΠΈ. Π’Π΅Π½Π·ΠΎΠ΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΈ крутящСго ΠΌΠΎΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π° ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΡΡ‚ΡŒ ΠΊΠ°ΠΊ статичСский, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΈ динамичСский ΠΌΠΎΠΌΠ΅Π½Ρ‚ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹ΠΌ Π»ΠΈΠ±ΠΎ бСсконтакным (тСлСмСтричСским) способом.

Π’Π΅Π½Π·ΠΎΠ΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΈ Π±Π°Π»ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ, консольного ΠΈ ΠΊΡ€ΠΎΠΌΠΎΡ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ‚ΠΈΠΏΠΎΠ²

Π­Ρ‚ΠΈ Ρ‚ΠΈΠΏΡ‹ Π΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ Π½Π° основС ΠΏΠ°Ρ€Π°Π»Π»Π΅Π»ΠΎΠ³Ρ€Π°ΠΌΠΌΠ½ΠΎΠΉ конструкции со встроСнным элСмСнтом ΠΈΠ·Π³ΠΈΠ±Π° для высокой Ρ‡ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ ΠΈ линСйности ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½ΠΈΠΉ. ВСнзорСзисторы Π² Π½ΠΈΡ… Π·Π°ΠΊΡ€Π΅ΠΏΠ»ΡΡŽΡ‚ΡΡ Π½Π° Ρ‡ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… участках ΡƒΠΏΡ€ΡƒΠ³ΠΎΠ³ΠΎ элСмСнта Π΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠ° ΠΈ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½ΡΡŽΡ‚ΡΡ ΠΏΠΎ схСмС ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΠ³ΠΎ моста.

ΠšΠΎΠ½ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎ Π±Π°Π»ΠΎΡ‡Π½Ρ‹ΠΉ Ρ‚Π΅Π½Π·ΠΎΠ΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ отвСрстия для Π½Π΅Ρ€Π°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ распрСдСлСния Π½Π°Π³Ρ€ΡƒΠ·ΠΊΠΈ ΠΈ выявлСния Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΉ сТатия ΠΈ растяТСния. Для получСния максимального эффСкта тСнзорСзисторы ΠΏΠΎ ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΊΠ°ΠΌ строго ΠΎΡ€ΠΈΠ΅Π½Ρ‚ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ Π½Π° повСрхности Π±Π°Π»ΠΊΠΈ Π² Π΅Π΅ самом Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΌ мСстС. ВысокоточныС ΠΈ Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½Ρ‹Π΅ Π΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΈ этого Ρ‚ΠΈΠΏΠ° ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ для создания ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΠ΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… систСм Π² ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ΅Π½Π½Ρ‹Ρ… ΠΈΠ»ΠΈ Π±ΡƒΠ½ΠΊΠ΅Ρ€Π½Ρ‹Ρ… вСсах. Нашли ΠΎΠ½ΠΈ своС ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈ Π² вСсовых Π΄ΠΎΠ·Π°Ρ‚ΠΎΡ€Π°Ρ…, фасовщиках сыпучих ΠΈ ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΈΡ… ΠΏΡ€ΠΎΠ΄ΡƒΠΊΡ‚ΠΎΠ², измСритСлях натяТСния тросов ΠΈ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΡ… измСритСлях силовых Π½Π°Π³Ρ€ΡƒΠ·ΠΎΠΊ.

Π’Π΅Π½Π·ΠΎΠ΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΈ силы растяТСния ΠΈ сТатия

Π’Π΅Π½Π·ΠΎΠ΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΈ силы растяТСния ΠΈ сТатия, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΠ»ΠΎ, ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ S-ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Π½ΡƒΡŽ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒ, ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ ΠΈΠ· алюминия ΠΈ Π»Π΅Π³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΉ Π½Π΅Ρ€ΠΆΠ°Π²Π΅ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ стали. ΠŸΡ€Π΅Π΄Π½Π°Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½Ρ‹ для Π±ΡƒΠ½ΠΊΠ΅Ρ€Π½Ρ‹Ρ… вСсов ΠΈ Π΄ΠΎΠ·Π°Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ² с ΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΠΎΠΌ измСрСния ΠΎΡ‚ 0,2 Π΄ΠΎ 20 Ρ‚ΠΎΠ½Π½. S-ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Π½Ρ‹Π΅ Ρ‚Π΅Π½Π·ΠΎΠ΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΈ силы растяТСния ΠΈ сТатия ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒΡΡ Π² станках ΠΏΠΎ производству ΠΊΠ°Π±Π΅Π»Π΅ΠΉ, Ρ‚ΠΊΠ°Π½Π΅ΠΉ ΠΈ Π²ΠΎΠ»ΠΎΠΊΠΎΠ½ для контроля силы натяТСния этих ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ².

ВСнзорСзисторы ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ»ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Π΅ ΠΈ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΎΠ²Ρ‹Π΅

ΠŸΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ»ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Π΅ тСнзорСзисторы Π΄Π΅Π»Π°ΡŽΡ‚ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ спирали ΠΈΠ· ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ»ΠΎΠΊΠΈ ΠΌΠ°Π»ΠΎΠ³ΠΎ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π° ΠΈ крСпят Π½Π° ΡƒΠΏΡ€ΡƒΠ³ΠΎΠΌ элСмСнтС ΠΈΠ»ΠΈ исслСдуСмой Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»ΠΈ с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ клСя. Π˜Ρ… ΠΎΡ‚Π»ΠΈΡ‡Π°Π΅Ρ‚:

  • простота изготовлСния;
  • линСйная Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΎΡ‚ Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ;
  • ΠΌΠ°Π»Ρ‹Π΅ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ ΠΈ Ρ†Π΅Π½Π°.

Из нСдостатков ΠΎΡ‚ΠΌΠ΅Ρ‡Π°ΡŽΡ‚ Π½ΠΈΠ·ΠΊΡƒΡŽ Ρ‡ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ, влияниС Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ ΠΈ влаТности срСды Π½Π° ΠΏΠΎΠ³Ρ€Π΅ΡˆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ измСрСния, Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ примСнСния Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ Π² сфСрС ΡƒΠΏΡ€ΡƒΠ³ΠΈΡ… Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΉ.

Π€ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ тСнзорСзисторы Π² настоящСС врСмя ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ распространСнным Ρ‚ΠΈΠΏΠΎΠΌ тСнзорСзисторов ΠΈΠ·-Π·Π° ΠΈΡ… высоких мСтрологичСских качСств ΠΈ тСхнологичности производства. Π­Ρ‚ΠΎ стало доступным благодаря фотолитографичСской Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡ… изготовлСния. ΠŸΠ΅Ρ€Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ тСхнология позволяСт ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°Ρ‚ΡŒ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Π΅ тСнзорСзисторы с Π±Π°Π·ΠΎΠΉ ΠΎΡ‚ 0,3 ΠΌΠΌ, спСциализированныС тСнзомСтричСскиС Ρ€ΠΎΠ·Π΅Ρ‚ΠΊΠΈ ΠΈ Ρ†Π΅ΠΏΠΎΡ‡ΠΊΠΈ тСнзорСзисторов с ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΈΠΌ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡ΠΈΠΌ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½Ρ‹ΠΌ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½ΠΎΠΌ ΠΎΡ‚ –240 Π΄ΠΎ +1100 ΒΊΠ‘ Π² зависимости ΠΎΡ‚ свойств ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Ρ‚ΠΊΠΈ.

ΠŸΡ€Π΅ΠΈΠΌΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²Π° ΠΈ нСдостатки Ρ‚Π΅Π½Π·ΠΎΠ΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΎΠ²

Π¨ΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Π½Π·ΠΎΠ΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΠ»ΠΈ благодаря своим свойствам:

  • возмоТности ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠ»ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ соСдинСния Π΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠ° Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ с исслСдуСмой Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»ΡŒΡŽ;
  • ΠΌΠ°Π»ΠΎΠΉ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π΅ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ элСмСнта, Ρ‡Ρ‚ΠΎ обСспСчиваСт Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΡƒΡŽ Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ измСрСния с ΠΏΠΎΠ³Ρ€Π΅ΡˆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ 1-3 %;
  • удобствС крСплСния, ΠΊΠ°ΠΊ Π½Π° плоских, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΈ Π½Π° ΠΊΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠ»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½Ρ‹Ρ… повСрхностях;
  • возмоТности измСрСния динамичСских Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΉ, ΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‰ΠΈΡ…ΡΡ с частотой Π΄ΠΎ 50000 Π“Ρ†;
  • возмоТности провСдСния ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½ΠΈΠΉ Π² слоТных условиях ΠΎΠΊΡ€ΡƒΠΆΠ°ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ срСды Π² Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½ΠΎΠΌ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Ρ€Π²Π°Π»Π΅ ΠΎΡ‚ -240 Π΄ΠΎ +1100˚Б;
  • возмоТности ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½ΠΈΠΉ ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ² ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ Π²ΠΎ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΈΡ… Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠ°Ρ… Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»Π΅ΠΉ;
  • возмоТности измСрСния Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ², располоТСнных Π½Π° Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΈΡ… расстояниях ΠΎΡ‚ тСнзомСтричСских систСм;
  • Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ измСрСния Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΉ Π² двиТущихся (крутящихся) дСталях.

Из нСдостатков слСдуСт ΠΎΡ‚ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΈΡ‚ΡŒ:

  • влияниС мСтСоусловий (Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ ΠΈ влаТности) Π½Π° Ρ‡ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΎΠ²;
  • Π½Π΅Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ измСнСния сопротивлСния ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… элСмСнтов (ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 1%) Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅Ρ‚ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ усилитСлСй сигналов.
  • ΠΏΡ€ΠΈ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π΅ Ρ‚Π΅Π½Π·ΠΎΠ΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΎΠ² Π² условиях высокотСмпСратурной ΠΈΠ»ΠΈ агрСссивной срСды Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡ‹ ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ ΠΈΡ… Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Ρ‹.

ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹Π΅ схСмы ΠΏΠΎΠ΄ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½ΠΈΡ

Рассмотрим это Π½Π° ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€Π΅ ΠΏΠΎΠ΄ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½ΠΈΡ тСнзомСтричСских Π΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΊ Π±Ρ‹Ρ‚ΠΎΠ²Ρ‹ΠΌ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΌ вСсам. Π‘Ρ‚Π°Π½Π΄Π°Ρ€Ρ‚Π½Ρ‹ΠΉ Ρ‚Π΅Π½Π·ΠΎΠ΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊ для вСсов ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ Ρ‡Π΅Ρ‚Ρ‹Ρ€Π΅ Ρ€Π°Π·Π½ΠΎΡ†Π²Π΅Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π°: Π΄Π²Π° Π²Ρ…ΠΎΠ΄Π° – ΠΏΠΈΡ‚Π°Π½ΠΈΠ΅ (+Ex, -Ex), Π΄Π²Π° Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΡ… – ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ Π²Ρ‹Ρ…ΠΎΠ΄Ρ‹ (+Sig, -Sig). Π’ΡΡ‚Ρ€Π΅Ρ‡Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ Π²Π°Ρ€ΠΈΠ°Π½Ρ‚Ρ‹ с ΠΏΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ, Π³Π΄Π΅ Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ слуТит Π² качСствС экрана для всСх ΠΎΡΡ‚Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ…. Π‘ΡƒΡ‚ΡŒ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ вСсового ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠ° Π±Π°Π»ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ‚ΠΈΠΏΠ° довольно проста. На Π²Ρ…ΠΎΠ΄Ρ‹ подаСтся ΠΏΠΈΡ‚Π°Π½ΠΈΠ΅, Π° с Π²Ρ‹Ρ…ΠΎΠ΄ΠΎΠ² снимаСтся напряТСниС. Π’Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Π° напряТСния зависит ΠΎΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π½Π°Π³Ρ€ΡƒΠ·ΠΊΠΈ Π½Π° ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ Π΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊ.

Если Π΄Π»ΠΈΠ½Π° ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΎΡ‚ вСсового Ρ‚Π΅Π½Π·ΠΎΠ΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠ° Π΄ΠΎ Π±Π»ΠΎΠΊΠ° АЦП Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Π°, Ρ‚ΠΎ сопротивлСниС самих ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΎΠ² Π±ΡƒΠ΄Π΅Ρ‚ Π²Π»ΠΈΡΡ‚ΡŒ Π½Π° ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½ΠΈΠ΅ вСсов. Π’ этом случаС цСлСсообразно Π΄ΠΎΠ±Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ†Π΅ΠΏΡŒ ΠΎΠ±Ρ€Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ связи, которая компСнсируСт ΠΏΠ°Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ напряТСния ΠΏΡƒΡ‚Π΅ΠΌ ΠΊΠΎΡ€Ρ€Π΅ΠΊΡ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΏΠΎΠ³Ρ€Π΅ΡˆΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ ΠΎΡ‚ сопротивлСния ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΎΠ², Π²Π½ΠΎΡΠΈΠΌΡƒΡŽ Π² ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΡƒΡŽ Ρ†Π΅ΠΏΡŒ. Π’ этом случаС схСма ΠΏΠΎΠ΄ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½ΠΈΡ Π±ΡƒΠ΄Π΅Ρ‚ ΠΈΠΌΠ΅Ρ‚ΡŒ Ρ‚Ρ€ΠΈ ΠΏΠ°Ρ€Ρ‹ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΎΠ²: питания, измСрСния ΠΈ компСнсации ΠΏΠΎΡ‚Π΅Ρ€ΡŒ.

ΠŸΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ использования тСнзомСтричСских Π΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΎΠ²

  • элСмСнт конструкции вСсов.
  • ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½ΠΈΠ΅ усилий Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ΅ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΎΠ² Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π½Π° ΡˆΡ‚Π°ΠΌΠΏΠΎΠ²ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Ρ… прСссах ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠΊΠ°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… станах.
  • ΠΌΠΎΠ½ΠΈΡ‚ΠΎΡ€ΠΈΠ½Π³ напряТСнно-Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹Ρ… состояний ΡΡ‚Ρ€ΠΎΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… конструкций ΠΈ сооруТСний ΠΏΡ€ΠΈ ΠΈΡ… Π²ΠΎΠ·Π²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΈ эксплуатации.
  • высокотСмпСратурныС Π΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΈ ΠΈΠ· ΠΆΠ°Ρ€ΠΎΠΏΡ€ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠΉ Π»Π΅Π³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΉ стали для мСталлургичСских прСдприятий.
  • с ΡƒΠΏΡ€ΡƒΠ³ΠΈΠΌ элСмСнтом ΠΈΠ· Π½Π΅Ρ€ΠΆΠ°Π²Π΅ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ стали для ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½ΠΈΠΉ Π² химичСски агрСссивной срСдС.
  • для измСрСния давлСния Π² Π½Π΅Ρ„Ρ‚Π΅ ΠΈ Π³Π°Π·ΠΎΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π°Ρ….

ΠŸΡ€ΠΎΡΡ‚ΠΎΡ‚Π°, удобство ΠΈ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Ρ‚Π΅Π½Π·ΠΎΠ΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΎΠ² – основныС Ρ„Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ для дальнСйшСго Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΡ… внСдрСния, ΠΊΠ°ΠΊ Π² мСтрологичСскиС процСссы, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΈ использования Π² повсСднСвной ΠΆΠΈΠ·Π½ΠΈ Π² качСствС ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… элСмСнтов Π±Ρ‹Ρ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΈΠΊΠΈ.

odinelectric.ru

ВСнзорСзистор β€” ВикипСдия

ВСнзорСзи́стор (ΠΎΡ‚ Π»Π°Ρ‚.Β tensusΒ β€” напряТённый ΠΈ Π»Π°Ρ‚.Β resistoΒ β€” ΡΠΎΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΈΠ²Π»ΡΡŽΡΡŒ)Β β€” рСзистор, сопротивлСниС ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ³ΠΎ измСняСтся Π² зависимости ΠΎΡ‚ Π΅Π³ΠΎ Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ[1]. ВСнзорСзисторы ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ Π² Ρ‚Π΅Π½Π·ΠΎΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΈΠΈ. Π‘ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ тСнзорСзисторов ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€ΡΡ‚ΡŒ Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ мСханичСски связанных с Π½ΠΈΠΌΠΈ элСмСнтов[2]. ВСнзорСзистор являСтся основной составной Ρ‡Π°ΡΡ‚ΡŒΡŽ Ρ‚Π΅Π½Π·ΠΎΠ΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΎΠ², ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‰ΠΈΡ…ΡΡ для косвСнного измСрСния силы, давлСния, вСса, мСханичСских напряТСний, крутящих ΠΌΠΎΠΌΠ΅Π½Ρ‚ΠΎΠ² ΠΈ ΠΏΡ€.

ΠŸΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏ дСйствия

ΠŸΡ€ΠΈ растяТСнии проводящих элСмСнтов тСнзорСзистора увСличиваСтся ΠΈΡ… Π΄Π»ΠΈΠ½Π° ΠΈ ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ°Π΅Ρ‚ΡΡ ΠΏΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ‡Π½ΠΎΠ΅ сСчСниС, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ²Π°Π΅Ρ‚ сопротивлСниС тСнзорСзистора, ΠΏΡ€ΠΈ сТатии — ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ°Π΅Ρ‚.

ΠŸΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏ дСйствия ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ»Π»ΡŽΡΡ‚Ρ€ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ Π½Π° Π°Π½ΠΈΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΌ ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΈ. Для наглядности Π½Π° ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΈ Π²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Π° Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ тСнзорСзистора ΡƒΡ‚Ρ€ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎ ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½Π°, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΈ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ сопротивлСния. Π’ Ρ€Π΅Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ измСнСния сопротивлСния вСсьма ΠΌΠ°Π»Ρ‹ (ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ ~10βˆ’3) ΠΈ для ΠΈΡ… ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½ΠΈΠΉ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ Ρ‡ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ Π²ΠΎΠ»ΡŒΡ‚ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Ρ‹ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΡ€Π΅Ρ†ΠΈΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹Π΅ усилитСли ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΡ€Π΅Ρ†ΠΈΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹Π΅ усилитСли + АЦП. Π’Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ, Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΏΡ€Π΅ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ Π² ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ элСктричСского сопротивлСния ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΈ Π΄Π°Π»Π΅Π΅Β β€” Π² элСктричСский сигнал, ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ сигнал напряТСния.

ΠŸΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹ΠΉ тСнзорСзистор ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ‚ Π³ΠΎΡ€Π°Π·Π΄ΠΎ большСй Ρ‡ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΈΠ·-Π·Π° измСнСния свойств ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° ΠΏΡ€ΠΈ Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ.[3]

ЭлСктромСханичСскиС ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Ρ‹

Π§ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ

Π§ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ тСнзорСзистора характСризуСтся Π±Π΅Π·Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π½Ρ‹ΠΌ ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠΌΒ β€” коэффициСнтом Ρ‚Π΅Π½Π·ΠΎΡ‡ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ Kf,{\displaystyle K_{f},} ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ опрСдСляСтся ΠΊΠ°ΠΊ:

Kf=Ξ”R/R0Ο΅,{\displaystyle K_{f}={\frac {\Delta R/R_{0}}{\epsilon }},}

Π³Π΄Π΅:

  • Ξ”R{\displaystyle \Delta R}Β β€” Π°Π±ΡΠΎΠ»ΡŽΡ‚Π½ΠΎΠ΅ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ сопротивлСния, Π²Ρ‹Π·Π²Π°Π½Π½ΠΎΠ΅ Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠ΅ΠΉ, Ом;
  • R0{\displaystyle R_{0}}Β β€” Π½Π°Ρ‡Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ сопротивлСниС Π½Π΅Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ тСнзорСзистора, Ом;
  • Ο΅{\displaystyle \epsilon }Β β€” ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Π°Ρ дСформация.

ΠžΡ‚Π½ΠΎΡΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Π°Ρ дСформация опрСдСляСтся ΠΊΠ°ΠΊ:

Ο΅=Ξ”L/L0,{\displaystyle \epsilon =\Delta L/L_{0},}

Π³Π΄Π΅

  • Ξ”L{\displaystyle \Delta L}Β β€” Π°Π±ΡΠΎΠ»ΡŽΡ‚Π½ΠΎΠ΅ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄Π»ΠΈΠ½Ρ‹, ΠΌ;
  • L0{\displaystyle L_{0}}Β β€” Π΄Π»ΠΈΠ½Π° Π½Π΅Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ тСнзорСзистора, ΠΌ.

Для ΠΏΠ»Ρ‘Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Ρ… мСталличСских тСнзорСзисторов ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ Kf{\displaystyle K_{f}} слабо зависит ΠΎΡ‚ Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΈ Π½Π΅ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡ€Π΅Π²Ρ‹ΡˆΠ°Π΅Ρ‚ 2[4].

ΠŸΡ€ΠΈ Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½ΠΈΠΈ тСнзорСзистора Π² мост Уитстона, Π² ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΌ ΠΎΡΡ‚Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ 3 рСзистора постоянны (Π½Π΅ ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ возмоТности рСгулирования сопротивлСния), Π²Ρ‹Ρ…ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ΅ напряТСниС Π΄ΠΈΠ°Π³ΠΎΠ½Π°Π»ΠΈ этого моста выраТаСтся Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒΠ»ΠΎΠΉ:

v=Vbβ‹…Kfβ‹…Ο΅4,{\displaystyle v={\frac {V_{b}\cdot K_{f}\cdot \epsilon }{4}},}

Π³Π΄Π΅:

  • Vb{\displaystyle V_{b}}Β β€” напряТСниС питания моста, Π’.

Π’ΠΈΠΏΠΈΡ‡Π½Ρ‹Π΅ значСния коэффициСнта Ρ‚Π΅Π½Π·ΠΎΡ‡ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ для Ρ€Π°Π·Π½Ρ‹Ρ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Ρ‹ Π² Ρ‚Π°Π±Π»ΠΈΡ†Π΅.

ΠœΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠšΠΎΡΡ„Ρ„ΠΈΡ†ΠΈΠ΅Π½Ρ‚ Ρ‚Π΅Π½Π·ΠΎΡ‡ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ
ΠœΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠ°Ρ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³Π°2-5
Вонкая мСталличСская ΠΏΠ»Ρ‘Π½ΠΊΠ° (Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, константановая)2
ΠœΠΎΠ½ΠΎΠΊΡ€ΠΈΡΡ‚Π°Π»Π»ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉΠžΡ‚ βˆ’125 Π΄ΠΎ +200
ΠŸΠΎΠ»ΠΈΠΊΡ€ΠΈΡΡ‚Π°Π»Π»ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉΒ±30
Π’ΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΏΠ»Ρ‘Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Π΅ рСзистивныС ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹100

Π’Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½Ρ‹ΠΉ коэффициСнт

ΠŸΡ€ΠΈ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ измСняСтся сопротивлСниС тСнзорСзистора, Π½Π΅ связанноС с Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠ΅ΠΉ. Π­Ρ‚ΠΎ являСтся Π²Ρ€Π΅Π΄Π½Ρ‹ΠΌ ΠΏΠΎΠ±ΠΎΡ‡Π½Ρ‹ΠΌ эффСктом. Π§Π΅Ρ€Π΅Π· коэффициСнт Ρ‚Π΅Π½Π·ΠΎΡ‡ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ сопротивлСния выраТаСтся Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒΠ»ΠΎΠΉ:

Ξ”RR=Kfβ‹…Ξ΅+Ξ±β‹…ΞΈ,{\displaystyle {\frac {\Delta R}{R}}=K_{f}\cdot \varepsilon +\alpha \cdot \theta ,}

Π³Π΄Π΅:

ЭлСктричСская схСма ΠΏΠΎΠ΄ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½ΠΈΡ тСнзорСзистора

ΠžΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ тСнзорСзисторы Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°ΡŽΡ‚ Π² ΠΎΠ΄Π½ΠΎ ΠΈΠ»ΠΈ Π΄Π²Π° ΠΏΠ»Π΅Ρ‡Π° сбалансированного моста Уитстона, ΠΏΠΈΡ‚Π°Π΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΡ‚ источника постоянного Ρ‚ΠΎΠΊΠ° (диагональ моста Aβ€”D). Π‘ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ рСзистора R2{\displaystyle R_{2}} производится балансировка моста, Ρ‚Π°ΠΊ, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ Π² отсутствиС ΠΏΡ€ΠΈΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ силы напряТСниС Π΄ΠΈΠ°Π³ΠΎΠ½Π°Π»ΠΈ ΡΠ΄Π΅Π»Π°Ρ‚ΡŒ Ρ€Π°Π²Π½Ρ‹ΠΌ Π½ΡƒΠ»ΡŽ. Π‘ Π΄ΠΈΠ°Π³ΠΎΠ½Π°Π»ΠΈ моста Bβ€”C снимаСтся сигнал, Π΄Π°Π»Π΅Π΅ ΠΏΠΎΠ΄Π°Π²Π°Π΅ΠΌΡ‹ΠΉ Π½Π° ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€, Π΄ΠΈΡ„Ρ„Π΅Ρ€Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ ΡƒΡΠΈΠ»ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒ ΠΈΠ»ΠΈ АЦП.

ΠŸΡ€ΠΈ Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ΠΈΠΈ ΡΠΎΠΎΡ‚Π½ΠΎΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ R1R2=RxR3{\displaystyle {\frac {R_{1}}{R_{2}}}={\frac {R_{x}}{R_{3}}}} напряТСниС Π΄ΠΈΠ°Π³ΠΎΠ½Π°Π»ΠΈ моста Ρ€Π°Π²Π½ΠΎ Π½ΡƒΠ»ΡŽ. ΠŸΡ€ΠΈ Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ измСняСтся сопротивлСниС Rx{\displaystyle R_{x}} (Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, увСличиваСтся ΠΏΡ€ΠΈ растяТСнии), это Π²Ρ‹Π·Ρ‹Π²Π°Π΅Ρ‚ сниТСниС ΠΏΠΎΡ‚Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π»Π° Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠΈ соСдинСния рСзисторов Rx{\displaystyle R_{x}} ΠΈ R3{\displaystyle R_{3}} (Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠΈ B) ΠΈ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ напряТСния Π΄ΠΈΠ°Π³ΠΎΠ½Π°Π»ΠΈ Bβ€”C моста — ΠΏΠΎΠ»Π΅Π·Π½Ρ‹ΠΉ сигнал.

ИзмСнСниС сопротивлСния Rx{\displaystyle R_{x}} ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΏΡ€ΠΎΠΈΡΡ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒ Π½Π΅ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ ΠΎΡ‚ Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ, Π½ΠΎ ΠΈ ΠΎΡ‚ влияния Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΡ… Ρ„Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ², Π³Π»Π°Π²Π½Ρ‹ΠΉ ΠΈΠ· Π½ΠΈΡ…Β β€” ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹, Ρ‡Ρ‚ΠΎ вносит ΠΏΠΎΠ³Ρ€Π΅ΡˆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π² Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚ измСрСния Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ. Для сниТСния влияния Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ сплавы с Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΌ ВКБ, Ρ‚Π΅Ρ€ΠΌΠΎΡΡ‚Π°Ρ‚ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚, вносят ΠΏΠΎΠΏΡ€Π°Π²ΠΊΠΈ Π½Π° ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ ΠΈ/ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ Π΄ΠΈΡ„Ρ„Π΅Ρ€Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ схСмы Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½ΠΈΡ тСнзорСзисторов Π² мост.

НапримСр, Π² схСмС Π½Π° рисункС вмСсто постоянного рСзистора R3{\displaystyle R_{3}} Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°ΡŽΡ‚ Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠΉ ΠΆΠ΅ тСнзорСзистор, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΈ Rx{\displaystyle R_{x}}, Π½ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈ Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»ΠΈ этот рСзистор измСняСт своё сопротивлСниС с ΠΎΠ±Ρ€Π°Ρ‚Π½Ρ‹ΠΌ Π·Π½Π°ΠΊΠΎΠΌ. Π­Ρ‚ΠΎ достигаСтся Π½Π°ΠΊΠ»Π΅ΠΉΠΊΠΎΠΉ тСнзорСзисторов Π½Π° повСрхности ΠΏΠΎ-Ρ€Π°Π·Π½ΠΎΠΌΡƒ Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΡƒΠ΅ΠΌΡ‹Ρ… Π·ΠΎΠ½ Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»ΠΈ, Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, с Ρ€Π°Π·Π½Ρ‹Ρ… сторон ΠΈΠ·Π³ΠΈΠ±Π°Π΅ΠΌΠΎΠΉ Π±Π°Π»ΠΊΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ с ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ стороны, Π½ΠΎ со Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠ½ΠΎ пСрпСндикулярной ΠΎΡ€ΠΈΠ΅Π½Ρ‚Π°Ρ†ΠΈΠ΅ΠΉ. ΠŸΡ€ΠΈ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹, Ссли Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π° ΠΎΠ±ΠΎΠΈΡ… рСзисторов Ρ€Π°Π²Π½Π°, Π·Π½Π°ΠΊ ΠΈ Π²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Π° измСнСния сопротивлСния, Π²Ρ‹Π·Π²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹, Ρ€Π°Π²Π½Ρ‹, ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½Ρ‹ΠΉ ΡƒΡ…ΠΎΠ΄ ΠΏΡ€ΠΈ этом компСнсируСтся.

Π’Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ Π²Ρ‹ΠΏΡƒΡΠΊΠ°ΡŽΡ‚ΡΡ спСциализированныС микросхСмы для Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ совмСстно с тСнзорСзисторами, Π² ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… ΠΏΠΎΠΌΠΈΠΌΠΎ усилитСлСй сигнала часто прСдусмотрСны источники питания моста, схСмы тСрмокомпСнсации, АЦП, Ρ†ΠΈΡ„Ρ€ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ интСрфСйсы для связи с внСшними Ρ†ΠΈΡ„Ρ€ΠΎΠ²Ρ‹ΠΌΠΈ систСмами ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ сигналов ΠΈ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ»Π΅Π·Π½Ρ‹Π΅ сСрвисныС Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΈ.

ΠšΠΎΠ½ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ†ΠΈΡ

ΠŸΠ»Ρ‘Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹ΠΉ тСнзорСзистор. На ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΡƒ Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· Ρ„ΠΈΠ³ΡƒΡ€Π½ΡƒΡŽ маску Π² Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ΅ Π½Π°ΠΏΡ‹Π»Π΅Π½Π° ΠΈΠ»ΠΈ сформирована ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΠ»ΠΈΡ‚ΠΎΠ³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΠΈ ΠΏΠ»Ρ‘Π½ΠΊΠ° ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π°. Для ΠΏΠΎΠ΄ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½ΠΈΡ элСктродов Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½Ρ‹ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠΈ (снизу). ΠœΠ΅Ρ‚ΠΊΠΈ ΠΎΠ±Π»Π΅Π³Ρ‡Π°ΡŽΡ‚ ΠΎΡ€ΠΈΠ΅Π½Ρ‚Π°Ρ†ΠΈΡŽ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ΅.

ΠžΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ соврСмСнныС тСнзорСзисторы ΠΏΡ€Π΅Π΄ΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‚ собой Ρ‡ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ элСмСнт Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ Π·ΠΈΠ³Π·Π°Π³ΠΎΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°, нанСсСнного Π½Π° Π³ΠΈΠ±ΠΊΡƒΡŽ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΡƒ. ВСнзорСзистор приклСиваСтся ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΎΠΉ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ исслСдуСмого Π½Π° Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚Π°. ΠŸΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΈ тСнзорСзисторов ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ ΠΈΠ· Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΉ мСталличСской ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ»ΠΎΠΊΠΈ, Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ, ΠΈΠ»ΠΈ Π½Π°ΠΏΡ‹Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ Π² Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ΅ для получСния ΠΏΠ»Ρ‘Π½ΠΊΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ° ΠΈΠ»ΠΈ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π°. Π’ качСствС ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ Ρ‚ΠΊΠ°Π½ΡŒ, Π±ΡƒΠΌΠ°Π³Ρƒ, ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€Π½ΡƒΡŽ ΠΏΠ»Ρ‘Π½ΠΊΡƒ, ΡΠ»ΡŽΠ΄Ρƒ ΠΈ Π΄Ρ€. Для присоСдинСния Ρ‡ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ элСмСнта Π² ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ Ρ†Π΅ΠΏΡŒ тСнзорСзистор ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ»ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Π΅ ΠΊΠΎΠ½Ρ†Ρ‹ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠΈ.

ΠŸΠ»Ρ‘Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Π΅ мСталличСскиС тСнзорСзисторы ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΡŒ ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 2‑10 ΠΌΠΌ2.

ΠŸΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅

ВСнзорСзисторы ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ Π² качСствС ΠΏΠ΅Ρ€Π²ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€Π΅ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»Π΅ΠΉ Π² Ρ‚Π΅Π½Π·ΠΎΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π°Ρ… ΠΈ тСнзостанциях ΠΏΡ€ΠΈ измСрСниях мСханичСских Π²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ½ (Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ, силы, крутящСго ΠΌΠΎΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°, пСрСмСщСния, Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅, для измСрСния давлСния Π² ΠΌΠ°Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π°Ρ… ΠΈ ΠΏΡ€.)

Π‘ΠΌ. Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅

ΠŸΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ‡Π°Π½ΠΈΡ

Бсылки

wikipedia.green

ВСнзорСзистор — это… Π§Ρ‚ΠΎ Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠ΅ ВСнзорСзистор?

ДСформация тСнзорСзистора ΠΈΠ· Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ. Π—Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ сопротивлСния ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½ΠΎ условно. ΠžΡ‚ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ тСнзорСзистора Π½Π° элСктричСских ΠΏΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… схСмах

ВСнзорСзи́стор (ΠΎΡ‚ Π»Π°Ρ‚.Β tensusΒ β€” напряТённый ΠΈ Π»Π°Ρ‚.Β resistoΒ β€” ΡΠΎΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΈΠ²Π»ΡΡŽΡΡŒ)Β β€” рСзистор, сопротивлСниС ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ³ΠΎ измСняСтся Π² зависимости ΠΎΡ‚ Π΅Π³ΠΎ Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ[1]. ВСнзорСзисторы ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ Π² Ρ‚Π΅Π½Π·ΠΎΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΈΠΈ. Π‘ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ тСнзорСзисторов ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€ΡΡ‚ΡŒ Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ мСханичСски связанных с Π½ΠΈΠΌΠΈ элСмСнтов.[2], ВСнзорСзистор являСтся основной составной Ρ‡Π°ΡΡ‚ΡŒΡŽ Ρ‚Π΅Π½Π·ΠΎΠ΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΎΠ², ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‰ΠΈΡ…ΡΡ для косвСнного измСрСния силы, давлСния, вСса, мСханичСских напряТСний, крутящих ΠΌΠΎΠΌΠ΅Π½Ρ‚ΠΎΠ² ΠΈ ΠΏΡ€.

ΠŸΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏ дСйствия

ΠŸΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏ дСйствия Ρ…ΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ»Π»ΡŽΡΡ‚Ρ€ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ Π½Π° ΠΊΠ°Ρ€Ρ‚ΠΈΠ½ΠΊΠ΅ Π·Π° ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΌ нСбольшим Π·Π°ΠΌΠ΅Ρ‡Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌΒ β€” Π² Ρ€Π΅Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ измСнСния сопротивлСния вСсьма ΠΌΠ°Π»Ρ‹ ΠΈ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€Π΅Ρ†ΠΈΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹Ρ… усилитСлСй ΠΈΠ»ΠΈ АЦП. Он Π·Π°ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Π΅Ρ‚ΡΡ Π² ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠΈ элСктричСского сопротивлСния ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΏΡ€ΠΈ ΠΈΡ… мСханичСской Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ.

ΠšΠΎΠ½ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎ соврСмСнныС тСнзорСзисторы ΠΏΡ€Π΅Π΄ΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‚ собой Ρ‡ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ элСмСнт Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ ΠΏΠ΅Ρ‚Π»Π΅ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Π½ΠΎΠΉ Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Ρ‚ΠΊΠΈ, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ крСпится с ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΎΠΉ с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ клСя. Π§ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ элСмСнты ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ ΠΈΠ· Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ»ΠΎΠΊΠΈ, Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ, Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Π½Ρ‹ Π½Π°ΠΏΡ‹Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π² Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ. Π’ качСствС ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ Ρ‚ΠΊΠ°Π½ΡŒ, Π±ΡƒΠΌΠ°Π³Ρƒ, ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΡƒ ΠΈ Π΄Ρ€. Для присоСдинСния Ρ‡ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ элСмСнта Π² ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ Ρ†Π΅ΠΏΡŒ Π² тСнзорСзисторС ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ΡΡ Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Π΅ ΠΊΠΎΠ½Ρ†Ρ‹ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠΈ. На исслСдуСмый ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ тСнзорСзисторы крСпятся с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ ΡΠ²ΡΠ·ΡƒΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ (клСя)со стороны ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ.

ВСнзорСзисторы ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ Π² качСствС ΠΏΠ΅Ρ€Π²ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€Π΅ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»Π΅ΠΉ ΠΏΡ€ΠΈ измСрСниях мСханичСских Π²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ½ (силы, крутящСго ΠΌΠΎΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°, пСрСмСщСния, давлСния ΠΈ ΠΏΡ€.).

ΠŸΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ‡Π°Π½ΠΈΡ

Π‘ΠΌ. Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅

Бсылки

dic.academic.ru

ΠŸΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ тСнзорСзисторов ΠΈ Ρ‚Π΅Π½Π·ΠΎΠ΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΎΠ²

ΠŸΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹

ВСнзорСзисторы

ВСнзорСзисторы – это рСзисторы, сопротивлСниС ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… зависит ΠΎΡ‚ ΠΈΡ… Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ.

Π¨ΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ Ρ€Π΅ΡˆΡ‘Ρ‚Ρ‡Π°Ρ‚Ρ‹Π΅ Ρ‡ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ элСмСнты ΠΈΠ· Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΉ мСталличСской рСзистивной Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ.

ΠŸΡŒΠ΅Π·ΠΎΡ€Π΅Π·ΠΈΡΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹

ΠŸΡŒΠ΅Π·ΠΎΡ€Π΅Π·ΠΈΡΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ – это ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Π΅ Π΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΈ, сопротивлСниС ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… зависит ΠΎΡ‚ Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ.

Π’Π΅Π½Π·ΠΎΠ΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΈ

ВСнзорСзисторы ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ основой Ρ‚Π΅Π½Π·ΠΎΠ΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΎΠ² (Strain Gauge), слуТащих для косвСнного измСрСния силы (вСса, давлСния, ΠΌΠΎΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°, ускорСния, пСрСмСщСния) ΠΏΠΎ Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΊΠ°Π»ΠΈΠ±Ρ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ элСмСнта (ΠΏΡ€ΡƒΠΆΠΈΠ½Ρ‹, стСрТня), Π²Ρ‹Π·Π²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ дСйствиСм этой силы.

Π’Π΅ΡΠΎΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ ячСйки

Π’Π΅ΡΠΎΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ ячСйки (Load Cell) – это Ρ‚Π΅Π½Π·ΠΎΠ΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΈ, конструкция ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… позволяСт ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΈΡ… для измСрСния вСса Π² Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… прилоТСниях (ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ΅Π½Π½Ρ‹Π΅ вСсы, Ρ€Π΅Π·Π΅Ρ€Π²ΡƒΠ°Ρ€Π½Ρ‹Π΅ вСсы, ΠΊΠΎΠ½Π²Π΅ΠΉΠ΅Ρ€Π½Ρ‹Π΅ вСсы ΠΈ Ρ‚.ΠΏ.).

Π‘ΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ½Ρ‹Π΅ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚Ρ‹ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ΅Π½ΡΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ Π½Π΅ΠΆΠ΅Π»Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ (Π³ΠΎΡ€ΠΈΠ·ΠΎΠ½Ρ‚Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅) Π½Π°Π³Ρ€ΡƒΠ·ΠΊΠΈ Π½Π° Π²Π΅ΡΠΎΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΡƒΡŽ ячСйку:

  • Π‘Π°ΠΌΠΎΡ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰Π°ΡΡΡ ΠΊΠ°Ρ‡Π°ΡŽΡ‰Π°ΡΡΡ ΠΎΠΏΠΎΡ€Π°
  • ΠžΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒ качания
  • Π‘Ρ‚ΠΎΠΏΠΎΡ€ ΠΏΠΎΠ΄ΡŠΡ‘ΠΌΠ°
  • Эластичная ΠΎΠΏΠΎΡ€Π°
  • Изгибная ΠΎΠΏΠΎΡ€Π° ΠΈ Π΄Ρ€.

ΠœΠΎΡΡ‚ Уитстона (Weatstone Bridge)

ΠœΠΎΡΡ‚ Уитстона ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ для рСгистрации измСнСния сопротивлСния.
Π’ Ρ‚Π΅Π½Π·ΠΎΠ΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠ°Ρ… с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ моста Уинстона ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€ΡΡŽΡ‚ Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΡŽ.

На ΡƒΠΏΡ€ΡƒΠ³ΠΈΠΉ ΡΡ‚Π΅Ρ€ΠΆΠ΅Π½ΡŒ Π½Π°ΠΊΠ»Π΅ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Ρ‡Π΅Ρ‚Ρ‹Ρ€Π΅ тСнзорСзистора: 1,2,3 ΠΈ 4 (см. рисунок) с ΠΎΠ΄ΠΈΠ½Π°ΠΊΠΎΠ²Ρ‹ΠΌΠΈ характСристиками. ВСнзорСзисторы Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Π² ΠΏΠ»Π΅Ρ‡ΠΈ моста Ρ‚Π°ΠΊ, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½ΠΎ Π½Π° рисункС справа. На диагональ a-b моста подаётся постоянноС напряТСниС E, диагональ c-d являСтся ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ. Π’ Π½Π΅Π½Π°Π³Ρ€ΡƒΠΆΠ΅Π½Π½ΠΎΠΌ состоянии мост сбалансирован ΠΈ Π²Ρ‹Ρ…ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ΅ напряТСниС моста U Ρ€Π°Π²Π½ΠΎ Π½ΡƒΠ»ΡŽ.

Под воздСйствиСм силы F ΡΡ‚Π΅Ρ€ΠΆΠ΅Π½ΡŒ дСформируСтся, тСнзорСзисторы 1 ΠΈ 4 ΡΠΆΠΈΠΌΠ°ΡŽΡ‚ΡΡ, Π° тСнзорСзисторы 2 ΠΈ 3 Ρ€Π°ΡΡ‚ΡΠ³ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ. Π’Ρ‹Ρ…ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ΅ напряТСниС моста U ΠΏΡ€ΠΎΠΏΠΎΡ€Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎ силС F.


Как Π²Ρ‹Π±Ρ€Π°Ρ‚ΡŒ

Π”Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΈ силы, Π²Π΅ΡΠΎΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ ячСйки

  • ΠŸΡ€ΠΈΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ силы
    • Π‘ΠΆΠ°Ρ‚ΠΈΠ΅
    • РастяТСниС
    • Π‘ΠΆΠ°Ρ‚ΠΈΠ΅ ΠΈ растяТСниС
  • ΠšΠΎΠ½ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ†ΠΈΡ
    • Π‘Π°Π»ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ‚ΠΈΠΏΠ°:
      • ΠΈΠ·Π³ΠΈΠ±Π½Ρ‹ΠΉ ΡΡ‚Π΅Ρ€ΠΆΠ΅Π½ΡŒ
      • срСзной ΡΡ‚Π΅Ρ€ΠΆΠ΅Π½ΡŒ
    • Изгибная ΠΊΠΎΠ»ΡŒΡ†Π΅Π²Π°Ρ ΠΏΡ€ΡƒΠΆΠΈΠ½Π°
    • S — образная (Ρ‚Π΅Π½Π·ΠΎΠ΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΈ сТатия-растяТСния)
    • ΠŸΡ€ΡΠΌΠΎΡƒΠ³ΠΎΠ»ΡŒΠ½Π°Ρ (Single Point)
    • Π”Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΈ сТатия ΠΌΠ΅ΠΌΠ±Ρ€Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ‚ΠΈΠΏΠ°
    • Π”Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΈ сТатия Ρ‚ΠΈΠΏΠ° ΠΊΠΎΠ»ΠΎΠ½Π½Π°
  • Π‘ΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅
    • ΠŸΠ»Π°Ρ‚Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ΅Π½Π½Ρ‹Π΅ вСсы
    • ΠŸΡƒΡ‚Π΅Π²Ρ‹Π΅ вСсы
    • Π Π΅Π·Π΅Ρ€Π²ΡƒΠ°Ρ€Π½Ρ‹Π΅ вСсы
    • ΠŸΠΎΠ΄Π²Π΅ΡΠ½Ρ‹Π΅ вСсы
    • ΠšΠΎΠ½Π²Π΅ΠΉΠ΅Ρ€Π½Ρ‹Π΅ вСсы
    • Π›Π΅Π½Ρ‚ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Π΅ вСсы
    • Π ΠΎΠ»ΡŒΠ³Π°Π½Π³ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ вСсы
    • Π‘ΡƒΠ½ΠΊΠ΅Ρ€Π½Ρ‹Π΅ вСсы
  • Π”ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½ΠΈΠΉ (Н, кгс)
  • Π’ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½ΠΈΠΉ
  • ΠΠ΅Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ
  • ГистСрСзис
  • Максимальная бСзопасная ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π³Ρ€ΡƒΠ·ΠΊΠ°
  • Π—Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π° ΠΎΡ‚ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π³Ρ€ΡƒΠ·ΠΊΠΈ
  • РСсурс (число Ρ†ΠΈΠΊΠ»ΠΎΠ² ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½ΠΈΠΉ)
  • Π’Ρ‹Ρ…ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ сигнал.

АксСлСромСтры (Π΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΈ ускорСния)

  • Π”ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½ΠΈΠΉ (ΠΌ/с2)
  • ΠΠ΅Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ
  • ГистСрСзис
  • БСзопасная ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π³Ρ€ΡƒΠ·ΠΊΠ°
  • Частотный Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½
  • Π’Ρ‹Ρ…ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ сигнал.

Π”Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΈ пСрСмСщСния

  • Π”ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½ΠΈΠΉ (ΠΌΠΌ)
  • ΠΠ΅Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ
  • ГистСрСзис
  • УсилиС ΠΏΡ€ΠΈ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½ΠΈΠΈ (Н)
  • Π˜Π½Π΄ΠΈΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΡ€Π½Π°Ρ шкала
  • Π’Ρ‹Ρ…ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ сигнал.

Π”Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΈ крутящСго ΠΌΠΎΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°

  • Π”ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½ΠΈΠΉ (Нм)
  • ΠΠ΅Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ
  • ГистСрСзис
  • БСзопасная ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π³Ρ€ΡƒΠ·ΠΊΠ°
  • ΠžΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π³Ρ€ΡƒΠ·ΠΊΠΈ
  • Максимальная частота вращСния
  • Π’Ρ‹Ρ…ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ сигнал.

ΠžΠ±Ρ‰Π΅Π΅ для всСх Ρ‚Π΅Π½Π·ΠΎΠ΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΎΠ²

  • Π’Ρ‹Ρ…ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ сигнал
  • Π‘Ρ‚Π΅ΠΏΠ΅Π½ΡŒ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Ρ‹ корпуса
  • ΠœΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»
  • Класс Π²Π·Ρ€Ρ‹Π²ΠΎΠ·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Ρ‹
  • НапряТСниС питания.


Анализаторы Π³Π°Π·Π° ΠΈ Тидкости

БистСмы ΠΈΠ΄Π΅Π½Ρ‚ΠΈΡ„ΠΈΠΊΠ°Ρ†ΠΈΠΈ

www.maxplant.ru

Π”ΠΎΠ±Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΊΠΎΠΌΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Ρ€ΠΈΠΉ

Π’Π°Ρˆ адрСс email Π½Π΅ Π±ΡƒΠ΄Π΅Ρ‚ ΠΎΠΏΡƒΠ±Π»ΠΈΠΊΠΎΠ²Π°Π½. ΠžΠ±ΡΠ·Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ поля ΠΏΠΎΠΌΠ΅Ρ‡Π΅Π½Ρ‹ *